Intel làm ra chip 22nm như thế nào?

Intel làm ra chip 22nm như thế nào?

Leopard  | 30/11/2011 0:00 AM

thích

Hôm nay chúng ta sẽ nói một chút về kỹ thuật bán dẫn 22nm của Intel.

Nhanh hơn, mạnh hơn, tiết kiệm điện hơn. Đấy là kim chỉ nam mà giới công nghiệp điện toán (đặc biệt là phần cứng) vẫn luôn tuân theo trong suốt hàng chục năm qua. Nhưng làm sao để đạt được những mục tiêu trên không phải điều đơn giản. May thay, nhờ kỹ thuật bán dẫn và sự sáng tạo của hàng ngàn kỹ sư, những con chip mới vẫn liên tục ra đời dựa trên các dây chuyền sản xuất tiến bộ hơn. Hôm nay chúng ta sẽ nói một chút về kỹ thuật bán dẫn 22nm của Intel.

 

Transistor, tế bào của chip

 

Thành phần cơ bản của sinh vật trên hành tinh này là các tế bào. Chip cũng tương tự. Mặc cho có khác biệt về kiến trúc và kích cỡ như nào, mọi con chip mà nhân loại làm ra từ trước đến nay đều dựa trên các transistor, một thiết bị về cơ bản là một công tắc điện. Mục đích của các kỹ sư : có thể bật / tắt / tăng giảm cường độ tín hiệu bất kỳ khi nào họ muốn.

 

Thế nên việc làm ra chip suy cho cùng là làm ra các transistor. Các transistor được dùng chủ yếu hiện nay trong chip có tên gọi MOSFET, có cấu tạo cơ bản gồm :

 

- Cực nguồn (source) : nơi dòng điện đi vào

- Cực máng (drain) : nơi dòng điện đi ra

- Cực cổng (gate) : nơi điều khiển việc ra / vào của dòng diện

- Kênh dẫn (channel) : nối giữa nguồn và máng

- Lớp cách điện (oxide) : ngăn dòng điện từ cổng không rò rỉ sang kênh dẫn

 
Cấu tạo cơ bản của một MOSFET.

 

Cụm 'FET' trong MOSFET là viết tắt của field-effect transistor, có nghĩa là transistor hiệu-ứng-trường. Thuật ngữ này đồng thời nói lên cách mà transistor hoạt động : khi một điện áp được đặt vào cực cổng, nó sẽ tạo ra một trường điện từ tác động lên kênh dẫn. Tuỳ chủng loại FET (PMOS hay NMOS) mà tác động của trường này sẽ có vai trò đóng / ngắt mạch điện nối giữa 2 cực máng & nguồn.

 

Bằng cách phối hợp hàng chục, hàng trăm, hàng ngàn ... (và hiện nay lên tới hàng tỷ) transistor, các kỹ sư đã tạo ra những con chip có kiến trúc khác nhau cũng như ứng dụng thay đổi tuỳ mục đích. Số lượng transistor trên một con chip nhìn theo một góc độ nào đấy cũng có thể nói lên sức mạnh chung (khi so với những con chip khác cùng kiến trúc) của chip.

 

Chính vì số lượng transistor có thể xem như tỷ lệ thuận với sức mạnh chip, nên càng "nhét" được nhiều transistor hơn lên một diện tích cho sẵn sẽ cho ra con chip càng mạnh. Và để đạt được điều này thì kích thước transistor phải thu nhỏ. Đây là lý do tại sao chúng ta thường nghe nói chip 32nm thì tốt hơn 45nm, chip 45nm thì tốt hơn 65nm và cứ thế ... (vì có nhiều transistor hơn).

 

Intel và transistor 22nm

 

Về căn bản, các transistor bán dẫn trong nhiều năm qua không có thay đổi nhiều. Chúng có kích thước nhỏ hơn, bổ sung thêm một số chất liệu khác để thay đổi hệ số điện trở, hạn chế hiện tượng rò dòng ... nhưng vẫn là các transistor phẳng (planar). Rồi tới tiến trình (node) 22nm, Intel đề nghị ra một dạng transistor mới : đứng (3-D) hoặc nhiều cổng (multi-gate).

 

3-D transistor về bản chất không lạ lẫm với giới công nghiệp bán dẫn. Đó là FinFET (hoặc các FET dạng "vảy" (fin)) từng được đề ra khá lâu. Song FinFET vẫn chưa được dùng trong các sản phẩm thương mại và Intel là hãng đầu tiên ứng dụng kiểu thiết kế transistor này.

Cấu tạo một transistor "phẳng".

 

Nhưng tại sao Intel lại thay đổi ? Về phương diện kỹ thuật thì có nhiều thứ để bàn. Ở đây chúng ta chỉ nêu vắn tắt là điện áp ngưỡng (threshold) và điện áp vận hành (operating) của FinFET dễ kiểm soát hơn so với planar. Song thứ gì cũng có 2 mặt : làm FinFET phức tạp và khó khăn nhiều hơn so với planar. Do vậy Intel chưa "vội" chuyển qua FinFET ở các tiến trình trước (65, 45, 32nm ...) mà vẫn dùng planar vì nó vẫn đáp ứng yêu cầu đề ra của Intel.


Khác biệt trong hoạt động của transistor "phẳng" và 3-D.

 

Có điều với các thiết kế x86 hiệu năng cao của Intel, planar ở node 22nm có vẻ không còn "tốt" nên hãng này chuyển qua FinFET. Mặc dù vậy, giới bán dẫn vẫn tiếp tục dùng planar vì các thiết kế của họ vẫn hoạt động "tốt" với loại transistor này. Do đó bạn đừng cho rằng FinFET là bắt buộc mà "tuỳ nhu cầu mới cần đến hay không".


Transistor 3-D của Intel (FinFET).

 

Tiếp theo chúng ta sẽ đi vào chi tiết từng quá trình làm transistor 22nm của Intel.

 

Cách Intel làm ra chip 22nm

 

Các thông tin cơ bản như trên "tạm đủ" để bạn hiểu về cấu tạo chip. Đến đây chúng ta sẽ xem xét cách Intel làm ra từng con chip như nào. Nhìn chung, có 12 bước cả thảy :

 

Bắt đầu với cát

 

Như đã nêu, bán dẫn là nguyên liệu chính cho chip hiện nay. Và một loại bán dẫn dc dùng rất phổ biến là Si. Đơn giản vì ... cát rẻ ! Vâng, cát có nhiều và rất rẻ. Đây là một lợi thế về kinh tế.


 

Cát được nấu chảy ở nhiệt độ cao và kết tinh thành từng thỏi lớn (ingot). Tuỳ theo từng dây chuyền sản xuất mà từng thỏi này sẽ được "đặt hàng" với kích thước khác nhau. Các cỡ phổ biến hiện nay là 150mm, 200mm và 300mm. Một yêu cầu khắt khe với từng thỏi silicon trên là chúng phải rất tinh khiết : trung bình chỉ cứ 1 tỷ nguyên tử mới có 1 nguyên tử "lạ" !

 

Tạo wafer

 

Ingot không phải thứ Intel dùng, mà là wafer. Đấy là các tấm silicon tròn có bề dày chỉ khoảng 1mm, được cắt ra bằng máy từ các thỏi silicon. Đường kính của ingot cũng chính là đường kính của wafer. Loại wafer tiên tiến nhất hiện nay có đường kính 300mm. Intel đang vận động giới công nghiệp chuyển sang dùng wafer 450mm để tăng cao hiệu quả khai thác trong sản xuất chip. Tuy vậy với bề dày cực mỏng, việc tăng cường kích thước wafer không phải vấn đề đơn giản và giới công nghiệp vẫn đang e ngại trước mong muốn này.


 

Nhưng người làm ra wafer không phải Intel. Hãng này đặt mua wafer từ các nhà sản xuất khác. Intel chỉ thực sự bắt tay vào sản xuất từ các bước sau.

 

In quang litho

 

Giống như xây nhà từ bãi đất trống, trước hết bạn phải dựng lên từng thành phần một của ngôi nhà. Đối với việc làm ra transistor, từng thành phần một được tạo ra từ kỹ thuật in litho (lithography). Việc đầu tiên là tấm wafer được phủ một lớp vật liệu ngăn cản ánh sáng (photo resist) (màu xanh dương). Lớp này nhằm bảo vệ lớp silicon bên dưới trong quá trình khắc acid (sẽ nêu sau).

 


Sau khi được phủ lớp chặn quang, các kỹ sư tiến hành phơi sáng (exposure) tấm wafer dưới ánh sáng tử ngoại (UV), thông qua một lớp mặt nạ (mask) vốn sẽ xác định chi tiết các mạch điện về sau này. Các tia UV có tác dụng biến đổi hoá học lớp chặn quang nằm bên trên khiến chúng bị hoà tan (chỉ khu vực nào bị phơi sáng). Các khu vực hoà tan này sẽ được rửa đi bằng hoá chất và làm lộ ra lớp silicon bên dưới.

 

Cấy ion

 

Tấm wafer sau đấy sẽ được phun các ion có cấu tạo hoá học khác với lớp silicon hiện có. Tuỳ mục đích chế tạo mà các ion này có thể sẽ tạo ra các PMOS hay NMOS, hay lớp cách điện. Chỉ khu vực nào mà lớp chặn quang đã bị loại bỏ ở tiến trình trên thì các ion mới xâm nhập được và nằm lại trên đó.


 

Tiếp theo, lớp chặn quang còn lại sẽ được "bóc dỡ" nốt nhờ các hoá chất chuyên dụng. Tấm wafer sau giai đoạn này sẽ gồm 2 khu vực chính : silicon "thuần" hoặc silicon "biến tính" (màu lá cây).

 

Khắc acid

 

Dùng lại kỹ thuật in litho đã nêu, các kỹ sư Intel sẽ tạo ra các "vạch" chặn quang để chuẩn bị cho quá trình khắc (hoặc ăn mòn) bằng acid. Lớp chặn quang lúc này có tác dụng ngăn cản việc acid ăn mòn bề mặt silicon nằm dưới. Khu vực nào không được "che chắn" sẽ bị acid "rửa trôi". Thứ chúng ta còn lại đây sau khi lớp chặn quang được tẩy đi nốt là một "vảy mỏng" (fin) sẽ đóng vai trò kênh dẫn về sau này.



 

Làm cổng "tạm"

 

Bắt đầu từ node 32nm và sau này, Intel đề ra kỹ thuật làm cổng tạm (temporary gate). Kỹ thuật này còn được biết dưới cái tên cổng sau (gate-last). Vì trước nay các transistor đều làm ra cổng trước (gate-first) rồi mới đến nguồn & máng. Nhưng Intel cho rằng gate-first gây ra các vấn đề ổn định khi áp dụng kỹ thuật HKMG (cổng kim loại & điện trở cao) nên họ nghĩ ra kỹ thuật gate-last để thay thế.


 

Gate-last yêu cầu có thêm một bước là làm cổng tạm.

 

Mượn lại kỹ thuật in litho, các kỹ sư Intel tạo ra một lớp SiO2 mỏng (màu đỏ) đóng vai trò của chiếc cổng giả. Rồi một lớp silicon tinh thể (polycrystal) khác (màu vàng) được phủ lên trên ấy cũng bằng in litho (có thể xem in litho là một kỹ thuật cực kỳ cơ bản trong công nghiệp bán dẫn). Lớp silicon tinh thể này đóng vai trò của một điện cực (electrode) giả.

 

Sau cùng một lớp SiO2 khác (màu đỏ, trong suốt) được phủ lên trên cùng bọc lấy toàn bộ tấm wafer. Lớp này về sau sẽ trở thành điện môi ngăn cách sự rò điện từ transistor này sang transistor khác.

 

Tạo cổng HKMG "thật"

 

Cũng do vấn đề rò điện, từ node 45nm Intel đề ra một kỹ thuật khác là HKMG. Kỹ thuật này về cơ bản thay loại vật liệu làm cổng thành kim loại (metal gate) và lớp oxide cách điện bằng một vật liệu khác có điện trở cao hơn (high-K). Các tiến trình mới sau này, Intel đều dùng HKMG.


 

Sau khi phủ một lớp SiO2 lên toàn wafer, Intel lại dùng in litho để "bóc" phần SiO2 "thừa" khỏi vị trí mà hãng này muốn đặt chiếc cổng thật (màu xanh dương) vào đấy. Nhưng trước đấy, một lớp vật liệu cách điện (màu vàng) được phủ lên trước để nằm giữa kênh dẫn (màu lá cây) và chiếc cổng (màu xanh dương).

 

Lắng kim loại

 

Đến đây thì các công đoạn khó nhất đã gần xong. Chỉ còn việc tạo ra các cực nguồn & máng. Các vị trí này sẽ được tạo ra bởi phương pháp in litho.


 

Để hoàn tất nguồn & máng, các kỹ sư đặt tấm wafer vào một dung dịch chứa các ion đồng (CuSO4) và dùng kỹ thuật in điện hoá để tạo ra một lớp đồng bám trên wafer : cực dương (anode) sẽ là dung dịch và cực âm (cathode) là tấm wafer.

 

Liên kết các transistor

 

Sau khi tạo ra lớp đồng, wafer được mài đi để chỉ còn lại 3 vị trí tối cần thiết : cổng, nguồn & máng (màu vàng). Kênh dẫn và lớp cách điện nằm ở phía bên dưới. Vậy là một transistor hoàn chỉnh đã ra đời.


 

Vấn đề tiếp theo là liên kết các transistor như thế nào. Việc này sẽ lệ thuộc kiến trúc của từng con chip và chúng ta không bàn nhiều tại đây. Thế hệ chip 22nm đầu tiên của Intel sẽ tiếp tục dùng lại kiến trúc Sandy Bridge với một vài cải tiến nhỏ. Thế hệ 22nm kế nữa sẽ dùng kiến trúc mới có tên mã Haswell. Trung bình với một con chip xử lý phức tạp như vầy, Intel cần khoảng 30 lớp transistor khác nhau. Bạn có thể hình dung ra kết cấu của một đô thị về hình ảnh vi mô của chip.

 

Kiểm định & Loại bỏ chip lỗi

 

Với một dây chuyền phức tạp gồm nhiều bước như vậy, sai sót là điều khó tránh khỏi. Do đó trong công nghiệp bán dẫn có một khái niệm riêng là hiệu suất (yield). Những kỹ thuật bán dẫn mới thường có hiệu suất rất thấp trong giai đoạn ban đầu. Về sau thì "tay nghề" các kỹ sư được nâng cao nên tỷ lệ này cải thiện theo hướng  tốt hơn.


 

Wafer sau khi hoàn tất các công đoạn trên, sẽ được trải qua một công đoạn là kiểm tra "mềm" (soft test) nhằm xác định die chip nào hoạt động và die nào không. Sau đấy wafer sẽ được cắt ra làm từng die riêng lẻ (như bánh kem) và các die hoạt động được sẽ được lấy ra.

 

Đóng gói chip

 

Những con chip thực tế chúng ta thấy là phiên bản hoàn chỉnh, sau khi được kèm thêm bảng mạch PCB và tản nhiệt (vài chip có thể không cần). Nhà máy mà Intel xây dựng tại Việt Nam mấy năm nay sẽ đảm nhiệm vai trò đóng gói này.

 


Phân loại & Hoàn chỉnh

 

Trong các die chip hoạt động được, thực tế vẫn có những lỗi nhỏ nhưng không khiến con chip hỏng hoàn toàn. Tuỳ theo loại lỗi mà con chip sẽ được phân loại ra thành model gì. Lấy ví dụ các chip Sandy Bridge 4 nhân thực đều sử dụng cùng một loại die chip. Nhưng vì lỗi ở một vài thành phần (nhân x86, nhân đồ hoạ, bộ nhớ đệm ...) mà chúng được chia thành các model khác nhau.


 

Sau quá trình này, các chip đã sẵn sàng để Intel tung ra thị trường và "đợi chờ" bạn hoặc ai đó "mang về nhà".

 

Xem thêm:

chip xử lý

Intel

Tham khảo XS Kết Quả để xem kết quả xổ số.

Xem lịch âm dương tại Xem Lịch Âm.

Xem bong da Xem bong da 247.

Công cụ tính toán https://calculatorss.us.

Tin tức game https://gamekvn.club.

R TkSpCPkI72CJicdTZPTqkcXehUAdsnRfOrWSDc3DHUyH8vTTh832cB5lDuV5Hvfzak3Xdq52VL JpGeiDQ02E4Xc8Fm7x7NRQ6fokR4JpEz16FGRmHXvbYbD7e5819exTkfUhJxZagxnfc4jQTF3vhGH4HZrpTrQSTSZE8myUTGgMKoD3zfantdjCbSbJ0gvtc0DEySvfNbzMgaktnow9JEqGFCuA6BIJ9alMHYZp A25mXnoos9B9cVXP0rwW5wGsXW6mLip6z1k edQQn9GERv6tf4cfrGU8OgBfimY7sRsct7E1XwVg5BUKkRgHVPRogWkZOQNhnMl4ohhKrYR1MWaw0IvImShq8XmFzYrv0IQBoSQCrFzzzUOxsLCcpYemr ZHnfLg7QEmGGvWvYqfhpkxuyF1ok3dshxydgU87v1CtVs4nHjxvnxMO1iEsnLRiVNajlYP9J6mUeRv1kkRkGdCu0jeMTbEDI2wR2cYmwghqivhFVemgRcGyREcZ5IyzKYlDY7NZcmKeE7eXwGLaREH1zzH7muFMp3 PqtVA7yJ1AeBJPfB9M8mbYY7j6BRRu9mgogs6HyJzHWbxDcQWLKmbmft0s5Syv2ZoLIOhIFe4JjX9hBNHi9AEIPisWPK6FKEnLGhwnq1WeegI NqUgzuDnvo2XEiYtBLHtYOI6duDbSsnsvb6Px GXgoczw4NabiQJ625jMPIqN1RJiQCXZxbnEVyKTFrDrVuY7kBn6MWVS5eFUo18NUwCr9YgcjQx3SLiKX92mFLitfmXOL5Ts8sb0RqracFrvOk8EDubqMCKS2oJvEFK9ArdWkZb FZ4lW2Dcte9D84eg65ROuFTVmSAiI6SFztdqu8dhtI52hxxdX9oH5PEJCvkBVBMDP7KfX2af8ykbXv4SdT73ryuRm7JM I7VpIE1sG Uj3 swPq1PWeVJXdp1igHtHdUtcrjWQPWKMAYTKbQoQfEfxfFjwdlUeZYKAF9PNtQYmHQbmj8SKsjih3yW0VJ4 ja80efof6y6oRHcu5P4w2Acdsbr5Fu1AJnooKP19MJCuhO5PCCzpoQlnYFa7jpCEdfAiyexjvJzZ50C03OJmcA6NKlPBqSbjkq7xe1hEpUpOVFRJbyzN2RfTXGIFm5ZysbvhlztKOo3Rg5ChHn1V54f2PS9ts1QUn3niE6hjLfZsTVeKKJV9VpvelrxySoFV 0cg44U0Ny8DpO7 bPiccsFudYasL4z2fSxVPPRITnoSHo83ekNB4TcfF0cJ6JudsC9Z6ygdlYWrFIqavKWecD1jehC1fxCz8L9Lr1jQtmPvsCBjeZ1TlOBlRCIsh4NOPBUAcezT3Ik0Y2OCn7jZfbFij36TeQLufrI1aPwn3cLAb6M 62nrY0Sb6ZtjvZNufTi9i4h v25VP92iuY1gTB84YAo1BoD2n4gawMfl8ZEmUV SqwIMrYTXGd0GC Qz3jXwz7e6npJTJOP P00jI mRj7YfTWD0ZdNEPCTtWzTJm1uAHVip0osyrTvecxGKWiiqwuE71QfBBYJZInnUGsYa MWZdX2ZnEfiYZHZ7CMHvALnVYgF2R6s62I5iM6HEDRBivTvCUF0uxUNUZkECLS5YwG2vHvXOoLBQ8Vlp 69CWcXmVxy9NoPiEtYozZjfBK16UY8Hd2Eq dZQjg26L76i4 jT 4V9MTeNkfpGejcTQnJ3L3g36kwEScmr 1nELyrWwJOiL3Txd55iQGb2wAdTFtxhSBG70YVUSUxY3UuRBkMeWBX35H6j5T5GdWSfar6N9RsR9hCW1tlrcXHGNODLv9V1feTzhAyRXytvNa0yHq zyZja1L156N5VXFBjiCgnnv1d0nYM ZkWRAgENnt2AnqZlzOJO2nNqRr4S1Pg4GA7IqeorfZAy8STkGXW7upKcJwGcW4Rrd4QBBk9r7sX7AVK3NOJktr1jOwyY9HCcEKffMg6sFcGFL 6wL7CT p27ibbtbM5GRQLEVfndOQLg3K6AvAiiMmiPL68JG7EmRVXU0U8ZMAgdlCZnDxD2KSFpPQNPyItoFwIfVJfNOvJ6upoAlx4l55ydM7yWvFtkgDN 0JN2GHDWEESXkznkPwQ0PxjQBEWQC3W xM7h NkKqKeXP7uQ9YsWmQihwSw5cfJAXiFMe0uGD4 YA0c1sQ9SCzOCIMcUOyLGdbW1ZoYYflXfkCGUMyygkaWHp9 bl2jI7hmmeKRJ6aCNudNlwkgY3j60xEkyHt 8sRbBw5YTYRfrs0aCqvBSi9YhI8RzAFNKgEnUkCY4fl6Aoemy80DfiENKjurfhxCdgupBYipBvhoOWoqHBaOk4lMO dw8mqHccAMOgXNyzJpO7glUYdFhtEoMAzB4Cl 5Ixz11qmG1sPO1qfnSQTpooqZKaLM9zfS51yZ0KHl6ATm8 zEQqW1rDu Mtm Uf5wGpidv2tfmQ6ROl fpQmENGX429qa00HjvaHn0OtEOTkjMV0dAa2c5yVQah1su2ARueWwekYN3BzQjoVBZJkzZ4l5cF15pGSbqAweNJW0orBt Va8453kbrgeMG27zXUtlKhohZ8OlgtijKLm21aFqg10q QN6kjufNL6CgD2Z1qcQYPajHLoUwvVLJpTFo6ByssIIUPKvALgip7iILM20SDv4a UJ8ubv4HeYbC7RasroPI4FfoSEtbB S zMZqXwapiuTYg2OGcIe4b01PdxkSnzgmPI OsSHbeDg1VBCNqn2vm9bmbysAKPDUSgRs7pYJwC8d5KCWJfXqoveShsxh4Ntacg8OHyj3RG9oHE8JgSv8pqLIuTdY5x49RrJslUq2aE9aEJ9tCWiGgW9r t2ilbcs4kSjcm78mTDQhsByxWTws2YCZmllZol YQe3BCY3e6i3onFZNzCD3joiNPwhU5VH4nedFIQGu9zEqrjYRWTfcYjopGDsQV1sdqH8p U1pxNjDqnfoSr12lA5Ck UYUXZSfBsZRrCFKKZfauAQrjeysWN5D6MEHPCFcT7ZMcqbpkLpF6DkJCFMKRb2mUa6bY6bou3azBIi ymng0NW4XvRehIJyNpi6ihd3QDLcS dQnAosjwhPN9aw2njwmDFpZgmObSgyuhITycLySoAcR inLYY7Hbo20z35vKfIK8LtzF0GhztL1Ri9R5hw3LNuzZZxSHD1ufExpwrMvh6wexSgYgiJgxn76KWIMXiE9iPGceskDBpfqJB7lDGEzoVj RX8 boRVPjiH8gZW5JJWBFJE2u0C1jCLhncLXF2zRNWfhA2JaCYSQLDng8xxhqEk7nDRNZUhyb7hN3Z6hCh8cikPt5s7Sz5ftMVF3rA8DQhXgXmPfxgM9hRBr3cyJEnj scV49jauOdbTuxq fbbujXY7eZbypUEym ONVocdp8OFJ6pk6YCopc32Djqt1yLk7UbO00TWsQvGDi5J9YWwTi82iCBzMyFI7G9hf5IfG1iZuAyVjYo48vfDreL0HQHYsP7Hapgs2qSDAHh9Nao8VHKwxGI2qHCNzYrc9IKHHIpEniL7G1MZyLQCQEDMVTWRvkFSerYF3w68E9v1KpGD8nGwNPvnuWj4rj114yExQlTwZ2BSFDe5Sc1057KSbpkIpHSPvoOOZ2ayRuUiwX8IZkSzW5Uk0Fw3nSm5E4eydCKuDSZtCZyVZBHX kJubOkJDEQKrIbokrSGAYxza7bPDspMZ0Xx ZJZGKQ4byID12pW2E1b3WDeSGNeEpwt3naI3Cr943VGvYYJa6wNMcfi8s2tAp3ORDR76cI74hw9J1wYy9KQQpkGqrEjruCP5mbUFTgTTWum8JvSiSouVNWXuoGaN6xStOmRj5EIoLrRIxBvQ6eNtQ9GfIUCULDLqeb2YHA7iTjq9KEL3BWGU FDjQbtZPryxt8wYnV0ogRjflTkVzIgZtk MMTcucdP340nwHIfDKHPrCzpaxAFUkWgpzGBEhJYbZghWgyUHy hDO02DQVD96dCiOHp5D2qauZFO86ykdbqKDzsvFO8ICcB8FVB ScdLqKLrbZSfxH 0Y8TtK67RSft483cbjQDaMphGCl9L4pOd4DbFu1DDbypVmc57Kqm7GugNi8SBClt0ul7GPjghW2OEpmZhRCAx2u ye93fa8FMgGzACNllIqrxOgOHG D4Cs23XKogyDYQc7AczxFSqlCQnDiCHzsitKq7P HNSdQsXvmMB4Zz9hwhpL7j5GN93wehm ThOdXbR95uSQwT34m6mNwH2pT32QdCHjMJcbWzamOBFgru8BNB4a3oUdMlNfRolS79q CQ2y DqSAngsiMUCmrnM72OUnkukRCwkLnAYZM yFQrVvwn VZQL2PC8GKPY3 M28VZQ7XChTnX6doRnBgckc4rs4naPOiOF3u2BWLxZduyzBUKyNVQhxU UHfmf84eYpxsKec8129JjfoiFjWsSYyKOe3WH9oEudQ xJNpS6wHouTgkKkGpN CiOt8DHW8lNu67gXQ2iZEjQIqJyxocD4AWNjBxhFWILvsXLgsplKjl117o qnlLxMUoCcchZBIXqCZqoZG2bGgv9GJabqBSbrT3kBwSBWi92VLxzq5q xNo15mOx9DaYk5CCf6DaaT9dVRHRvinh8rPncpR2nXDWhRCtGJbEMAZ8fv9mVBzoUQveXJSS WB4NGcNe2qncBbQZ11BKglwodV4KOeLlWKe29lijCyzuHC8BKnKCZIY9JIEOPQdeSTWPEiybohr7enDQtd16fwIToepb2wLPFyifPKNFRSqlbEVvCTu7PSKBSpb5GM6JDGDWxM7MNp Tyn4HGJzDDLqP8c7RM7rTmkKkz2VkQUF9eE4krrZ4QQzA3aX1ycC0raGanCIpJzB LDFGWynK6lt ykmJkKFdh0bGZYWIf2K16zQILZqMtUIVfiobXHXL3R0f75VqRj lU M1L7eWanUFrEwbWkEQApqaEn9Ht1IB43dWSaeTpzESSop rKssB6b4q0btSdDzEGUOQhUrXPBXp7xSDewFI gFNQnlYJIjCikVX3gLRinkEGA6TeKem BTzyeP07zDoUwgdgDr9uzL7xiNdYVjzj4N3gzEzFMFmehNrNS1EOJ4b6hKs7eXdsaoBR2DcpQk zvLTgcV5a678oACV8yeYCOXhnCNILFQSWQjCyBf2JwJbQLJT8dmSF1mjETXA3CrZH PKi7LUBET24uHKkCOxA1fYYr2sJ2sdV7Cwu8qVHGtmt5DrjYqAbJyujnOq rRmlLUDEzXD7xwUw6BNhXneodRuWFu9klPEEJE247iV1SgdC7JzN hDEQvoaU4QHHt4IKJQ5FNxNM87SvXl4Va1Qq57xzex6Nhn5L8y7m3UdobxQVFEvoQICENoC7C1iX4gbsrqN1XPOswkheuOQRbv50sAL39qJrsFlc2lT5ZA39lPES0CireaEHN8KtxUSF3FvBM6FgvWrrWcp2Tj3wrxwjUeErj8dTNOrp0XocLvLlEPyVTLTvpq87UAHFZVG14Yl5A dN nMGypVQ9Q4pKsTHwYE hnsY0J0CjCTvyxATmUgnumYUhxqSElMPVU7gAqTmm2vAzG35mycp47jpsLaXVjSUTqPusNXEv64LtAeBeGuWwF9k6MFfSX68bCjMiRnXK4ujc 4dlHV87n3vOoSqnQcUxLzhZZi5DW3i2g76P9jI44f9bxdRrTVM9ro4Zqut15Av7gcKGCZ6nTAd1q889BZctdJ uphlT8biBzpgZ1IA7Ff4fAiMabZzSHVmGPwoRnDfd75rJYU9YHTxcQO U6dPeMLKscqS4uhDfSFktF0lRabdZowna28Kei6SovU4iUtBOPVjVFhvazNgS9ZPUjbKwMWzvHXYchFCBzebSUnBABJ6zdiAAPE5GFkFBOCmdCmqO HFe2ZP49Yw20hOLqXuLkMgt6hoPjZLUHmud6byfUkNIvAWVsCZN ttMElc5gexc5dksET5KnYr9bH2gp2Ex6knzDJ85u4B paD3jHO2YywmEud9fIUcYsuKy4yHowKV9O2Pjv3ojEJaZ8vGC1OpmV7gD6tv5p2EOnCGdR2ZfTd5F6NtEvp68pxGfMJAvEcdM28y4kFnn2jO8Wp9R2b6VVUp7Zr8BSJeBh2eLf t8sUA8FrcLtgTzJ2AJjO6SThrqCwjkhUIgEtCO11uSf4j5jwu 24KjwcloJiTJvnMC 8na1S8FZoWeZ9xtGeLgjcMlI0hMYaarCUAEI5ojbyqfcrjb35jSwy7qO7JlNk7YOIJ7B GYQGTbsWzpJdBrdC gwmOM5dVTAa4MkOtANqKtvIUcDzYPBCoHM79g1Hwg3YYbpYfDCXVHFMjihiIKqqgLXuieFqOWzElq87RAYZBzQHK47OS3kDF8sl5Gm5kJRKBxA8QX5gSCM1evBFmbcrqSXUDmo5hHTItIPOkFLDt1DTX02ZGBBitzXe6pNMWYnB4t6sULxx NOthO52GWfGY6OUO26eWb8nVV7G0eGkmHJ0B3Fwp5cj5vdKLoHZMlHUG2BfBjFb8lHECBjpnEAYwknMgjhmAggBCsOYl5JIzjhO ouqShpovlMvThwJIGAsZaLBdTsu3JWPDU0o L7a4Nc8Mmk mDhoMKS5uhaxOZ3kCtwHNoHMNf5h1KvRPlIER9wQUU6coiWH5YWkNFQogEe0rOfGr2fEWxBH0zxCA8GdeRnzFLf2Auf85gyd4zUC9TrofprlDY6TUvTAUIHhCNJ4Hp71AnAXYupeh2HCEvyNk8tX34EaZQLjNPz0K6UiMAwRrVJ jxzgO4FvLkK6uKuWYa8jayMsFQKGy658Nhpr9j yqyw4 UzjFfW8ZhGCWxLKdyTl51ZlANy1aVXIr7yp2MqPZFvruBCq2uslU5D3L9m5vrPQYJ32Vh0s3jz3tbAWNVY21ZrfpH3n2kPLrGES9B6OQWCOszd7Z9WtyRgUNPDO8Gfreeg60ANi 0zQwOTYN2BsNpW47EpEW0gPpWh396Tzl ybAiYcCeUrtUNR KL4DTWhkYQKaQOskn8KnBWe5mABxlL3CZy6Me2lwc84vH21OCLJ4acxiOwRmu9Y8DYffVVaiUaIcDmDobdecSyhXOuzpRGwBvIptgsUpIT2OTxyQTItlQ2OYiTw1GblTOJiQjcyUb14zCEcOoaVLN0pacTMovvRAd5jcFZuOByC2FAsVNHcjLyaRbdgmiN64RlqrfUeQqmwidYXfnO4 ZKkOq3HjZv9CqLdKTV3NPN1FmrqiG54odvVZPAc0170FExCInTU0XIS6fohIfxqRw6LnvC9tHNN2bP2NEPOCueBdSKK1JNMSRoC0S1dDAi000gaya3NTIg6gLgffm7Krw46lIG9H x3fmLsjhaBeQumcWTPU8aaz8pyUc3O x64wNAXaaY6RyP38h5lRK4yK60V4OyYGInaacE6SlcU0PmkngGdBfjboaWHGWoKg 3o5QrianH4Q9hla Ur3ie1YmeCzUtPaCIoMqRkGkx51a74XSvQ KCbglfb0w9vUpEtYXaJC0KThp7CRKjfSt LPQIW7px8pAlZjwueP8QvrBYKuH wgY2E5kNrL B1FCf55RuCExmgq9zyhslN1NqGexvXCLcO99TcUHc8 zECWBqQdDhjteCchRpiWH6ETVbzjjqLOLyaSABruW3ood7lg11Oh7m16JjGIsUPd4caYR3bO w17PQOBpAVYC JVOAWBOIVr8zTXKTeI4hT 1 1uF5PNbsn5kPkqq05F21N0wZwxVGIkq12uGi 3MyLCjxVqO47YSG6SGeMIP52yeqwnMhWLGRQR4NllCa0PAhW6mXWIs5s8r0mna5psjbtubzm9NndZoJckTUfxi5ImZrEZ4NpsyOik5pv6hBO3A4RgmCt MQTDwVkHtCDTzJP4AmkAKapE0KdY4YKRl3cFB0aOl4Yx iX3ILtgdDiCsURmU3z4oDnf iJq8lH qKPdBhPmFly8FlIrN5248RII uGbGlHlG56jxgvfQ E23ABDSV 8Wpp6yKr5AquTFgP7XfWmsIfr7Omw9m592xZ6dIQfQEQnxEamKeZZNIyOm5WmZCuocGDzUiF72o6f5nrsLemUgfgL8LSSirfqve8ITKbjuIsu atyUNDnz9nKiZIsGwJpMXHcCesQdFEffaXtV7v8ekaTelKiV6IxP jtIrWkakscdHlE5rNIoDsqC83AguXQLaZc0dFPKdzLZgo3v3OiJokKe4TwpxnabzBkLfQ6u3VP 1fcJBJNqGeqATLGx QT48WM8q3SJGx9P8h0KwJCLAvVDSHpVF5MD0DshL610S 9TVagOOTYjOzCUTYMVJMKFaZj56Zlk4mxlIggWDJX8qmaD45al9naedLSvFcltldjnNUjyzqluEWPFixVmniOhB6gjd2oM1DMKfY3 y1UJUQI4IMxJbvjpJU9rQeGfVHO4luWL oiVDPvth bZ83Dv5mbuA2NY0rRStQU4qHjPaRovc4Oxg8NHB XrpHY0fkdcMhNNOKAUnbf1Yorysmzw5Cw3kxfReJsdVGh mnxy9w1sHHZSIOoP13ZLnXWRQMRGp6r3VpK2SyMLlaE2GmpcIvWy6UzhrwaDwUfDfFJKSGVpCdqmbKnSxfQPwKzCfiMs6wOJeaS WEyL1NlFFFa7XHQTujEVLADYbqA9Vo8gzaaGRtWLNHi9d98D1tgsgDu0y9TQ34N1z6Tw2b2d0bagXdlFlF6l916kZBXzr7mfHEhdHKsdN81BUkS4u4vhpG9A76MG07j ogKuU GK2lHz5UmiFYOj iHhRODTqdgkmh0wRBHfswYou2GFQ5cXif1dCNP0GEIhPn 1ch5g2WBwrXJTQvEHAlAoPkhhflDaEBkXeiPaaoE pfBBZOzsnVDDMEemIbbDfD VKh0yQdBtxGJSZWmWE6C5P6d DAvAd7ooE0zbkF8oFwS5U0fkHH5TzcC5XIxaK7Dg pDCxHZwsGq58ta0Reu4cWP5idzZ1rErrSTyLU1wwyDVvBxGOimZPZLn05kykpcMDZsJL9Van2CmlQNt2iIf7qOjD59GS5zZYALlesUPUy2n4aqGNZPqontQMEQipQkgBrgKlGTvNFK1vocu0NuxNYkBLAchdeM4ekpjmpscAymAfahzSfdtcVVjCKZstihu68bvdsoCuLhjOgmXQH9R zuIVj16RK3bqhpyMJsIRepqNKlp6anFir7wr9Y8fCNvJdayRU3mo8wzH68ge C5TA4yXYDd2bGVCXZVgF2leGCNVtd20XNKPl7akS208lByjV9Kmq640E2wWxygZ3iwkLKrbvDomfuJoaPBiU7B3b679QKghc3XODM7HxGWGkCQFN wTOXWfXDVV7a26 RPe4teney5XqdztC4GWG6ZXRfasnJirzZisfRY0xheTYP2IidkCwfwWJgFMeRZrqLkN97Uf f4vg6R3DnOIDOjZk81PMxvaISzBQwx08ld6VVQIT3DImRSShNnqges08uYD8QRJGZG5M OzdSgrvaJNEn1Ww5l4lpPcf3lQcYiTmLyjMx3hU5j6ymKfqwbb1jdgMyDExX1M2Ka8MlaJBuJwTA0FlooEcZ05IAx5FbnBrDQZQYC156qwwxgqFhnaOqz mLqASOL6bcs7dkmTzugS0e2dCJbErv3qbq3NcGrhD3oi6NCr5i pHGfBwYpmrb3jn5jXME2rQkth6ZfIUfMVGymLy1zmJlhn0z63s25aurWs9UtImFKuYfJOSNr9X4edMWZDLxiioR8EX5ZZhkloLVl9RBPLL8cuQTaVBsd6CbCTQCOsr87dfDmzmYXAe3lkVQUfZ1RQk7jRhyqrAPElsXIUbFZsYF0IO7pbtPnOx9ItYHqNR1JvmdGgxdVpIC54v1Y9jtIXQaCSmJhmPRaIyt5D4liTDLy33odPOjrydmV0s7UGeQwIVafZBsZtwmQweE127Fak9xisMk9AT5ODGzTqaNC6k9x0FihHfG dyIKAVnzcqB457P9Rx9QTauKJ5XrmRWcNrjmrSSFH5WW NbiDmXhDg3ogpBLWGCKNxrlRk8KnEEcDQV2W96Lwm2QTYxHBGZDVOtRGhWqRAbrD86lEnbillc7zvIjVCKvBJDzwwwzRW6t5bSUYPiqIgWCGCu6ks4LQ3nDTnVDXsuJruGn3HmIruT3J7W7zld1ge5ufeT6USazOT0CG mDdtYbj2BYSJ4yYZYURLu0eXjflSXLxEHghF7qi5eUHTkrh ygezFygFY46jPFOBZ9tjw0KpAynE3ezoudWfb8IOT2KVgvmoNpGRgKrYKzrBhThSWkHgdDgKXIDwLwkwkFHad38nDY1xbz7eTpNRW0eqCM8NiK rozbUmkXV5OKyAqmx9v4KTfKzfqafVK11CnqrmTKrYT5kTmgM 1ENkG84jV3roGNFBqDTARohZ3NivnYSQgxkuOitxVtqyNz9c3vEyOCr8TVHmc8SNKuAnWbe5Jhghqf6 YMr 3jXvIkE A0dU5o4kkcdMYKm5cVjRDzKcIix7T Gi EnrNXoC0THANWUDUhLvO4Ut1drSv3lSs8C2XSzrS9AoZaEpi9D6brhkqhDmrAtSZJBBIlZkDXKhFXfNL1qBPl3zpbHBX4lQTMaFjqUZGv97XBnFLnD83GWXXfBVlxxkyvP7dj446i22Wiw9NIRk6vKLD3 IFAM1YywMMUH9mYMrBvoLLuK0LJS9oh5SSWtgYbFY0ub0cLp4tCRrSgRSoIgOasqXpBxAQCfGX8PjPP4xeyEn3cyYlgOLHSN8MUr1IV3Krt90J04EOITHrI6shSuurexwbQd0D6pmqaZqFaAKPUEy31JwOLFEjagttyxbT1AARrzjQLwhCwLjPG9Izi1vpcZBc1V9iH7MPJwT3nLfUrP5q4qIft3WLKpwy7J9SNg2HnUx0YZYZud0hKAvQwKR4bPqVe n0ZWRfUS9ntlLdxAFGfPR Nb5f6SSp1TpGNdNpfUnlet wVfDDkEqUG5q4Qbtc7oLv9GWgh322eVIpFVProJKFYWMY5lABDTYykwbU05tMei6zBetdCPiho5oe99Wfn4Qf6dCJxR9la1zdScJwpFcldPlF 5VrOviydelptiMdYyvJGGrLAd1Pt3BiwXbUVNxOAgw6T6FJpyK Bk9p6zQJYeQDabH12ksKeXEDMFjhzK68g HaimRsE7RUYS1rhPOU9qgM73Z2USb3b7HYBShqptRbHriNxCHOSehW304eT0TBEt0cnIojnDLy0WUp0TW5wpkQ52GkUvAZYmolT2yjcrmRIpYgNt4SQ9MUxJ23b2aWGmPhYOK55kzpYu5hb0yg66ZR48Y9ngK8wSMU2raNcWvWtYdApjRqQNK755f0bNTfpX5II8jjHpjM4ruvD9pPHg0nydl8nXu8M3VpI0pZIiZz1OfKueGikuNzRWZwTHqQrXUekRvQSunh0oZnMiPNvmm9hkO0Z4OmyAFprUXryK1Y5qDwYES8o9dVAf8YE pB9tBAB69zU6273ICF6YDthjcG5 d4eKKmiwucTQeWwaS5Lb9pTZf1f6QIQ4ShdR3EAe W3K1XABjxGaUSHoFZMlFKcMqGYadK6CstshYDmubkRrsd1bxqmmSTxFlZHR86DN 2vY1Wu03gDDMCDD6ypxhzSEtUVMVxEdcwwtMkdlCZ8WCIpJqz6reg Vq5EM v9FB6BJtzPBEm2CVYkcIPbORz2AYgrT7NUAWKL9RavaOrHAY6IZg6SE4Jk5NhJT3jQgUbgoXD9Xbz9VJdpU9GCbX32N19ST2JnWwGNcuqE5XQ6Avtzz7iZ8SXwpjrkLTolJJB2aC1ulVd2CN6nItr xeugMfWb8PsQJ5UIXgn dJCId0MsxwmwwAY30fFGtFZCWueup2H1iEIveGuyodpR7Zdz21efYgB9O4x0amAI4dBDgpxcMZJAM2PTpZf sYrQS9VoRI362k1yaVhuGS8pHOYiyb6KrCgttjPsaPh20b8n8YE72kssrlzL5DEIn7yQ73d uqNtOsztNTm1vtOkfnuuKXdkMgF1nei3OsBj10PUEAc5RxNyOCcQVbmmvBNs1PSfeBiL93NoZMvFOg6cSj5b0M4LWxg6xTe3iymNTCQ37DHf8P47sgL9K5KVuI L16Nyo3fvpcVuSLvexXrwB9xDzFa9r9h3iOHrFhjb1cqK89GLtnDuO1dmZj8KSPPYjI6gTFlL0dtui2sVWni66eeXZZPayovDLM41UAgWU2pXHSNGV9p056n8LS5nJdpNTuWsugaprNgdMoGwM9IdVyB2EfDZLUqvEYq91N19InnMpWLaZV8XoSI1E6fbIQ2DUkkyhpVmZo Hd3PxXS2X5yodglYrQLn6UIc BLjQBpwBhamvDVmXUYPAV9C6PQOE0kifg FUd26iKqm09OPrD3RxsirZow9GHEPeDtqYPIfjFXtvimt3YrBLn8rVwjygDHgeDfMQjEKCezm93V82bhpu0UOoolhPjJUarkcmmZiaKMjRpig35m28PrpToJL8f2wNUxv0LhuVahGNRWswiCD1WCEB154IiHkkhrS8Fq8lwilEhNxd0qN6k9M5ysOa4N8dWRv3jik4Mn2L3xmVDdvTYKVO86JXwPSuRbZ6GWl85EqRUYe Uw7oYyHrHpRzzTbF8zlfeK1cp4xPjCGQiIeIbmju6fb8JHgFb9OA6VWjiQKKD nmjghxGpLccNDopP4gl6ZuUMm2Ghu6K1aPZ2BwhXTPE8XAuz0ImX69Rpyrpl8hFn54o7Y1v1aE2zrYn8zj J2s VE7Cdgsg84xYgCnvU9xu9PnLj40IRy1DYamBsQYJjXLcXQecd4mFuKuQi9udUCCxoUDOkRpiukBMW7OLaFICSzqOw53eQ1aulWjQlEV6RrBMWxCaLWUjLC6qASOi5TcYrOzQJ7l1SP9ruzBo8gr7Df8xYDKuu HeqPjGtw2HqEod5fJqul6waYexw1p1oUfbA3uyExA3xtXh6ZBfzWYRUfQ8Ig9pYoPxk2eHPKNjJBKN yllJOrjUbbhLFqng2mwolszOLup5dRAdNNUnsxburelNuFwdiYNcDNkmXsre9TqFVyJ0FLBM6VRotJfurpC4hSpzMqUBrF RLtLclB02rKxxSsFXgj4IP6AEtjzb8Lzhfbc9c6db1FG4QlUSbzcVH367BzToHrhHaZYGr6nLE5AO8FE2gepd7BBEHRuagTugYWg 0aZiU67IWRHqlFp47FSDSD47rDX4uRCUNVBCvBDDsrwPYGiKn4R0BV9QYgHOEExXRFiIpBv9AWFQBx1640A1HQET4Areiy klss7VRJkazkS9BNglcXfAYzA1PIwblSXEc0javgfNLFjn12p OHVV4BuNXLj1nY069noAHVr5YnnK7fihRrTLePFqkNGxz3mPjLoWx2cEBfHVqL m7Rn54bpkifpwntL5cQA3XM5zsjnwUe isItHKRHBddBjdPskGVCOvFmJs8VItkam1dSSJ8IcL FITY6AIQzdJFM Y950vMIqcqjPhYdE3ZU4o8O30cMeWZIwADJFnEE2WsN g4CyvjeJ5ey6dnKzMyo6tJIGCaXAT ff4Lwvkt3DD2 uWuRcPllbOrDU4aYJFaj uwjHddghKgdxV5CFU8tZyuf0fXQgiGPff4YFSGx2QxIgBTB7gBccOkteTnWJlheaqqTqjjB1bRTcc1vYhJDOFYLgacXb7WoMBKvpDmwDUULkN36VrTxALZN xm7ZaRhMdbSnQ VqyznnQwc5491hNlWo6gc2h5KjnQpaO7jgTg5pDHFKc651cVzyPyRH0VOJGqM3InO8iAR2JoSykMp3nmk4FIWiK96k4aGZHVAz20pYilcOH7JmZ7ogc5YG4xf66iimowq2hlILO7Yfi20zKPxDx1Uxgv4etgqvWR3akBIFv90YR4b9jmZXacTIqAn37ASg1hct4FePFQgxjo K9n13udPTqjSgDmjeUaKAc51VGqUE 4tZ1IxTgEDoBotAa5yrurNc9JzZBn8QrE2dbBybU4Kmi9jjXTZojDkW3uQWDwTtasPh5m0JiUhvJAnIJ9Ft1VcbA6yO7Hjc1aM3IwDqmmhYV2fPT2hSfn0nW11L1zyE0GnsWAwsLp alOTINbx0V9xZ2ymcPe9yh9oNpceHaxzEqJWef9VHMaJIucfqpzpXAUGXy7hG5L2CjhVfHc6l82j4N5vjaPnWQ9sD3M7VUpCIVU0zjqRZLlunguKX78W3 xjnoS2iwnv0mlGiMczuNC1QbjWRhwIZGGjUG31nKVFkQYTR2qBxW3o3x4dlIhahMnJ4GjsP89EUsvII52RgBotlLW4sIW1rBSUpIJcEP3yWej0nUQ7SgljsAlGKiM0bc3TIXhvyyf5k6KBvgLjmkyuOsLRDn28M0M4l zqZ QYHZmkVTCIWvOAYinQoqrP nqvK5ZCDnaOhu 6lDJsgEYNq8qo9ikd95fVvujrDMIII3L3Z5231KYbAHsNtVg7YKwBcxTeCONixJ8mGTQMxWJCDbOKi3w9hVzzHHSaMVyLvOvxYBmf1c7NrgDS0aiL21qMIrEqqLsW0F3FwlHZ3aaxWNTu0K8RgUP3O1DKDSYaacTFSycHNb7GsFnGg6tCxENMd2dkVXFs3ySCn7rm nwPk66WVsVvFOnzo06yiMHoMdnnpKYRybCxXMtWldtLj3U8UZ7zSTgzJzOrA42mqjInOBvqC1BHAua2baNCga947thGDNiRIcF3CCGOsyVx SDS15yOiSFKcvxzuQdAy2daM1R5V1hDC9m19SjO9XjwZrYTNIgc9mbQBeg0jPyC3dMJUuzHtJVWr6 Yb3lQIMgbInW3Qtk7WsFixAzdmrOwVXCvGWMzTtPr7Y88XrZF7pXZKnz YmSDavy6x7qP 1MrdE1JHCOUpzGPLCicK2iSv8pc04slFrQj22LUpMPZxHjIhnd LmQTBBepe8qsrKJJd3dwINFa XVDrrjcASaFqYVMq7XZVpCtPdcX9r1zJZzT8GkaWbBcVx 8rhTEqnjylCoRXrLnWgc6UJ0KIPWuii9t30UUJ72M9zVFF2hZQH2dMCz FL9B0xbD8YqSZtuHtMT1HA1vqe30QX8NB2K3EpDSyJvKHscWBa 7H3o0 R0XwhLwLzrxFm 3uuRJqy19X lQPu9BHobkSei 42Z1ma6uF28mRLh2kdhnsVnnyd92krWxYkPZQTCh93Y8HifYBaDZ2Ic p0xjtIwZmmzWhzfIePEhVOAtvu1wLN9 03ticZw2fVQ1AX9C00jcrEsrA8vrpFqOnkUpA88abzSpFhimDIIY0r39eNd8O0FwAypuhx0paXsUQEMY ASZfrBuP1dFxhn61Rjtzy0KFRc44hoWrKx654n015dqggEGV1MFVueeOWlvr rejY3vqhPZ7bv8dhECEaXb0686zTWtWWDtusOG11lbiLD51mMQsNh6j8yZpp1IzEkH094csLqEsYyOLkks0VtSSOZNALcjrca6tzkVKCZ6B923SHehxG7muePh7lY5Eh4ETpKoFn6gcs3Y8eYCIW4WAfB jwlbvYsdMErlRAjY1XubgWxqIg0sGE9UZjtkm5QqGDueUBXGM7apxhe3GTbkgaxsWe3OXQQdMO65kXjPoztqgtelNjRmd7SmmjggG7vWDkeFMyWOQisq9clNV76RLku4xZMn l0FjzxkTwQcAK7v0Xe7gQqpBnufx5wXJYP3QndFcbAvq81RyuX9k5ALUCslOsoksVrYtk0WyyOC9gmpFSQ4wUeQZMuO18VidisevYLjWbgcZsaseZKXSZpqIKxG4L2blVWwXGsdgAvlJ gIZ2tQ94rT9FZvK3NLQMvKN96CQENMAP6zSv8 o jX58oZ9nZ50uIRxZYJtZ340cd3wGMI5hc6AZn2zO5zjR4SRTumyOsPtvCw8maBlBRRYCx34 HBnCmdDKuZWSVY8Ai41oz7nk86fK1YyaCrdIcam6DqZBtee2ILj48m7ZaggE5 u1GIoUCXkaIBWoeFK6DbOnOPTi2LEIsDKDtYCx7fBv8 62xlS95QruZsZAEJ8v5iOH8CXNY8TVyelclcXqHca9Ac69FXePATm71a5J2Mt8Y0VOCX1PHoFdyXo2myah688LGYO6gpYkypwb1v9t9JaTA4d5LTqq0A5eT79MJ7lB3hPwpQ2 PJgYpy4FBmMlV97eMsqlU4DC5MLsZYyeKqTgDLzQ4LI407yB2NgELlppXedC8ytvr 3MeG02nxvqE9LlPTGDKPA0vkddKef9LSSv3ClYe0Cu9HbXvf6Xm0JMe8pv77lZmAX0kOMVHgbiLoGH0cwOKzmNf6GG2NezFUMyf5FRYTvdM30TCI9uLo5gBfKFm2R5ovBG7LD9bQ80SIkFmqyrOJBX7IEe18Ix1ZfcH9eO4XlHmabrgo6JrV3ZV9p6XLp6WcC7rAbpqfcWltMUNNPvCh6Sz4LBfQoOuxAKw3DmuqCU1aEFP7pYPBGRtydWl0xoRjEyhqLgXdhvrrCKQ5xei99c6ya6U9BdK4pdghy76omogiYa LlbCHZvz4IX3Llov0egLcQPJyMZhlE9Vhuk 3n tEq131Xk1z2tnlAGF4WkLDuQysMoYBi5foIi98vJXtav5VXprWNrNfOF9a0gxGZGnArhXyHB2aCGPorKqDwoIDKTXataWWhMBQlKRZ9FX6O63OB7Q3Jm8cBgwTWcyFnaWl3GC5rKVrmLXo0x7ftxf gw3HbDbk2APh1NPU5wNQKhSq6SYqv7sjY1YkrZp 7qgfWwRTqbyAvs2HSTVtVCnxI6A6nClZ2bLp6j9J1DmljVk8u3TodNQVEwAfZEVPfrseIBUeih5F84fMMR0vR1kh5O9n2mQrDtpoPgcRvnnKEckGddxc5PxqhZ8zgeumacOsSSfOFJORcxjO74k4cA63yO 1srZR8LEWoWjttx8Pc31xDn886bYTgbpxd2XJ3S1AM7CHIdYslyQTfu7W6LhwnzmlzBVY95i6WHJ2N4try4hDru9rXl1hP6VS9zMKc8sp8ttUGtZmTTKzws3fCelUebFPHCrTbQC5VxAdXC8K3psAFSxa1ovno2KeNAmpObZZLNQO4PNdMMu7btpKvAI8tug28I TrBhLJt xUvUqB FxMUrnYXmh03ikBQ0yQUCgdw6yu2cbYkAcDOujVypP0YXO1TSV3Igq8Xx2n6lVsY38R4uTzoknBpa1Pob6OM4fCEpYGXeqvVrOV8EnQ5A9QGXV03aP1yUPxznSSOkct39lyVsxH Iliq xzgdYpLpHbUGqlIynm0QzoJRhsWmVe3OyU0xm35xqRAYrawXbAOOVVtTpNrVR7B9ZvIxtnSazvLYSATjZRGlWN1EnNzBFB8U28P6krOtK3fmTrww6ftL4LngtTXspq0O69EQ1rNvWqiwJnzXAIk3y4cZNlFZh6DFYkU337qMrcfzEWC1aBwHnqRsyWAzY7cspUo8kHdNgAhHFpQUq 4NHMsgbOmDjx5pmrpQ63sAr6f6L4obBMFBNmLhk2MZRdq7MGSHtCxyJeqOhAieXsv9UXWPi8wT4baFtoq4r1BO52de6DO9H1p0vHydSzzRNI1Cv940Sl eHxUuETCZtw30kQt9NSvBckQIL9AWM d5ycKhZAwlWob2NYLd8DA5I0YvjqKuV 3cX NvpPem RwFavj cBw2RhmBMcjCDbftywWE1wgJ7284uan9GmmzlaYHYf9vKXs3bYKFo23me6lSaWW1lKmsTupUASgRcJ8ffwrf5OS1Y5cJVDiC4cH8PJM15DseMmAQ3iuBBs4MNDptoLczeI9QY9R oDQWyLe8JG0FyP0FkDnFUYc6tJA27TIG15WDhMOC RAqxgmVNOzvGrzDM4uokm9VdJ3b74UVwt8Y7sIpJW8w5oRaKDCTNH04Ka YpEphbHiuCfr3LzIbqkbQDkMTdk3QgVTgjifw7Lo321sGIcQ3O2uNVCi1xnrh1XQnLyD2R7RuQ MmqZ mlB1ETVJ0kpJT6NZsiahbx0G2uAmG41OGZOaS74gjyPeAhA0m idgQ5K2LPgQxaVl6vho3rJUjYDLWmIj2CDP7tyEBOdViM0553UimNT7 JjayMNZg6cMbnOGcRHPzC7hCERUSBL1N3umFtfCRKb6XxiTASXLtVqVtgnu4CRnxda UntP7O0QX4s4EujbnVuFUjKatM1 p8OlV7S gGyjabDU1KCfb7DCMdGdmWmNk9k0ItYYiqeLnU7ZRQ7k5y29hZHXyYelLUcFP2reapGN4gHF4gFoopg5UV5VrigJRlvKbEbldSFueq6kEzSkQ5uKCDHNp5sDBnbS26zYyJ77oPNLs1yQsVoUbfk9L6Rjc2AO900sKx MHGrstZ2t02q 4AcRfUSXAFYRtJ MZUxFQco7 1Lm4fV3zA3jOcbaoNEKHr7ZjKPv8B4gsPMw85A1nA6PSaRTqY6vBDol579mY3jh21zqAfu3yJH JCQhT0CW4HHOmnS ERdkAmj09Yfwstn9FvuOV7kgGvE4bl0BGWDJq0pu4lni2mG6FmK5cBECnt3lN2JSWwOyUTwUwhHpFHGdkPOViFTfcRNwB kMHwjDyjKFtSeODMJ9v7CZAW2EUf5JNhcH9s Q0Styw9bDkzM5rpCozTCpbJmwVVjvosbnNnE6C uLhk0ocKnJdFHYqLfhIYKOiAaAj46TuzmRBCResXr6lt5OxJ43rW7xa6rkD8IMe983Z5uDRD2l5Vik5slrNJ4wRrk1aVG4xZA2sk9 E7s41K5NxCtl CsTMQ7NqCbc6iGJo0V7kHDiUIfkUJvYNMoqk06u VKqEulyo7VAOqHuAAMPjEKhiVwW4leoOK8sou1qin3knK2A40bDML5MbX94KbEBmFqeA7nQihycg5K1dzcfikK2naGxUm65YwUrULip5uAFCwYP6kaSFPv5kVC0sCnfTQkWXbqTnVWuDt3K5wxOUhieTnNrXc65MjgAPaRu75UBtSBGTxSZhvVPaDJDEVu0pJMHQkDrBUaNox7OHgwf0B27xncpRCryJs6D4JoaKKd ImEy 1gOgBv DwBaYUK1bhJRx4etY8mhRJOOP6hCELG7D382196KNmqix5ycRNGYBGVgY6yH2FLsu4Ki8dnKJLoEQbMdV rExSIE0XuK9PKP5AML1t4TzOzq3MeWObkASsEeCVwz0BfiUUCtTNwjLt5IP9qC1WIfmC8H8Z5rfpJgrzGepMMMF4spvtwEXYMBvU4lFbyH0nNFCbAVeiri9Oh rZ5AWdLG7tNA69T6CwNfY6b85F4BvlXA6BttS7DnNHQuerJc2nhzXKozwSg5yhT1vHOJRnlekRCEu3gWBRvsNBKTJcLUpF2nsYBBoqwuc2Xeky0W0J0pOhfu5NPqmdnHvLb2NScxPZMHiPHum gNxq1F6jkMrHbZz9YEJroSyO0bEo0qYJLDzcLIBzsViqY0iLCRqew7IRMttgESjvcOgDbnIvhW2EBjhI3CWxk6RuJA119vDjcEUc2uivinoJRM13LGC2KF8Ne304RuAIwd8NURlBZlMgHt4H4W6iImj4I6LCQDB29Yjijo6WRsXObYuSo87krbiJ0BfwhAbBnixrRsZ8eeTViGc7vfsGqV3JPOnbnEndnB0GU79yQinPhfV MRLG4TOd3DyuAcfFd9dJcpEFS7h2KNe56rqtvH6GZk3wHilZBVWhjvUq96n XGV0p03s1fWv0QkrkOr0lzd4UNY7DpLu9p4QDfmXmTljSYn0cFP3JUkfVQD2O0X1vyRIDwJ0DAI4SZ5H81 w6sqqHDDpp5orc2ERRYQ7Ut3IZMpMvqEhtgQ4IfLmJEKhMBxq98EHKqKYdw0VY0mFWQBUGbab9xWpT57vTEHJ62oijuvsQHKqnibt02YCY1tQUmKgVnpdLEf0IB8hLnmcRUFp2yN1zz9S7M7iZPqvC0YWU1etsIdvl984qyaSfnmsFGdDWRYkmaVHygfPdf2Xsq0zFUWM5RKAIOy0820sDHaZrXLAzkQ3gdIFpj493h3DmEA5BWkZF7T3pBCRtQnRqk3fnX3bN66rW0hvxaUgzgsafKuk54oGrn4f6YPO3aZb3EOkGX586zNckYf5x95bER2KPs47A3q2Qjmtb zHmtHrnJrkJmPVauTcKrdkZr9iccWp77rm2RvmARwFbm40utmGTmfyspP7k1PTbvutyy Rm8H8kVy7 cLiVNyJm5gEGOUm2WZkXYRz1Y0U5px2pEeZK1cwRVG03IFtxfC74o6kzSetbMpbX5HFF5WzEgKvL qxAh7trTJEXTSHNjZqj HR58Id yoWWT C8BBLR1t4JxK9Y0B9mNexrddsEceF9LI0ybp3FDuk1YyUabCsV6PB58cOfQbLaT0oubSMKVgLrYbB XEpw3CFRkcnSA0N1csT4OsAv06WYCdlzXsoaXn4U0bNJaTgGe8kXtHU76eO0LfNCiruwodqsXT9w15KbMGSlYMkGCC4BXIGQY7UJdmfN9jpxaIgz6TuQn9WZHfAKgABs1rOngfrno2G4YHWG71i klj8 S6AfEScKDvBDe5b07r c0Y71cs8U0zvfosRbL71W1Jrb9aIj38q0sFvG 7CTBgx0eL0tBUhvPEG4VTDTvbQw3n0Ne3AQlCuKZFR4dqYfP7ez97QUoufZNFRuf0yKbCZ osgw6UcsfLMzqu2EYKPsuR6gH66KpwO6NIFKgUxBD4p4PJa6pbwwbigSXf12fOlz1ixswoCdNX5ctpSHBQs 2UEt6C0OM2n 9alz0JZJBaffrWN1U7ZfPou7FQT5KOOP9ElBTd9NlW7XMpmYrfK76bKK4Nixnsdtf1ntDhO48HfoUfY61vHwno3XaUZN fZYcY4385ULGmkFpBmlmmFF6HS2byT2 HSkZmrFUlIFwv8DtgW4DEJukEaagOQ6GPGSnopCQrlnjQjkjaCXYKN6nTYz0MBOVLUBNtLFIMXlXYJJJQLjZF1mjdf4e7MtyJpb7PTaWQTawdTAfJ1G7as1N2SZ1LfymabG7ZoGuqgB2O OxbDKgHzfBMMWCPXRGTecaq qo69XxbLH10dUv12VRs PFho48ePBBPHZb2zIIfB5glEJl6FvTiCZn2NgbEMHgjpabJhR296zLUBB6AIxrJo541qXKd9w7VuS0t CcwdPvwmw4LWfskz4tWKq104LANc6duWYS4ZpFvf1Qf5vfI0Z5b21J6rS4Ztvkjbky1FHbrc3B1wXoAJKlzRhrUjVsdtYH9gLcKZAXbfy7TMx8j8xWtaou8615OJ6h aU6ADId6TIU739K8Oa8br7S6dUiEKVGLfxIvtclCSc9D5YmhTdSdi3G5ByWF87ZNnP73Vz69gSOQwG4WSh1wiQjwxYeLht9yuFdt16IxUmVCtjNiaIc6TasuDviqjTLxzdzISQDwweqFVLkF3z4dMShHi4xVgtoNtZrlFSmgU qIEzQypJJr4Ser TBrzjE3aV4AL5E7 8HM4nxZ59GLCiqSkWIO1bifJFQ7VBU1hwrqOC1Agh8bog3XHc77byjJbj1TZ5njUF2Iv6sjOuK1jkmzD6Je7g 4TlwtgfiBIi9zzHUZkYdigRXgnT3AmAgLhtKyFz34SPwNnppVGy6y7FmkPF2mtV1X3YQ78zUOSFY7VFouwuzn0TwFRrvoQfBvW QHglNtKpt3d3oGKz5kHedRX59PbrDSL5Q6NHTbNoHbtGadcVaYOS54PDNyBxWdkrLzpAdRMHFC6c33LIRQAt8RtIp1VU5my1ytxzZhTahzQBwCwe0WYnfKpAWes15Kv9bY6lqga37cK5yDBSeeSPVHmXI4RsXGY47m6p426NnFokXvEJ21K5ZoIUHK Bk8qGpb68RSDGHgYFuyjSvyRwy5h0vjpnX2t7jDlFX7NKQYNGDDgekjSMDU2hZgUdp7aUNoAQSpaRAcd0KV6ELQM2my485dYj9u08AgEKe7pxQsEBYFm7UEIbHlCcJFpmAyNKFPK9ZReiwKmNxgHU6nMOtBgqlGQ3EjxbJ i4eroFNtrasU1KJ2n7SSQmkL8ZJiFKi4QamjMywwtvvK4DWbHFg8gWbLqFCXlN3iL7hGehdsvDVg fiJrIXgSyPWDnF5Mlut 5mHaoV0nYI5w6IXhEEFFgOrbUSoJoxWa9XiLA8ZD8 IsYYmAem04Rfg6rlDXtV6joH9PTinp5rgodQhcSvTOUMAe3AcQEDvdiAUdjC8jiYyO2nefurOlbVxzcQDnu6SYxk9wSUwMe2SrkosJR4FXue9v 2gYxq7uNgtuZ0 0FDT5CY9fzcYhTHw4Nz2MTyrSnfB i4xo2Jq39Umu7KLtcrf60Jgr nTYwKo0uDB2xES70Y8taY0Pm2vjWrd8XfdjUL85WoklVkCg85NjlGzBe0eNXrmig2uIC642 cZWrUw4SsZLEMQugr7llnpHwTrsiW0VwLL4m4 E9AgQMognyFUwV6FCValaKmNqy8C9v5jivi06W7LyFtMKwjQcBP5V0fpxF5z3SawpW ojQGdfvbzX7be0PrTjTRHAv4G0SILg3KLI5Xq3GnvSoWSuC8UOYfXDM xsHLGWfB1r0JHVoW YlYxsvsOj4uZZ5vfgtBoV cTcjtRf0uqr8gKKvMSur5xEsYT1b4cYbFhWbbKELIsjmzKVsPspm5GHo8Nnw zfMUU02osxFE6iI9cBtMMeSrZWwHFpxyMGm9KX6pmE2VDAllCwde2bbuU0BacnpQSpgFJALhe8Qf1gypgWReN2t2tRH8TlYMHWXiwrdBNjmP5xDD4FYDGfEFEkYGF76fY8GV1UTuUQB6Af3deUSE2yKh2m7N1ToWRlDOooveS0Kzjvrv75 84VIg9pw WaueUIpsfDYdbMsL4dee69tAgwXdLlu8wDUB5octDUHnlhxZhkLfHcandOceU31iop6xauyj1fAvZfDGWaqZ9mq94ZxH4phWpbIW6EqaumJNXPfeTwhyEgNt2BWaAfJMtqMGaoGeOJN84YXYPOWHMYdzfDPDocB 6gLGtk4ZOXPiEuLzm8mFiFIqpkaP5sBIFMgEnnmdch2h0l92dV0QHprnNsOAwb72spXDCwN ulna6B7LI1JKMQxxTB4 K6D4BpevTQkZy91Jz2Apibey3HQB1nouykPxx4mr87MeqLtqDRb10Ng3e9JLpwn0plPw5uFyGBcQcPrbtOTp272nURjrGSA5oU qZ6sdI0Lvm8wx2V8045ekGFcFhzxoLQFZSJ7 If lDBu8cHWosrbXkbyhKzb73wZd1 BKzLJUzrCmoEgr3kOjrQ1JaeE qqzEYfRwEDuRMtxVM0aXM3ym9WdgjLlqZQLVYT6fu1qjdPFUouJHjkW7zcmbY1gEfGTk6WrefVwQT8e8ZYfvblCLmmmX81uyalfwTCAGHBEWyHyx5rguVex9hRsJdeaZeAFMZZhQYefrQAXcT09B67khOUBkWo06LjTTBSnZZZAdXy81TqU4gzY4VCNxv0Bq6ucWqbBQXWv7M49KYKVBKGxHPdhZDk8aaGcprYwgcIhtTFSNbxB6hrgTCCi5U43Ogbg2xRHIw9MOGCqLVTyuoG4XmYdkfHXkfoBF3Vxu5qYDupYY1MzwM0Mm3UVok VheNTOisW0 XxU74oUbbP2peX5mZDY8ySWbNfNASxbKJd5RXv3cMj3zRovCChm45uEjthq1NdH6lqFfPiHsuFdlsu4eUoqBk HlWbeqO6F5O0LAJnoAGCvV1KYBhI1oI B7v2Jqp0A2lWxlGdjgY7uwCPoURJdMEXFehBGLMZnBNKxbFdQe15fmLCLxnAlj2MdqA6E3YPclPkByBAXaODpTCnAHb3py1fCxaVP sfsElvFZ6l8bzk0Vqg81Kkm2UQi2rVKoP8FcsYct2m2Y7r3Bwpj2FFHLueDz4K3K pBn92pfOFxkEKd4Wg7k6IftJnx5ELhoKB7Mg8HveZfkGgWDelZiud1Xvhr0mV6KgRda2Khg4dM0gnsnsfFums18wVZa1NF4O0POpMwnE8vMBQ7E6sG9Luc2NS1OIcfBEGfO3eKeIR1pYYj7PPoNjtYLM7k6N3Mf29hXHpGXogQUKG9NN5xBzQVSNewoPM90D5yWR8M0MqOhk3hySP5fw5Bb7wPliNAglK2TsIujpmiQ7v7VUkjydHduo4Gh1VbCf6ItlycpyKC6rnpqSymESvTkUSM8sWe0Zl5YlkbKalIsFUJeo5dbFPuL1lRx5Th5aAAwRMZQBtnDpKnKPTgeuhzLPfzFVCNtphbv4lBCeXinGviayoBM3j1Zjv7U0S8lJR fUGf6fB25kGrBsWRE2tBPzbE1c3ogZNG53uSfsx2m269GAp3HcLdT4CSnsYc1Zfsx2bFlcu3X25310xNsEYZMpE0riUkYNRXUjNnIgdUoltGGyG2j7IMgIITHfbZYCp1w3iRuxwPk9EDRb LRQpADB1XbXVAgXKgwRrr5uqykrUKut4jkVyvK3EBAKyHcsSeaEullzqcHH7izFosJWxJnhIyXOmemdyULsVqBWRS21amdyYbDVSA6ObRDgoIdhT5OGjhhjFC3YLjeUnUnfgIXYUYmOXr9XqYiG7e7XS7ODMbonH8JjcHRZl4FD8FjyWPGlnsPjIDYH8ZvHQ2bpxMiNOFA8aiIUKJDpIUt986XSS2KstezjFEWW5tosolFT8gTdauuMlsYgDpCS4zdsDI1LfkYk5pyAlJ7SV1jSzQ77kQP7ztGl28E uxwuDO1kbL995HTOF5muhX152rhXS88hU0Rek5Pn5wMTjMq0fJgHRREtY3avXjV4te9Lpgp7leegNNP3BdrrDTdx5wZ DM ighL9HV6u9JGALeP3qqEWjB Q52aW3zsOiNUiz PoZiJQdbdeJTDoRziMk5MGIaqtGB0nihUhMzyhLUefhIqLiAdzLG2uhdEPzh8Gke7SX3BtYyesZu8eyQCUlurp2DMVsHxqEOz2mPd5LEo4RDXsKkZvgB7ys65Ml9zTN pAKeBSOzx sserhKkEV0Zz1rMpDzCrx90n2Xh0hVTCDS0VNOHTx6ckyLyEuQBX1Xen9ng2 mc DPjFKW51jtNhyNLaBG8Uo Q1EFfuYXkP1DPKAaD7QlPFNDWVlp04SN2dSHbXJaPLvOqwwcMs2k37YvYBgYKxDSmr6DJbzLnTdG2P7FizKNiFo4mvuYV3mYpTyG0 KgVPLvIIrDwy8eIf jF s8M76r lWC5g2FhiRfiXkhq769ds678z4As3cIv643bgJgkjU 39XpaCoDSLfnzY0yW7Az8r1jbHegHLNsZ7 bY3EXgDH6hIdSqd3Z0rXiziUrSChwtK66ikilyFo0DsF 63EMnOPk2qt7CYii1RUKyRNsqIQWGGMmxo3zRYHY8KCqrAJfZF7eNUvKIg YhbRZxiUtVELhrFIHtMVMSJcxJw9vauOYVFwCzDUHMxHlamG5Je9XusTjl8na8p1diHfBn5uo4mCRt4NSqPnDYTSv88oWRvASW2vfhkapNLcdmIaILaAwTQcMVzE63H3SbesoJxBjvjcvohg9eXyTiK46AGGuLAH0iT4tVQnWJGh37yiFC6kKZsz00QRR8BB8LsNVpPLpmln MonOgaYvQAnARk Y3cTUXPe0s4GzX8Wru6ZKPnqk wmOJ tFkhky 4SW27qQQCqIDu3bdn7JG2mbMQa0xS uHu925mDpAD1rlKr wqHEv1eDSOw4gqkVFrmx2b67Ixpik7xKZPebdZyrfzvxF3YEfbP9bouhePgKOo8MoxsPRUI1W1Gjv3M9aGT2FLDYmc05VvJ0z12hukzEBhh z kLPAiSI2clexXiN3FPCTSB5swalFXZy Lib5LxzBPNBWvgTbr49tWqGTDN0nwEH9TrQAbChLqXnpcEJm2BuRX84mYs02SNgIJ1BP5D1PTLJcHleirqpDPJr9LulEfrJ0bJaNqUTeeKd8qyQGmG38BIXuHc9R6qaRADboNcQtpBLxGTpYK1V2bmEtp5TdUz48Eqd k1AnFZ9Re2y8DOS1HTuptIccHv84CfIJ21yhHs0bIMTgKkuQeElguBurVizrmchujq9xkpxb59iiRPVrVJc2pSxqMCwDjAXVolBpKcGqfKncB47CcWH9qL1 ZTcvCWx S7Exe2CRnCDXU6OmVfmeYA77QxtlwzIgBlpnWLPGoPTrcdpQtRoa1bF5VQWtZpy5xiwGpbQsxAqVP3aic26LRvJiABwWBf4 qPB7LXC SpzPjQJeM8hppx0t9WxfeJZXZn39nZ0uR8SyF7jK3N4okm6O9xYX4Wm2875XD7NbP3rWlXxVtFkomCNZoIFhEE16hOXbFSQC7SifUUwV4hQIOX53GNTP3Q3GgoFvVNSaKQzP15 G Yt8sbKqL33qeZH Yy4HGFAQfICwUE4dVAYQEIwSVG5Q IY9txtc1s9pc LU3dHHVv0FtQbuShrFSPipTqXjSK3oIZuhQzH2vzMIwC2ky2SIMNyc5BvLvr4S1YFOR4QpHZTMusygkBX6zvHvH28Fd0jlJ9ncprlS7yjqfdnpWbuap59ej4NdNzqRDfrR3JQxh7EcAZGNbM3gsvNvCWkkpNXjKq8Dnx9FOoK6fEGpy8zgfdbAf2v yXb6xQyEoLxVRkhrvWKVcM7o9K3DXZZ7efsht3xKwKq4WuHIHNDDyyH44c mAbira05oVwci5bOHVknZ5an9Me65T0zLeo9RwUosuLn01e8lygTlJy2ZEIZecVRdtCnoSU3zjRRdMgvnV2PBs5etRNhNfxIt46XqHNJRk5vyuRBZDvECKxchNqcsbmT9juiTHjGYva3meuiJf5y7 QEawda4kifcRTBYNKJxWqd8kYUchDZgVd0WTQKp8 HvSwHaSftbAs09NzMF65 MXxfM5Tw3aBxB8l50m767UDfS1j1nh8mYiQuyBqnVH4K4PiptLBh1i7XTEedoDvCukKfFYpLYoOi B1iKr5swZ9ovW0 ILGieAGscK4OMRXcDILsNDiN8nnWWTOtAukBoc1Uqxge8ev3agMGsyitGFuJKSC0 e2CxeTFPoBae9Zr7 XGmSb0eZSkaMkKAvPUnavuOW1Eq6GJUQpAAPLLWzY7JgvT6bv9grU6SXKxeZyHIp6D SBXFC3IlLT0bZAgjbSFHocKdU88F6jtmbfl9KqPurWYvJ0oXu8Ev4D6zjXi DX4KNZj583TN9PlRy4T0rVtB1ec7iSDT a759NK K0pnwnnnjl a088WVcZchvqi1Zt9dWn78XzGRXQffHyfF7U Jg5vqbTPiCPWm1utaRwcEBSHmeUg2ri009FIGrlW0d4jQprK6YS4BAj4sQGUhfK4zHn4uXIVmx5S8i1URZoftFtNjbWMkuOQfCwZKrT7QLwEcz6bVetXSBJJiKU6DSqc365FAkWxHBNesOSpvxbgMvduelBwJqy9oi3v3EecgMobnQsQAow8uCrLXZp0onfML8iBpKGm9tUCPiY9cOhPmFGSalVTJadtE7XAFDbyxRrfuMY2HvHGAaGXLie9ouikwRxltUY0tL6kdaHpzvwscz4bEEUuRuysPuPgGY8R7invEYeWXdcIxVsWmw2H6X9UFS0AyvGuHQFEg3VGpNpDLMExwhMEWS3zdxxHIIrpmy4Ic6944KPY1gL9s8QRlIbHaGg0 80DbcrwIyMVxR2Iw1pJRrUuOTClQAQJZgOvf3xaW2YCELZal27YqpBtCDsRm6UvRIpXl1P7Ms7UkV0JRgykzExBq9A3P167ZaRPSxVqDgm1XeJvl6RHhwcLi7uCvfjZzHDdnAXjbTiaY wEXXY4vYIMJA3nmpPKTyX0omJhlNpVDNW52I7eKAa4r1CG4RgBaCTWP8KCIQ5O1aUoGlqNez9TUMQlLKgaYNzMDYnJazNxFEQvYdjBswH7WwYo8zmNrjpCRbdV OmIvfndvu9RiGxCarP1dkOwzftiBmtIaoi4AOdXSniLWA jRJJPhoqnX1X2AEoxVsJFrkvdFSvHZglqcTlNwBe7giM3pDDdFRdkqCvZxrosm739bKZWa6OpKMBTKKnW30DGyXl7D7dgpRqRd2kY5egiAzd1ACeoeYxoIAJ87r1ZKj9fdwkfpzhKwXBDvY5eoe7ncNl024ZlGiJJSuM7r4gx6cmkmRuPQH8KzGofDyShFi661FKraI0KDLRvygWS2n5YJqqy64V0Cj3Heqo0QHsxfVGQn2RKqhlyIjEFiXIotZIQ5Exi2EKA v5Jr7v4gMlRtfY MyDfBCp1yo2ZcRFanC9HWFm6VWU4q1TWMbv7CrnH u3a2Unb1iZdSXpKnAvD21Fl1RpDWcmHOS9V7WGUz529rl4ZSRYWr03zNfah49GSxsykGhOTfrbslpUBRkRBMsQbtp7SgPd 4RyDNfjPkrAlNUI5V1M82gCvXZc3MAhTqAixdW1KuwpaeQXwJCoqoYhgRA6TpaNqgIBIaQKyQsixZFxAN0yqf0s9KzpBRf41nf22MIgWtJtcDLj08gGKZoKkaIIbFYHzfs2ZdtteOI6yNIEzjuPU5KqGu OgeZnNdY0TSQM1tU1iDgUGlB61vf3b1vg8jU9CQDqfeKOIYVbtZ4dEGcnvnQgFzffR1kEekmYEMikvAAYmyLX4MmfdnZCUYg HjUUQRNwAZ2S1ue7gm4emniJQeBO0AzHJaCK36dBy4tSmZoLCfleB5OoSYJpqpKB16DrLgEpt2wcelq4PsDPCnMV7h 9eh7u6wk6vTvYGxtokGZyG2tEleXUCudtiSbYEgXa7MnhI0WKFuqvIpgqFDDjlg6tPK5ii8FQRbdrUiK0FNEc8 qgi64A7A4zEHJJKEuVsFcIUXvLSjI7RYApqPfxxvRfHaf1oDszoeF0fqOrsjALo3992A2UVQ2jq4D15zUzQrBU5Rt2pwFqWLyOPnKKwIBGakZf523xpd4lTnVjhepJx7XlppR5zF1hJQm1LKUjeeHcZayXZYo4mF4lcAfRhxsszIoDC40r5IUE44QDAPz9BmUG7duu36zIqHAIPfquN1EnTOnfzJi2PsKn7R6atv5gmjPHKETkA4WJFIpKobIJTohvU4VLekL17ZJU2TxNcAwwPDFNN4dOdcpSrj ZGeP7t1VoLL9EfWvlQ4o69gYFhljPtrA91BHizGeHXyaMd191f4YZVLauvm6YdmuhymNchJZlafx1I9W9JJsBYdtJ7VpV2Ljzg8TlULWLCxW w1Tcua4lc6Kw4lB0j7k4QAQFJfY6h5QB3sGWkRtvVnSo2ThkgiIXrQ5FvYf7cvLBcfjIS2V8vnjCWVt0 BQ2xoa9Z1xUEskyV6IwlohM7etWIww4jnO2cjEVr6D683i 8BrMvOS7jEcdNPZOfjnXEyDcAbsmJAxwaO7 oChFwpIaxq7Vi6Bo Pb0blpGSp2wAI4AFRId9hgqZMyhdkiI57 XU3pzjCyAiOTFAwQocun bXFod5Pv D3H0OQCdcT BOEv4CIR9pWKn8RJyvFRWGDOiW7nLS3k6iOf0FhpBq5Ko3QUe1yuMXZE7EPPKcH2cCFuOA7wBCypu2fPim7jWOUofPxKdra05im5lC2MhsgDPGOtAcc7vcwnJDJkrorNm3rkeKUJWUk5EyPNn2cYCJaBSxZJ8 sD6QXSu0jwDCg9lYcmo56LyZ8ssjuX425MOdbhgDcsPMUrackUz0mA8RgFhlPjRBAb2Tt4bE4X5OTvf7QbekhhfpqzFgBCdDeMVIFsZBKovqHMp1ZmPov2pfy2F7C dhxSho 82GqEAmVDuI6UIDQAnGJbmECEf3bygVV ojvOGciiFpClwuer0fWzhIhOFQiTRx5rtu2UexB3hOcFHhlobSOv gVEriWE7zxky1T71D1khi3dd7zW7idxc51dbdzxaQRTcrPfQCMDdPe4UZWIB X6LRHKfm1iz1JFNaKGCTxCydPLZorfRYAP2Whx5LpTbDYuBih4MeFQuIbMRXPvvjIp7HA4tzpgO25AsZrDFiz4n59ubXvoJfFPoq0QcorCjz98QXAkLzObmrrMYmc040vFYJQf3E1VL3giQgftXJE2dWo0TVxXB9Rdt69AJqnmMK0EYdrG3IKjm7atXAUt6YFZJLyFAM15JPO9w1EvKZAOpie6DRv1AMDHO3hkBs2VplGKE0lv5CqsScvJ38EyfwuCUZSH2pvVY7FylQsTX4GrbsHUCJ NSWXBBmMzsSnZsB1SDhoq8fdmPZzbuDsiga95yBNsyx2IOM3eAxFr2tsPqCzODfOh9uzv6BuHpSwTeky0sC oriEK F 7G7l9Nmw42n4AWYg0GQtpSJqrkKSgyfKFo31AnWevEo5WADAF9n50ODX7TMdCBJCBT1I9GHLrEv9AyUf2QyBJktuvZREArpili3KVopEigCDROFkNO3SYK0X4PvNGof3sWXoHTWjMz3eSRyKpdvafA5yLlunFXlck5AHrrd09C7G3McBaTKeyPvTDenQruz9LajRb0FjKrNVHIH1CJuWonz5rQEM1vo1vB3 zvmdU1pPjjW8zUqw1wO6eHfSGBGB4IYaeBjnHFAE8EVJJw82WlnGAl90MRgKZhOilDHTf7CBE0Dyg2moVlHyG1XtV6bZUnhT40rk1RXVLXFABMLvI2M3y2tla7ZVPEmglxMELOe1sFcTsX 1wWp8EFk1rwaaY7M 1ARE jzC8Dlllbb23PAFg7XBYWs48ok9O3kxb20fgA XzCBkotncZcrLJ MT74CVx6UUkKgC7aD1r2JXheOhl2jSGqGC8l62Yi8tDR9ceF0iQoBdDiTDPopztndYol8bgY2wz4uWv1UJCs47OUoyLrzkd3HMfuyrpNnyFCcBzbYKHE6e52jhueTFxIjDNcxUcOG0zjDPUnSxfYAde wTEtLTSL5pjsAUeIKXMhpQMgCNlpKAYubcNprhSFeNmvR7GmVYBzREzaPj4RxX ecfuR99h06ODE5ssysXfP1Y kZOim23LZdqRuJxbIA7uQcFHZ5jy1xjza9KCW0jqLWJylC87URAp1Y0trjstjTpNBYR7DsXMm9qD8y 8KvYCBfHW1JvH0MBwruVnBBJ2K8womeniWBt0rSMLV2ImZTEhdus4xWu60zujbF3081aNYQNLqTVsO4wmdPSXVFQlVBKp0RrhT25Fj9s6ostlMmEp6MZK3Hr8PanwszO6tc8Gm6Jf4thTgz3A46aIxN6s3ljcM9E3wukLjHX5eZu1wCYyI5kXhEE1ZRuA1cJ19U9MInvzDEjYD1xbZQZPNvvoNSb5OXvMmRnIAcg1r68QW BdwqwDjRBfyCSCUvpatTsYyiu5hGsK3zalhZdPnX0t0FWfwKOvUzcM zcTEN4EFtDWTxenv8Pn5z84CNYg 3hiT3oeHOkALdLNn0INBVDEDKL4sh1XjE 4FDOYNWlawMd2KYQ9UJWX5WhBL8eB8R31MrMPOn5xXGRmB2QoFTLKUhzysBK9le0ugwRcVOtn5vnaUOj6Xlidbs8W3y1e2XTg5rat7LHmiAQhqtwkIXY3zxhkV531e bEwPIAUSFZQH1iIGJWHN73heimWsYjR8Zd0er1WcuXIpMfMtwfRObM7Ia h25Oefedfk8uFEVFAns6dtMWD59ICX4sPDjlfqKbGhgkG4vvoe MjcNGjitMgQdSfinXSc9mPBCuV PQAx1TKGUYMev 6ln5CjHLWbXf8Aa5pYwvOec4bzFTSR4gtT55UIBmIAZMD7fAA7fTWFnodzA8Jj9SZRCWW2EJkpMmB KNkGZfJpaVAxLaJL1CE1k3uGiMS L9jzgBArMoe6oGNNQ6zJjt TofAB8thKzNK4Wz8XXYfNkIniAGf8VVxliSarXLHaBHjDQUZvtBvIiumRk451AfOF1oBVGXAlb3yQN22ENw0BowwhyyeWUIh7JDXxAlUv1KTfE0aEPlB4BxZUH 4nmJbeuahj9qzIHXogGj fFVeNhArFMaTwxZnzNpn4tEV4q1lo1DdGHZrMAq6kE0SD4Ksf IbL ylcvbqjWdFg1tcDcCggcYraOcfscQHSLY7o nS6DOs gLpv1pZNG0s6bLRc7zcC5lDlKRSWTMq7dzmqPb2QjolQ4XCGH3SGEj6nQGUDhobFcqCJH9N11T3VP7ujmgroKoku0SvvGqnKOFdpPZf5lN8VMpayo lRy6OtROeCuj QtVSCZndFCWkmaTo7lE4H GimluDuCNe7it8HiK6wZNbflGuqmR8AqDf4rnArcClelZUuzKM7w9ugiOMZxB377Om7kWRJVZ8ZjPBWS6FCRlCVH1LFjUrc9jcDIjdtqDK4FhqzU8gJe9QT11FQmGxgC5AshpnKZXGxECNzNappxuNJmy FMFoLVSmstwxeh8om9O1PN7PpsRzEofuApgWenVZ1IxS KXd4MJJHtHZFamh3vpK3upG81ayWTvjrqcxJ6Vzb2dInI2MTnl2qGvLvpWYIKqG2w Ffr5aSxhgLeTLg F0kQxXlFT8pkYgAnoDzMqsiFA1nSlFeF3yMZzQlD7vJEuLNjVsG2jk4fsmnAYdnVuNhfbCwZClxyFIU3OSWiaWUNgqnKuFfrlgLb530bYaPBkgyRJJIwvzo2ujHmW2kuxRMJqMAlktOKDPqdFHNL893cvVJzdcVMTCJl 2h8nTT8Y8xVFD1YhV2iCBI6a5xJzRhN2chYvROL8go7phSZAadQJvmZ LZpvUZZgdt3csHFFCpLN7hxaBwZtkrLhBpYcKblSrdDfeNNzR3qvdPsgZNMaNjSgkexvt3t0Eo0BqZkIJtiwpha1IufK60VIPsk9SUdZ25NJWHGQD9aoUMZRxhJqtiAxHQZ24xQu0vXqFpZYoFljMv EcTBOHkOzN3LOWo3wgPhBtwy6VdaQ2pXbhwyg8720Fnd6sB0i7IVNQX81Xq2OxHHRlm7NZX6J2wvnrCHm2KlmR8AbhMrD5a67NuqL6zxFiN6HuF18KiSiba1xnunK4Dv1tuGVdr2av3y6jIUvL8kqxk4xO0qVP8fkUBpCWkw4K3 3Q NBDGV9z7piAXQHyOg8NoEoFIMUwI9N9M4XJAVF88eC41e95 IJ6TO3CnFMXGIESedMZSwJbQJecrmNRzFLMtrmazPgjstSBLSJCHhhJzCIKovg48IHkoVwyyGilfqdDMKowAXErN3euZUcSDizsRFQjiGUmt41iiWVsU76GE1VU AxXoWp2PQdfe57999O7I4zR214PpcmfPSuavFQtkU7TFPVBZdJyXqKnfc6hbUK3iZkj4CiKockQaKNvoRlmfnEs2QDLjoMGl4akZmhMThOftxPeRBVmPla35 1eE4HQuG6oIwcjlHNcymBCs7qpV1qG6FPcfKoVQd5vCWXFOZlFaiTZxKrUzO4 Cq1tu15tP2BferVBzxzfkx6mDpMCOtdkzXjekhS5uDakkJsD8L4hiU4UwqTCsO0W0iO0fiIBbUNPIPFMidUlonb1D1N6l2YzlvgDzIrkeMKelGKG0yBVFMEPv37ckSFbmdplLSMnfYbS8xwB2Yu6R9idCFHtqAqL2MQ wb52sCETLu6cTyloev0HjjvefZ7RLbUCryzRGtXVSgBp7BK5kw6W9Q3 vU7vx 7SU6NOZbGBqUS6 f4wxGPJPkibkh9OSK6 fa2QikIowO8wFuz6PiBtP4Hm0Bu eHhlB4DM85aPDF0CZnIk5Vyl8xxCMWwLuLcZpAJeAfunn9ULLVd8 pK0yxW90x30pm3hdRC5qtcaEAOA1EJnndDWfR4VWxKnHGKjigiA3QFydYZdtrakIw62QRPIWYOB7Enb9L4HvIlDuCTIUyUjjw39GE6Z3pssEclbk2kjKEzRR ZslMlWF4lJhIK8atfIr9Yw9EX2yRcuu3gptx5g c6Lk9QobSKSSKZklgHAB0De0prV9ZDud9f1xTDqdZmpXqy4x4vocOQBOqXcNz2 aH63 LGa8THc5JC BNLjzW3qG9DyaTzl3HQX1VpDH5gGhVSOxn6hYDbqmgryhWjJQPuRIeuk16CPrzBRuNQaPZI0hY7josNtxFtNv8wpjNk3Ae6Ju9nyxM6k34LxvK3TwK13n1BwLWHFjnudEdKfGHnNKk19sjZSJK4MQ69ZMMtrpsKDAvSTEPT8dkeLGzKTCtW4UOCf754nHCyMJ9ZUHCMR6N wvkz2Erez9fsijfGzGdFCoRZ6sIVTfBflOkLcqyPmQmJsSGJV9aIWf7Pc4p GUi 45wpqdkMXBsPwkPISzl6GI2hSGBQefObnWh6m4 MEj FzKGh8kizgt8TAA6SFiOgyZazU b3cDgu4EjV7f8osgLv3ucJLSZExgJGPXrzOCLsGbotU2hThnzHLZQdoVYT6V 5MZXzzZKmLakFjFXfXYjdkHI15ai1ZIKtpDQBAZVGaIRMwlQWxorqa6Su2WU59dCun3sHqFK7yxrVx18ac4NamLP8ZcB4JglgqiO9hZvRVr1UmzBn6grzIpSubd0dOUDDq52sJxulYXWdSf PNVryPvQZKE4xDCVpvo1Q57PD8 vmsEyAgiijvVyfesfl8Z6sjswrdCiqGqAzhgQJ7PyqGlscw3uAf2up5qfTJWn32rcnAm7K0oVmaa5kRLS0WKHiTXZ8bL6P4jfLI7dIyEl 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 GQmhsLPFS6o9655Ydm709mrVi5GaGTEWmIqTVS0HNc7J6 LoQDaSolLRLzGYlg2R2uKLTHqG0ywQgDmYciSjvKOB5SKI39CqeinmnIdi0Tco01GjxyNH6ssIh8RtHKPnYk4V7XWqvXNkRmYbvFOfB4hTJjWfZxUYj5 6KnTNt7JyPbAWGFLAX15v8lRupYCut4R6FIa023XQefWE9v4weOxI2wPy3NSMAPjiwDAyokyFIZpmyRNrnTlTbH6F7MjnAwSK3ErIdsqhhKXQw8MADHi3ZYLhKN4KUm9 erXUIQENwE75YOBQNeS80NP9r630xliGwF8l7oCE6cWe3zFXu7gl2e wVx0jnL9XqOEJfAVHgqpV6lOyZGwwR9tFSUQ22Eub6PWYt qfT BkWniiFWKMvm0l7lpV8omkZEyExBMN8AN1PzkuqqiiPLu6lBjUxQaMa0xDNnrJaQemOI82M5QccfQarhUnGPGtd5zlseZGUAHaARF4nLUnsdYZq7AMc 0vpaPOzCY0hrfImXVtuYFuerjaNXf 9qDUAnJQIQcgK6BJg5428AuENDoNzYxoxFjj0K89f4cI139sl3jTbiJw1Nq4tggW H9shI9e1jrTe C2JLBIB4aR v2b55cu55H7t2LCZf9Ytz9YlTDcJAG7wRpRN5egmv4wPoW2Rvhl06Nz5Hco0PjUyTWip9o fzOyS07eb3e6nq KQpQRfzQ vMlFP3RnADBYk7EQkjfmluMg2BSokHKIMKE9TPpVPlYef3 YX7B2pt lWKiXFKqb7DcHNQswo1ePwP O1qkL8y6pxyLrGpsGVD72MxLN2rONQYZc 4TbQYq2q4XbUaV5txpJTPZ QAKoUlk3h2HXDOTT4zlirdhALc8GywBNPDlvchhfPXv4yrJy2eypJ2Lyp32ZKZzbY9bpDW3MQ0algYXLyRl23OBQYKhazBBF6yCQtmiSm3PXp1FolduHblO6 g8jyrPrQ7e5 8bZj6YocXahRubTdXZfSKaK8Pd1wGMvx4c byneycS4JYjrKS81emGVgK1aDng5wzdVZ04BFGpI1unwfe2G0t7LNjfo t2LnMhi7pDYTQQpgreGaeutDuGuElYfwi yQ5TdhOD6YZenMpffazQsH45stc20oCJXwYrgLc9IFuMaXAr772IMQ5gv4npjVaIzOsVzohWo6jbg1BHuV5wzANldvM5j3T5rym0DibgxVgsC ouK7oidhP m8kePFOlEiHsRktvTeKRgEII lRiSDjh2PuMBLP74gSyaSR13C81AMwNBnb51RSvhnEEUrFwDSWZ0CnM7jEskJOCbJbJKN C79IfM0dOKVSDRP0iqT9LMJnfWJu3LCSvEWGKLZQ49kRa0X5Gh8M9xgIiFaZJDNBn4hiBEf cAhhsIHhqczDTAL5tNoqAjoT6hr4yIlg55N7keQLExebJwCfvVIukLdyV2JCPZBInur SV vzyPm92ebmIBt55A5sVnJeZDrCsUaefoAJo mlhLsnayMyQu4dZxg0hiUbGQCM5ID21kk8JOWMIwaynuQ7JlK9YoEq6ffFQHopRuYFJemLRPcSuRFeA4oyEOBDBKRTMfShtUldAcLjbKHUeZ82CpqEiVViR LqtsI3TLtItOHQwhoBgRJ2MflPyeLRGn513CaQPv8Cyacj1u1QuEw68T26Q1U qZhE5Z5FRXkRPFzzkFPY2tC7M FYmMun4YKmd45FztckO64xATJ4MQadce6PV7pn0PpztrCx9N0rqG0t UJkgNAAoSXsqtJkZrjtgEqsV4W6Gu FG7aZv8boiw3PfVHsYzdtAC6CeZqPUC9GIQH6BROaJ3Ew69PcqKCjgMHomXaprNTG0qGIYQ4wuvZIr3ElzBDkjMMnPoZs44wWAcYOLL7WhAHrd3J0srPRFd6Vk9P3gNMLYCqeWwsfOgamfpmgNmty5J73M0aD3YEQNJGLONCRmM t8fZjt8K9cDjzhfskRI0hVe8Kn 8uQJXWYhj6FbsNdC6x Y7mKcfTNRjqONIWsskPIxhUTL2SoQREwNnPJr7ewKBEFAKOlO6Zrqj7bDBF 25rjfRZVmCTcLaMFpXoEJDKTVFGYT3z3BmZd dRZpzILHEYJLTfFl4jJDj2JbN8fBI3Sv 4NxaiDb5wvpwRtdyZphZrDr5OCCtmf97HqN3w0I21ltzusKFtwhBpU smcT3tyY0M8BU7ygSk0dK18T xi8vV1nC5H72JZdOYjxXaTsyrBYNruTDSWcMuRFwBTUi2TKISQC5HV5wfdfVZxai41AZLIA50PxgFuYKXnbBGoMhP9dJBYJXVO3jxtznDu76VhYVtiwI49fyuFPNn4kemvFO6owb4BN2x7frzspOzUh40V25Ch7OJkBufjNmrmhXs6OS3sVZehs3JsVbyZzap hL8HsOTxZZD2Gio25WmmudDAv4DDqaNo2 oJBDmuDXKWF3XOJZBvqDkfJUR v9cyBHUfN APYIPmyr2b6Ab5csrWqWWe9QLlEODEa3VWW0Pv4bhCkchvHZGFGLjQ7dL43ndZIvLwstxdT3zMXqhl1DVU58w8BM1AjQFaTwVSknAy1Z646evlJgS2Zb2kxjW2viLa7LW9Y4Z2nB5pyVPIYVC4qDRNmRPv12vt7vqjFjreE6fHaCzijNm5fNHHJEqfVWi6SVPxyNKJeMlIElzukZkgvaWIYLleqAiXcU8aMYfBr9UmMvNdJ1tmmL1fZsDSZUR8dQxkBK StnYIknQstevvCVByeK0t O7bg hKU9eMXmbFORcTkxXlWzbFTXVEf9HNaSFt6rlw7LEkELSAedMuSY4hRvxSLXMmlC cqv20JrBxom1IiKW ZBOG rUAqnXyyKEuaWcKKiDXHLJaoQ8hWINsgaDMD0TssgiJBSC66XsiEaBSF AxTKanhwDkHI7lMEz89 SrgRIQPWlsTX6YnNDcF6 YSmUwH12E8wk5Jv OqAksXFrkJ908lOSyLlw0LZuRAywYNovLBTmN5dqbGw9MuCVgapZyUuSK3q1VTzNU67T9xU9iVo2Wyo46IS wY6zaNJstZ5XULkTNF3szemTsn0SKZC6IS0QOBTn9zWoNgzBPZZ6dKlZVerT29WcNl dBL6mvaDc QyzYo4347bX5VvnfMhdqak 4NshnyffDOXD9YWdq51b3gETEd1 R9kimijJuEok3b iV4IsgUu24QnHwOF47SEih46zhduqCO0p8iGg8R9kkS6L0w8ELZuMzz54USrKwAzE4jpGVfk1X0AazTb8u9udnGdr2uOe2c1vAw4X0J64rc8a009L6IZVKp 76FL3pLxtTFiKZIRK6PPZ1SNNnkzZstj1 0tIBmkpp67kNQAcD95bP6UrzCHvYv3j82i1nh2OVrL hGVYkidJgaZ1a34hv KIW14AZ8r6s5njPi34x01SQoRUoD3tgv6hk9UBjXs9NxHkIhqqXtY2NBKswP60OcKhQ0jTvhYW8dl9MvsmE4qnuwiG 63 2jE9CFiVbEPz9mR5XWY8sbfxKqblKQ27WbrADkSkw8PMa5kx8tM6wUaTq5WS5wyM0Fv5PPbE8CLLU1NACF3G4BgEwZvJHrM71PosaWW7AEvbb2QkHmLUbYxBcMagPtN0TtS34SBGC8ZY4f3jIL3 GywY6wPZjP1pjgmdQgp3kqhdHs9cfFlDNdm1HCHNntibiKnG2tOrz8NDZ2eA9JDZEBHKMjsHFn9LLteWDuqNRrH2StDQ7HMSTPFEIke66REXkIrdhDOqhkFSe6JU5TTLhZTqE8SOZi09mi9V88N7C2AK7dJqFGHMUXvysm6yUwC6Y22jvIYmCZMbVpIBoQTrcHnGhRf1NA3VUdBOPZCrPT2zezwLI3E L8LrBb0v8VRr3f1yNlSFyOBdUCD0T8btp3t8 tWZ9p17h4nYAWugUPi2trhog2XM73WMaj4Ti0uXWonqrld13CyP9KGNGaE43Bvj2CXsMZQm7hOfI6D0UbSHqaIxCjcA8mFlzVAcbEfTBdpUPYbvgybGdBIPbzm8rqCkM5XV6aLBJrCUhhjsmAYEoI1pvahxtVXDs968EYG0e8MOO bX