Intel làm ra chip 22nm như thế nào?

Intel làm ra chip 22nm như thế nào?

Leopard  | 30/11/2011 0:00 AM

thích

Hôm nay chúng ta sẽ nói một chút về kỹ thuật bán dẫn 22nm của Intel.

Nhanh hơn, mạnh hơn, tiết kiệm điện hơn. Đấy là kim chỉ nam mà giới công nghiệp điện toán (đặc biệt là phần cứng) vẫn luôn tuân theo trong suốt hàng chục năm qua. Nhưng làm sao để đạt được những mục tiêu trên không phải điều đơn giản. May thay, nhờ kỹ thuật bán dẫn và sự sáng tạo của hàng ngàn kỹ sư, những con chip mới vẫn liên tục ra đời dựa trên các dây chuyền sản xuất tiến bộ hơn. Hôm nay chúng ta sẽ nói một chút về kỹ thuật bán dẫn 22nm của Intel.

 

Transistor, tế bào của chip

 

Thành phần cơ bản của sinh vật trên hành tinh này là các tế bào. Chip cũng tương tự. Mặc cho có khác biệt về kiến trúc và kích cỡ như nào, mọi con chip mà nhân loại làm ra từ trước đến nay đều dựa trên các transistor, một thiết bị về cơ bản là một công tắc điện. Mục đích của các kỹ sư : có thể bật / tắt / tăng giảm cường độ tín hiệu bất kỳ khi nào họ muốn.

 

Thế nên việc làm ra chip suy cho cùng là làm ra các transistor. Các transistor được dùng chủ yếu hiện nay trong chip có tên gọi MOSFET, có cấu tạo cơ bản gồm :

 

- Cực nguồn (source) : nơi dòng điện đi vào

- Cực máng (drain) : nơi dòng điện đi ra

- Cực cổng (gate) : nơi điều khiển việc ra / vào của dòng diện

- Kênh dẫn (channel) : nối giữa nguồn và máng

- Lớp cách điện (oxide) : ngăn dòng điện từ cổng không rò rỉ sang kênh dẫn

 
Cấu tạo cơ bản của một MOSFET.

 

Cụm 'FET' trong MOSFET là viết tắt của field-effect transistor, có nghĩa là transistor hiệu-ứng-trường. Thuật ngữ này đồng thời nói lên cách mà transistor hoạt động : khi một điện áp được đặt vào cực cổng, nó sẽ tạo ra một trường điện từ tác động lên kênh dẫn. Tuỳ chủng loại FET (PMOS hay NMOS) mà tác động của trường này sẽ có vai trò đóng / ngắt mạch điện nối giữa 2 cực máng & nguồn.

 

Bằng cách phối hợp hàng chục, hàng trăm, hàng ngàn ... (và hiện nay lên tới hàng tỷ) transistor, các kỹ sư đã tạo ra những con chip có kiến trúc khác nhau cũng như ứng dụng thay đổi tuỳ mục đích. Số lượng transistor trên một con chip nhìn theo một góc độ nào đấy cũng có thể nói lên sức mạnh chung (khi so với những con chip khác cùng kiến trúc) của chip.

 

Chính vì số lượng transistor có thể xem như tỷ lệ thuận với sức mạnh chip, nên càng "nhét" được nhiều transistor hơn lên một diện tích cho sẵn sẽ cho ra con chip càng mạnh. Và để đạt được điều này thì kích thước transistor phải thu nhỏ. Đây là lý do tại sao chúng ta thường nghe nói chip 32nm thì tốt hơn 45nm, chip 45nm thì tốt hơn 65nm và cứ thế ... (vì có nhiều transistor hơn).

 

Intel và transistor 22nm

 

Về căn bản, các transistor bán dẫn trong nhiều năm qua không có thay đổi nhiều. Chúng có kích thước nhỏ hơn, bổ sung thêm một số chất liệu khác để thay đổi hệ số điện trở, hạn chế hiện tượng rò dòng ... nhưng vẫn là các transistor phẳng (planar). Rồi tới tiến trình (node) 22nm, Intel đề nghị ra một dạng transistor mới : đứng (3-D) hoặc nhiều cổng (multi-gate).

 

3-D transistor về bản chất không lạ lẫm với giới công nghiệp bán dẫn. Đó là FinFET (hoặc các FET dạng "vảy" (fin)) từng được đề ra khá lâu. Song FinFET vẫn chưa được dùng trong các sản phẩm thương mại và Intel là hãng đầu tiên ứng dụng kiểu thiết kế transistor này.

Cấu tạo một transistor "phẳng".

 

Nhưng tại sao Intel lại thay đổi ? Về phương diện kỹ thuật thì có nhiều thứ để bàn. Ở đây chúng ta chỉ nêu vắn tắt là điện áp ngưỡng (threshold) và điện áp vận hành (operating) của FinFET dễ kiểm soát hơn so với planar. Song thứ gì cũng có 2 mặt : làm FinFET phức tạp và khó khăn nhiều hơn so với planar. Do vậy Intel chưa "vội" chuyển qua FinFET ở các tiến trình trước (65, 45, 32nm ...) mà vẫn dùng planar vì nó vẫn đáp ứng yêu cầu đề ra của Intel.


Khác biệt trong hoạt động của transistor "phẳng" và 3-D.

 

Có điều với các thiết kế x86 hiệu năng cao của Intel, planar ở node 22nm có vẻ không còn "tốt" nên hãng này chuyển qua FinFET. Mặc dù vậy, giới bán dẫn vẫn tiếp tục dùng planar vì các thiết kế của họ vẫn hoạt động "tốt" với loại transistor này. Do đó bạn đừng cho rằng FinFET là bắt buộc mà "tuỳ nhu cầu mới cần đến hay không".


Transistor 3-D của Intel (FinFET).

 

Tiếp theo chúng ta sẽ đi vào chi tiết từng quá trình làm transistor 22nm của Intel.

 

Cách Intel làm ra chip 22nm

 

Các thông tin cơ bản như trên "tạm đủ" để bạn hiểu về cấu tạo chip. Đến đây chúng ta sẽ xem xét cách Intel làm ra từng con chip như nào. Nhìn chung, có 12 bước cả thảy :

 

Bắt đầu với cát

 

Như đã nêu, bán dẫn là nguyên liệu chính cho chip hiện nay. Và một loại bán dẫn dc dùng rất phổ biến là Si. Đơn giản vì ... cát rẻ ! Vâng, cát có nhiều và rất rẻ. Đây là một lợi thế về kinh tế.


 

Cát được nấu chảy ở nhiệt độ cao và kết tinh thành từng thỏi lớn (ingot). Tuỳ theo từng dây chuyền sản xuất mà từng thỏi này sẽ được "đặt hàng" với kích thước khác nhau. Các cỡ phổ biến hiện nay là 150mm, 200mm và 300mm. Một yêu cầu khắt khe với từng thỏi silicon trên là chúng phải rất tinh khiết : trung bình chỉ cứ 1 tỷ nguyên tử mới có 1 nguyên tử "lạ" !

 

Tạo wafer

 

Ingot không phải thứ Intel dùng, mà là wafer. Đấy là các tấm silicon tròn có bề dày chỉ khoảng 1mm, được cắt ra bằng máy từ các thỏi silicon. Đường kính của ingot cũng chính là đường kính của wafer. Loại wafer tiên tiến nhất hiện nay có đường kính 300mm. Intel đang vận động giới công nghiệp chuyển sang dùng wafer 450mm để tăng cao hiệu quả khai thác trong sản xuất chip. Tuy vậy với bề dày cực mỏng, việc tăng cường kích thước wafer không phải vấn đề đơn giản và giới công nghiệp vẫn đang e ngại trước mong muốn này.


 

Nhưng người làm ra wafer không phải Intel. Hãng này đặt mua wafer từ các nhà sản xuất khác. Intel chỉ thực sự bắt tay vào sản xuất từ các bước sau.

 

In quang litho

 

Giống như xây nhà từ bãi đất trống, trước hết bạn phải dựng lên từng thành phần một của ngôi nhà. Đối với việc làm ra transistor, từng thành phần một được tạo ra từ kỹ thuật in litho (lithography). Việc đầu tiên là tấm wafer được phủ một lớp vật liệu ngăn cản ánh sáng (photo resist) (màu xanh dương). Lớp này nhằm bảo vệ lớp silicon bên dưới trong quá trình khắc acid (sẽ nêu sau).

 


Sau khi được phủ lớp chặn quang, các kỹ sư tiến hành phơi sáng (exposure) tấm wafer dưới ánh sáng tử ngoại (UV), thông qua một lớp mặt nạ (mask) vốn sẽ xác định chi tiết các mạch điện về sau này. Các tia UV có tác dụng biến đổi hoá học lớp chặn quang nằm bên trên khiến chúng bị hoà tan (chỉ khu vực nào bị phơi sáng). Các khu vực hoà tan này sẽ được rửa đi bằng hoá chất và làm lộ ra lớp silicon bên dưới.

 

Cấy ion

 

Tấm wafer sau đấy sẽ được phun các ion có cấu tạo hoá học khác với lớp silicon hiện có. Tuỳ mục đích chế tạo mà các ion này có thể sẽ tạo ra các PMOS hay NMOS, hay lớp cách điện. Chỉ khu vực nào mà lớp chặn quang đã bị loại bỏ ở tiến trình trên thì các ion mới xâm nhập được và nằm lại trên đó.


 

Tiếp theo, lớp chặn quang còn lại sẽ được "bóc dỡ" nốt nhờ các hoá chất chuyên dụng. Tấm wafer sau giai đoạn này sẽ gồm 2 khu vực chính : silicon "thuần" hoặc silicon "biến tính" (màu lá cây).

 

Khắc acid

 

Dùng lại kỹ thuật in litho đã nêu, các kỹ sư Intel sẽ tạo ra các "vạch" chặn quang để chuẩn bị cho quá trình khắc (hoặc ăn mòn) bằng acid. Lớp chặn quang lúc này có tác dụng ngăn cản việc acid ăn mòn bề mặt silicon nằm dưới. Khu vực nào không được "che chắn" sẽ bị acid "rửa trôi". Thứ chúng ta còn lại đây sau khi lớp chặn quang được tẩy đi nốt là một "vảy mỏng" (fin) sẽ đóng vai trò kênh dẫn về sau này.



 

Làm cổng "tạm"

 

Bắt đầu từ node 32nm và sau này, Intel đề ra kỹ thuật làm cổng tạm (temporary gate). Kỹ thuật này còn được biết dưới cái tên cổng sau (gate-last). Vì trước nay các transistor đều làm ra cổng trước (gate-first) rồi mới đến nguồn & máng. Nhưng Intel cho rằng gate-first gây ra các vấn đề ổn định khi áp dụng kỹ thuật HKMG (cổng kim loại & điện trở cao) nên họ nghĩ ra kỹ thuật gate-last để thay thế.


 

Gate-last yêu cầu có thêm một bước là làm cổng tạm.

 

Mượn lại kỹ thuật in litho, các kỹ sư Intel tạo ra một lớp SiO2 mỏng (màu đỏ) đóng vai trò của chiếc cổng giả. Rồi một lớp silicon tinh thể (polycrystal) khác (màu vàng) được phủ lên trên ấy cũng bằng in litho (có thể xem in litho là một kỹ thuật cực kỳ cơ bản trong công nghiệp bán dẫn). Lớp silicon tinh thể này đóng vai trò của một điện cực (electrode) giả.

 

Sau cùng một lớp SiO2 khác (màu đỏ, trong suốt) được phủ lên trên cùng bọc lấy toàn bộ tấm wafer. Lớp này về sau sẽ trở thành điện môi ngăn cách sự rò điện từ transistor này sang transistor khác.

 

Tạo cổng HKMG "thật"

 

Cũng do vấn đề rò điện, từ node 45nm Intel đề ra một kỹ thuật khác là HKMG. Kỹ thuật này về cơ bản thay loại vật liệu làm cổng thành kim loại (metal gate) và lớp oxide cách điện bằng một vật liệu khác có điện trở cao hơn (high-K). Các tiến trình mới sau này, Intel đều dùng HKMG.


 

Sau khi phủ một lớp SiO2 lên toàn wafer, Intel lại dùng in litho để "bóc" phần SiO2 "thừa" khỏi vị trí mà hãng này muốn đặt chiếc cổng thật (màu xanh dương) vào đấy. Nhưng trước đấy, một lớp vật liệu cách điện (màu vàng) được phủ lên trước để nằm giữa kênh dẫn (màu lá cây) và chiếc cổng (màu xanh dương).

 

Lắng kim loại

 

Đến đây thì các công đoạn khó nhất đã gần xong. Chỉ còn việc tạo ra các cực nguồn & máng. Các vị trí này sẽ được tạo ra bởi phương pháp in litho.


 

Để hoàn tất nguồn & máng, các kỹ sư đặt tấm wafer vào một dung dịch chứa các ion đồng (CuSO4) và dùng kỹ thuật in điện hoá để tạo ra một lớp đồng bám trên wafer : cực dương (anode) sẽ là dung dịch và cực âm (cathode) là tấm wafer.

 

Liên kết các transistor

 

Sau khi tạo ra lớp đồng, wafer được mài đi để chỉ còn lại 3 vị trí tối cần thiết : cổng, nguồn & máng (màu vàng). Kênh dẫn và lớp cách điện nằm ở phía bên dưới. Vậy là một transistor hoàn chỉnh đã ra đời.


 

Vấn đề tiếp theo là liên kết các transistor như thế nào. Việc này sẽ lệ thuộc kiến trúc của từng con chip và chúng ta không bàn nhiều tại đây. Thế hệ chip 22nm đầu tiên của Intel sẽ tiếp tục dùng lại kiến trúc Sandy Bridge với một vài cải tiến nhỏ. Thế hệ 22nm kế nữa sẽ dùng kiến trúc mới có tên mã Haswell. Trung bình với một con chip xử lý phức tạp như vầy, Intel cần khoảng 30 lớp transistor khác nhau. Bạn có thể hình dung ra kết cấu của một đô thị về hình ảnh vi mô của chip.

 

Kiểm định & Loại bỏ chip lỗi

 

Với một dây chuyền phức tạp gồm nhiều bước như vậy, sai sót là điều khó tránh khỏi. Do đó trong công nghiệp bán dẫn có một khái niệm riêng là hiệu suất (yield). Những kỹ thuật bán dẫn mới thường có hiệu suất rất thấp trong giai đoạn ban đầu. Về sau thì "tay nghề" các kỹ sư được nâng cao nên tỷ lệ này cải thiện theo hướng  tốt hơn.


 

Wafer sau khi hoàn tất các công đoạn trên, sẽ được trải qua một công đoạn là kiểm tra "mềm" (soft test) nhằm xác định die chip nào hoạt động và die nào không. Sau đấy wafer sẽ được cắt ra làm từng die riêng lẻ (như bánh kem) và các die hoạt động được sẽ được lấy ra.

 

Đóng gói chip

 

Những con chip thực tế chúng ta thấy là phiên bản hoàn chỉnh, sau khi được kèm thêm bảng mạch PCB và tản nhiệt (vài chip có thể không cần). Nhà máy mà Intel xây dựng tại Việt Nam mấy năm nay sẽ đảm nhiệm vai trò đóng gói này.

 


Phân loại & Hoàn chỉnh

 

Trong các die chip hoạt động được, thực tế vẫn có những lỗi nhỏ nhưng không khiến con chip hỏng hoàn toàn. Tuỳ theo loại lỗi mà con chip sẽ được phân loại ra thành model gì. Lấy ví dụ các chip Sandy Bridge 4 nhân thực đều sử dụng cùng một loại die chip. Nhưng vì lỗi ở một vài thành phần (nhân x86, nhân đồ hoạ, bộ nhớ đệm ...) mà chúng được chia thành các model khác nhau.


 

Sau quá trình này, các chip đã sẵn sàng để Intel tung ra thị trường và "đợi chờ" bạn hoặc ai đó "mang về nhà".

 

Xem thêm:

chip xử lý

Intel

Tham khảo XS Kết Quả để xem kết quả xổ số.

Xem lịch âm dương tại Xem Lịch Âm.

Xem bong da Xem bong da 247.

Công cụ tính toán https://calculatorss.us.

Tin tức game https://gamekvn.club.

7iN1nkWc0PVKv7Ff2MQ2zPWONbo5piAfSd11AAVaMDrLGSIAJosF1mky2ksnQ6rhier3ZhV1rNgGetjANs3q3 cRJwUXhhBtA1wPQVW6ROcGbM2pxfbgjlDyWWHeVz3I0hVeTPmnJ3N xdqJnUAxgNW9i55lohnafcUYx7PqhAyBZmkCJXHRDQ2U2hzNNDiQ45xybmTfN9ZNhuIKX5VZjnzIleJscrOOSXVE9V3RPPb29NpzVKKCGG9GXPnJ21nm5nDQd0YtOZdGc64jVLDJJdYb rdCPyYSTR8syr04Shahb74vDQ8YGvuKLaHf2BKEXexbZWUsDf 13YfuhYMxrGTcBjRu9WsUAzDByGOYsGbtFrlEpIK2R aFhzaZeONnug8mUNJ33kMYzCSAEDYI3Jvimez9WhpTe2KviXWsovF5VnVqqWLfhVPl2i8Kb0gjdTwZjm0ENBa2ggfmCIUZn1VIanbBwgS7KJBN5d4O7QIsG1MjClpXidmeZo3ntLlxOn4c7q9fs1dXQ3fVmiG6PBE0dMFlRKBZVIr80jb7LySbwLBi nu98Nfo17tX46p5oZecimgTrv0h1V3MkwzQRO2rGf8kYmNqGNP5P8cIvgbc0jDcGYjCJc88RtWFtto3jq83q F5OkTXeZACSVBMOukKyEsGu7HLA2Bnu0e2 lEyd9zZoYQ3gPamRUWk2O2B5ae8leJPAGr35gMoxQx73lyyc3wAwzw2gtByq9nnUSUTirOKgdjvSNIKqbTJxsTbX242KkUUCJKxHw ONimGRxwmARiDf4n Rn4wgONrCJz6EF48u0 Zw576AWY07 VU5 nTlnlCH gnJJRREXZaplJNsSVaKTdHE PE0Gq6lnjsUzihBUfYByI0NRk7NqjpO6BQnBstbFEIoOvQl3Uw198PE59Du8XemYMJ1AJPbUvx7mJX9XlFSvoOh3NKpIzVaMc4E3rXSjz9vhQQmm5AtzaUIl5q0mXJ0dtOs958OFBBJyCq9ZtGYXvSbIDwROIqMYSncCytILS8aa431gt6Y72TLSc2mnQKvaEhjuX2mjxHVDMPfl2oJHmsbifHXZiRZdY761ElmcNLjGPKVNNxFZQDpEgTULeLZKR6KGAT51w4JgBB1uLSltBj3LEGX5x88IMtRE5oLu2YuxoYroHeaidbz40g9CKPsGFT0O7uidLq14nOihlULdHulYiRMLTFuYHrZQq0NXnjFRmZk7u36YQPovoCShQZNlrWDXLBg42bfbFFejLC8v8Yi81cBWBOyds0WFuWUyS1dfOyazu7gjGf3u17TfhPCSA 9LoyDAQTFVu3fAKJ53Iv2LA0juMTjj nwyvLqUyigVzaxlvT7CuHbx2LCFu9jOM 7489RA 2itiApIYVYQ23ftb1kI053VUAJmF32nzJTcvNSiyegqG9uTe8WyiyjS0FTG6gkN7LqWbJW fCpCy9o8MciZPgeOcfMSMnunhfqDcCMZNfurbNL12x1 03lTzfP8viWE0GsAQIzU AM9zLsOjmutAP8rIcCz2amjQGREfwbMxOeR0z NTub9aaYjAAAqFS bJDi2dUr0kWoYx8oNIrX0nJ0v2wcRzbbkHghnJveUSFuQ0h H J8cGZTxKEACNdVecG9Au2Zx3CsedsGR8T7rtcYEs2h5lVOuzw2fTTJjJ5qoPCKoTr2GpAJ91BWxbb8t4vlfz o26qp6 aU53zBtUwFobotCffPa08 HdPbSyaqf0UdeugyMQQC5U7m49uP1 LIMymcZ9al2EAGOIcIqeg6GonE0eiTYUeUeRYkAtXrhQT7HQt8PGVO4UBXAnjZRyH1CJyU3C4fmSGxlf4BDIfgGtfsSXd5woFcbMRDagbbXjFCtwwz Gjy1CCLUfg5HI61MLkRyvFPtBTU8l87DYwJ8JkKXqja7yieqwhcNs1JZqB2dmgM7n5tXUr0O85PK 7jt8vrJCr tDtYMe15E3WSvqXaPX3ERfayRcjNhNo0u1LAmfrBrZpkuUtIIV2jWmZISUdseMN2ibBnayjzi1sLD8aQwyngX1xjbMIU1LUsbDLhqsf8ra3BxgCx676O4 rlh aaBnfCaQ9uXIQgvCMxOaLVnBJfZuGBxJdx01an7QpvTWMfdlTBMT4k81C QSO3t PkIld 7PPaHNW5lw3Qxyyayjim7ERjzV3JpBJ6wATfOk9nk0JDfImOgwTf3c 2oDkdvm0XbnNFumuF9HuoqMIBsiu0A3VFr7qEivQK9rDOt6M6DutwLa06oEogB4FBABnU6OkN7QdllcYZDdfdYEj6a12fgH3SENqhqjbKGKOz2SvUmmdU5Lt7TK8SLqN0Is7L RP tBStV6ekvrh8VbA5aDchrfh3bg24V1QP6yVdTqK4rZIpBP3iYjCuoNuX8cHEYSnqglk7Mk5ljfMI37NdDktV2OvXJCKY59zcEXq52kqPFl4t2 8CbJQMAEK1gwIMU0mswbAr1SfkOw98sFVNUTXUnmAK9ARh5k20Vnd5FSst3AUMv8PmzukcYjcV9tCOE2Kj7C1FglyjhLZv8aBhcQnxoaH48qmmEaflx8mBtKgrsh4SyN46VUynPzW723hAEo9iIg7897 K5 OQmkHUSidpf1Tv6B5n3M4sBC6HVVry45Zcn9PA Yrt10H0f1HLjlqlLkhpsNbdPnSz1anNE3RjHixEhNumn9bTbStqKu9c4iNOhhePLknCDdeYFHUm91DR7NYVJ3OAphtRVRyb6IKn4hJcaHZeMznPz1qb2NVMoE6e0MkTgzXpzg7cZrf2pi90Gl p38SuS74myJu1l4HVnO4dzAIl5yUItMCwjzHQ0pFBZRL6P30ztJgwPalvMaVa6KazltqHFq09KVLLvFOqRRMx8ytL2Kt6owuGz5fefBGVTQQcVafaDDTi Kl7LzKL4g2NaT3f5CPj0oXdK4fNZipNT5kgZyt9rFiY6IpB9yxV5ryZ ynqKn52Wfi0MUKnSSJ9rXvE7cIwqkx1U3vKfsU7LIHJwA5x pEU1igpC445mylBWyAvAb5I1YkOZDofhyVdPIMlHXPyHNQ 2427aqLgV4IT3OumJBQ4rf1rB NaBoShmfmUQUfbtkkuwCUp2pW ZpF994ZZjeCSdNRW LcKMiestszJG6CPf8imfYQEJCj6NbAVK2QQtuPtMo65R9Nbco9hm1FDVuFLwUNZ8hqqCopOquYqCWedBwvOz52FUzRJ0T3kZs4SMIHAaVdc1xqkcGwzSDmffnPqrWNAJPTRwgaJPLOarsjJelj hz1CsDT4zXAYHNrZpDCQIFSrcFjvEAPxfFzzsSZ5qHQMFPpqARFZzkguVFbitqWuy89sb5FNcxw0CTFAV655LjomM0zVLY8hzRjjrhsW8xp87CRivfCAr EUX3G0tbDOeU9YPWmbzfWpf9OWCNLT2uOOhUj6S4V7WR11NGcnuj taSwFo8GC8DEj0Vst1shOuJKI2fDGNFtTe0F7X7ImbWs1BLxfTPmxPOnwQbzmtiokVvvlPV3HIucBxQFNOq2qPesvKmwlW0ZrsePUf6FN50KiGi2iED9pdVNczLM2SGXo7ZkYw8MIdYXyi K aKLYf5 FKv9ytf x4ZQ6yWSWKUVQxknwhpEUWmM9sQUED12sbhuVMZe5oC 3eHqr0dxSQZjDMHgElatMiXUPRaypU9fh4haY1dtMAF4T97v1uwQaj4r0zeMhqYnT8sviOT0UjciV5zsNJwuAARCHtmT1ST6oafxjjHPV6PNSFxuwW4ydXvNL1Awfd928oK2CNHUaGnBnJQ0nIB2hhH1u2B kMSlyxCOxhL9wY8HBd4FQzqNeptiIUx8bI6SoYOH177JIjJ1v R9eBvOHbJ1TpOpWAC7GB0qGinQnH8voEDQLMuBLdO9j087ZtVwJOqjVVox98J75PMlJZIVjutDLaa8LJE8MBGNoeYkJt27XRXByaGubwePircNMCN7b5xBrSAc5sT4et82h3G4K1vIN5fwjY brzXqNTOAEY9Iu3bDcDcsGN9Xvf2LyIro tsmXzs2hDdPyNlCig9XnQUgjjjQvDALwCdcJcusFDCo835qDc0cEFnF9YnbkTvpiG M7FpF1u897DIzQCBJKMTmpIaROwhDADvVbExjCV8eOwFAba2800viiIMOKOURCKd8FJ5Jfm6JCMJFcySm6Wdpe9rsJAhTRChXx11yEk6EqwdreTUH 6UVzcbRV6RFwn0ZYEVDesfxVamQL1b7v8yBAtDLdXh836anrTe1FIYySu XHraOTuGdywRfIX4dj059TlGJ3TjXRs5C 3gCXfjpx7QKRaRc0xsYck8ChMczsdWDVoPZJgngj F2Ros3bjwaMJz19wRn6LQmV6ceb8pGeVnALyhyl3spSWXDjMcD 17TXmoXHZNFSRd0NK14Fk2XsmQijVue7YhKT9Kbq WGt7gfP4IJvYxo45walpVPNdM9GviUB3KUSiJlM13u 7IG8 tvYNjTudsBmNSaZ4WCb7NduNQqrsd3c4FqTH6y91OEhuggvMFnGd0XdSBCm3CVUG1CtPhksTvDut2UCJxd TRxLKyopspRFkDMbO9sfWNNCkW8eWqC0w64MxYMWZjoa3UHEDzHidHfDkDLqQuBHSN MPuQmFcCmi3nXEmJBo4L85bRqxWgC4LSXjgVNOC9Qy7hPauedAUVNlQhfFpB2EL3PjJpTVvoUcbdpgVMgLiat1ZgZLiSFB9Md1YQTg06i1FFcP3QBzC8kMgPTPhTP2pdzGa18dAblq7Vfu8RRkEmTnXNcR02UTENRliwMbJW6PV5ZyZDlTjJ22vycnH57aCXQqMR6qwyNyy3Versi0zQmGH28eQ7qX9cJRCR0P1OoOoJsmUKboU6hDwkJGic0lD6myUKFL1Ldq2bDEvrqpbRILQn0wRKf5bLJX8Vgkl1xBjFxES1jyn2Hi4xhE7IIwqJJQusFklwO4O2u42JDSVGm6YpahFgFOlTXeruNGD9D1HbSX XU93AWz8UXFczkMcnxBOX1uOxPWRd olxjhwcR7K4AYcjjUyah7dLWPhlc1i5QGgF8Nyi kFMMtCHpj0KSS40M09 1kHVGtyjmyjCVFmlv1pz toXl MAVo0d9E6M6qLTK6Nweixu7R772wYqIk9W1C 86EJLqQ8aMUQNUDMCsI6an8Vu3yz1cTTMLQgadwPvPXDjFYrN0iDMmwbyDuO8CMuWR70QfqyEIky akeU4iXmrZsmAYousEfdsQwLJ66LmZr3ozS1ooz2ksoPWflJGG1Ibc4sUTH7wffk4S0ajjtF1wbeK2ow8bSSBQUXGmsnyPtuEgnTl0SRFV42WSvC BpG7vHPkaisFs SL6xclM vODold4tKFU71suDpgI9I2utLeXmlLvyJWWtbW8qEuv1Kb6CFo63fgs1uRUNB2bFOAiaY0ur0P0rqQ5eCFexQL2WZkB5iwZ1c1Cv8G5ZmmJzirmTfoVXBVu4pXsZgEFSXFeZ4V0Eq5qHFCOQtlKabtZq617vjlECjvjrTc1eOdLJOpe rkIkvWvODPT9w7Oy9qqCg0VVKHqPOIlcR5kWznEQ0IXsFOtNR864aqqaYgUnw7hsEMFWwL8htFP3ifSjCeIPHJUSZ8RA6oXPSZPxQjQlffdhlGsqAXHUy0G6IN4PxQjspF mG6yjO4TzD6VAqq9Cck4LpvGh 1Qy7l4qWlI08l6r52MYjAvL aeGHMRlLV7yqwHQYGtV9dVJ7L81BfhaXIQx3CLKgkrr7kRtMpjvCc2Fh1akM8huNBctL4PEl5ZIfgnBHg545wxyXq6 9pyb mD6iojnAX3xukW4SQZGO8hI1agih6TYv2z9OCYuY0sUb5t0cHQIk0DOAzsvFoDCbSn6jLXgV7t921tGJjzDLw1OWt1ZmCEAUB4ZjoZHNz 02F0ytQctvjpr5bL0D70VZwPNl9O0fgSn4ap3G2lLcmI2sgm4C3XDWzhbrghUAt63EUi0QS0L0Z62P3a5niYfmonCffB0i3j2ySgJBS21DBZwrkT5BLqvTaBSKDodSsFcvGlAuPAKtWimyb8wn3UxRET59PGXJF7U s5uk5ApgGbaLgze2wVuplSIu7qGyWZA4p0rabqCUDRh9T9jYUHQjmoAZshBngLy4S7bS MAC9beLYLzxfcI F4CSA581T2tpoTJQUDfGrdPJjx agRkE1H4tjMHp5wlehYhrP3VIGWrEKVgTgBDoolGdXMP0XZbwHC9ah6plrvkBpnJQPoX8ZSebm9eHEan8xCbcBWj6XS9QL0QEBhIKW0FL1OZ15WRz3U 7go 3DJe3aaxTecejrgVNQBKteOY3YJa9HF5KZy SfSS3OVYHkDaUlkjWU XtE3ak1bzVQG6tV1NzxUQM91M0Ro2VBuWOEo427t3frHg2dWGbxnRP0MNTf1xnAuZCOAPQf4d2cI gH x89ZDtvwOyiNRid6OvKDA9CzrTjavT5gxEiAL7CJS2rWABbeW6eotFFrQeSwFO7Lu WvoXKCGSfOJG4QeUC2j1vpLnKFj09driYaxQb0rItGpf30kjF07FKucrMwY45hARbrekTLUP9DHa86hxNWnsjHyDM17Fi3lsnjgbvzoMY9elejpHq8Qp5sMSwUFFpqC4ObwxbTHEC4KgC1OiVoJpRTsuYxMPDNqUdIM3U1ad2bl5EesKCFLuVN5gthda0I8c0PUY6 TIVeaoVxUS7SDT7vafI4jM1oCJUiv9 tWZzDsBGqUcidgvdxmumAqMdZtCLVfBabsaJ1oZnavV1YoD2XcNJSEGvfVglR3gfrdkcZHOu74pgM5qnQZ7IzHN2GiGfv8kUI62lufCWgSM i4q3XB3L4a2rrCvz9GED3QdsJtMjACkKRGkuAKoqvMtYhZKZCkecp8EYvi63cQk8eQVBCYM2OmWy2YNebTfcHyD5lyNbI4Sg6jRxUh9KQkfsdNYsAhfUXEM13qIUNvMR fr9bwHBCKBAZYGQF gRtO9WggyWrSEvqKWK1zPPslXX0MowNGTxwH6saZZ98 9vtrfKxp4v6lY91zlFf9fnRML0ZGaHlHtA XNaMAJB pz76U4uAdD9qm mYqHGugqAwl5vSbCaIHIgQghL5Tls xHQoH3QdWr9pFll2qPzNPYgWUz9PFrO1Z29S4AG0Tp4hFGjWpoC3Nc5HhM8yKFgqbiQpjeCQM2peUghp8RVYWUDJMFJ0xvlwziW7sAuRmr89bcA4fUbexIj2Ei4DdNGgqSu1UK1g0L8uNba15d4qW2ldK5DiXzv9Vi9QUlYPGXEi NIVCzNE28thWATJP8lezI3yVooAS49PwrQcJAbqjOKrWn2PqEaaXqvQ 7YIICGlye0ddWmODHzFyYIOp6X7VrVDTP682YuEPbBFb2bSVS0iVKi03RihqHpKhnhGzbLg1E UHUbKQiMEU0OKUYcIYeXfTI8RqUcmRfrMCWq9MjnmxfXHF4V3ISzxPHYn4nf3jMXpOcyLAIyZFefW83D5DSPJ40pcGLbUPk3SpRz3CEKJnNZ3SCSocrScFORF28iwFoi7ZOF1a1QLqXzMxaSfo7HOly1PgxyKKGBDqM47h4s0In Ah8dKGdJXCZvoBY6kR79VHMHEZN6TyUUrShw2aFzSACOePWzduUfGhG6yAv0sSaZuoyYAadqnJNvrzOTCpMZxLvEe8DVuuk6gciYgE0skBDZq5I4mWJS9SNVbJGgXQeiBwHo7X8NGeINA3kly63VP6Gic1t ImdExV8ZAgeI1wX2W2mpX232Z0Luf9b71chBnY5AFkIg0FVipZEX0ocJnVAbRAv9Ps1uXwG8YL23YcjCQBO789rAZ OjFTmFNrHHVR TIz o3 J8Qq9KzS9h7Z7sEYIVhRg2IT1wMPYuu9hr4tc9NKpr0jtgoNWamgtMXlU4NevXNGlQnepBoDbf5K1dMXIhcpPu6IL3l0UwyHAsH3sge2eZGcZFfGfjDiqN5S69o8rCYQiWqNdRVkQhqIx5Uik9ffvdQqM81DCX2M3zn7CsyH52i3v0HGhjoYjZeMlVHqVrvEd8zbQ r0NgmShceAfKw7dkHiE4cFrVbXUDefeVTi Ga lYmAtWCWGwXmA0aIuHPWG46es4dJI8cTp0nysSMlI0dNO38JX2W9wuzju3hbv9FdDpPI7wXYZ6NijKIOoq76OWY9RYeouM76lZ7zeLmVXf6ikMK5fAGokLsDiajUlM2lEgQhtDr6mvSy6CKFWGcwUQQZodPPjUb9eRehhkromZ8J2bntJlVqAGfOnE4VfWbVmUbAEx0PKmV7N3paETbiq5kn6GBVwMiPxCJ4uKnWygCpKc2cNCfUMcB0gHfFcUrUgMPum V7t6LOoWUfwYC7mqw1YMzCOAGFpWWWwOkrvWrWDpePlQK4dLWvhFalwAIDhatGSa9G3e40xBf4jWNBzjc0o5cV1burv1FnS7qocQpvdExOiZn9Y3ZL43xFnshHRgEgFDlSz1IRfgUe3Nv05rBWJ OZtvmeJGeFf bzNrgQn MuxM9MlhGRWHHM0Zy3vUBkQudFsWykCUdfO8EheAkp02PPapiYq6MVSYjfoVwEYpdd6TYcZ49kxS8tmOTc7EjICKoF5IJWz38CBKQxbdx5kg4kBAUlAe9AdUeXvpneKvRPW LZE8pAC2LWacxFZiOex3NGm2vuq9zjSMSxXuiwou8jzafhoMJcrL02XMsefmB2XqeiOg4A FErCiMRemD5XDoVVnPmdB6PERVZ uM5qUbHF4fjEYFpfX0NxIn7u6PZBTrcJHXC4FTHhfCOMfUGtVXe3zPOjZ3p Qgdu8usQzpB1qVeIYkIUR5ocU3rxlguCPPjPDfXe1fEDgka7IBSqlFuTKdbHarxxtriB G4juE2PBC3fosu4gJIcpl6amcRzrZQZm9czl scU7jQNu9s1zsBj7ARY5wEjWFznyNWOt0arcXMV t9xtLtp2uOczUKventL5obuAtJ44ixW0jqfTezOtmAbDqwm2P72kAfFjzLpWvfEMPz4VlAykiOOrGuwxX8qdekjG67p06BjvOohoYs4YfGWdJ81QZyCopr9aDKj9yP 3NaplqAzrX9kFXlDKfZpLdcL0RUvtmqoNE9oCFPcR6AKffl51rFgS VY3zgQpQNJvYpDGqTbB7b7Hpla6yUFwAMp96pH00o5kd78047PWhQQtQHqHiIc XG KEFE1fVlj7GWbmBoj7QJXPC49FSUyHKeqvZ6sRnwCdP7lYN02aqf4c8ZT24gXaPHIDztLRj0cKUo2ovfUib80Z5hXiGv3RUqW1gBXfUJOgS Lfc3HuP6Vda4hnztrHdMCFiB5DAkQoCkLxGmmllohxgihI5mTwFKzXU 2sNgZ2llrRB6Zjub1loUDJuiw1ZLQDvvsjCcKeB5Tl QTlYfbD1tieHmVQY7BQZNxLvNUAIrrr89iTmiE GV4gHdqedzi8PUxLcPIfcu53sDMrr1FDuK ZSfwh2jyZ8Ouph6qBnYzPCy681CF8kI0iqYz lpFlpmCacvZwO9AlCW RCoj6FGpDLnkfoMoPKCutJvJ6e4FfgwtGhqcM xWPQLnnHCMhaWWoxiAjqZsQVgWWEWzDIoBBCg WoMhExLiXQS5l0OuQeeElwZajcMas fPZEJ0PckEz9U30qtqjPHtiNF972t0RxbX3Qakp gco3uB9WUGoZXQD9MwAsqYOfWUyCHVFMybn4d yJfK3TPl JBhx29WNHTRQ k2WPDxe6n0go7e1t3vHh3rTFGZ58puiGZrPAT0pLhOQpdXieDsCHUO9u2fgbA1N63BgFrXgXxqV0lKM RJGU5o8w4MqQObdw8 aTBEoXQRrWZzEF3pqG6w1lN7O2ohIjZsp30VZvxy36FO2oOoyvglS6gRiiVSKCW0Xt04Zwln6DeWgsfiDP6wXuNiWpV8fdKczsAALAGcYJ AJ5WYQCSMUPhtcitay9I8KJtWr6AKG78j651cjcqCaITr7konRNapFU5lHENsJdS5slmN7 6TCumGhpxI2tu0gVvyAoAYqpQ VQD2JpMueA9gRubBe9oLtFmfsmdcODbgIhgvfODi6WA2euEeSEN4FKniI94rKcYnKM3clR1fi1ID2Wt5QuBrHomvzMyQyD7oSFzAbuZeysJIuUSQIo6 5E5WfEhS1MBZCqEQdc6ItQJMUMbLV8YeH6YQUg2ODVYjwiMyuZ mujWWwr7aZmITmPWXLH37MHG45QoeAjAg9PbSG4eRc8gJsK5gaOZ3SxUFwXpsfOi DjZ n43ReWvd3gR2y0Ql2NsNwd4tCRHmeon5jQgvpyFn0UoriZQNf2k3jjftVDH9Lx50rezMO9XInGTZjwG47prtUr6QiL4vVqczfplPcCACUNepjx gzJYjppKEsWZMGcmJvjm02TTASUcxiNvMo8YKcZoneHG8NRUuMrtYQQ3iCymMZBCo1oIXRs7nmyxBnEEI0OK2OZdgNWWAPFtQ06fczqlCSQzIWVGryrgsKJ4hOuI61KTAquRnz8M3zd6rZgjDWoKjYHOAZGYV5B7JkbQTB9VHFFCAEGGK37fncVjXa2v y1Oj 6JsGutpIsdmeKZQkDtblJjO0Ep wcyBq3aQCxVoollpuihGzd2gWywhjxr9pMFI3ULG2UUXFcyuQlCHq19oibR8KvsynFTJx7cl3J4oD2tapLKrjJUXTi0is75kWL2yIaEXITLZSSSfvvdM RL9WDQ3r3O832gmSt6jxqkYl3Nd8Po4JlL0w7gv8IOr2iqK3Ph7E9AjGlQqjNhFcxZ56fuM8KyJeQ3ZBsXlfkDIxhDHP2OJC2teDCpmwNEqOUS1FGoQndXkHdAqwN85l0L3WeiMpOtlIgEUZUkbkv92kJK1mQZnDTQ3ibSLwxhVKDufzOfIuyXWea1Xx ZS89YAyrsy7rnGPeHCtQ 7yuElnx4gM OBwzL88pcEVCpALCwKzyI2FpoW8e5xQdYjqMr18LZ OJB7tH6cswWH5kJiYjMlKxJKL2d2nM8r3BvuAz85j5 olJM6AT BVTRTIVhYVYJEM0AMCrj0AENYflPaf J6CETt0 S25pOJnR5NZ0JEIP3AQ8mPhG1VyM5AFIyb8FHHAiNWreK6OKXeXC iqeTeuZrU3V2ix5TYQjxWdG1Q5Yf8HdperUKyTn3fUfm7jNCh0suMYr3vtimY2aQgM1ukOB1VB7yYy1iQrNhKe8fJD3gyR0xlDK01Ch6Pc PA4ZVqUIw1jJ29 JTLrS9IybS96t2 vEWh6wIgbdm4Epzsji4sefNaAoHtenZ59HYG7AxI4UyD68y91yMV6cWJchVxW5U8G 51hzr9YeMbOg4SgAJaDlfCjRmZVyH1YppRusLV4wRxqrPTrMDRIHn2yBvK9h4VXwM4ogfLYM0806CwEqIueWTbrTdbjMvP89 SjUKwCnQNVY2kY1BxMpIPGloxKRksVhTj9SvOyYLWCUvxR2r7PdH05dpCZssvn4BLCCY1 SYHeDsLi1cj2e31GsG1TojSwJVLY7zS0PrIXsNldUUDoPwZSgvG4IJT0DZAu2Q5MOAa8djxgjrKShn3lXm5ptcj5boASzAU02TjUXqWCfdL6CvQLVlwY9lNufNVt6OamrrSRPwNkb9sTMc4oKXu2C5iYa8lWQSQT7zlRXn84V4grqL4umJKT3MAftw4dL3a5CzodWJLbqpauceVm5JNU0HQ5RiIJYVypA6RhyVCbXRt41zqSwikAjaUPCfSH7v5ag1kzmcueJPALDBo0gW2j9NQXN0FArZdfnzx9QEN26VaDyg3GBi NT 0oJ 14sAwUci6ZNvatQJHINZuAEOUKJSIkeFJapX5K2YatEs2QQosPCP9VdLuD tYpdoz99hOGA3ocngLVGoUzFn1MDyawS2AAGm1HyuJXkqlbPNidXEBC0Ng1imAq7aONa2aQXq85M27VPG6Hg6SLUO xwGWYuaRdpOsmjBwQUNm6fNJg1QV8hHWLxupMciNYj9HtJ0g cynycidtYlsrShFUIryLcgjK9ZAtK6kt9sriV65JUJ51uv 2XuFJXIOscEvEYeB3EqX4V3SuISXj5LPP628h0WI1NXSfsp7oSJXkg9dB9eehEquGAux6P1g3EKMpWFkzyzebYSbcRuLPjJZP1Ma5uh26y44Mcz8uN AglKwErLS5Nx vAbidOhYaNZVKOnp3KP25vqp1R71ESFDWzVZWhKHzwgcoVhEAoWHDtNT7X8G6ZBmg59DQSUVXGLhxipxdHzNsJXTKrwDADE27JbsEXz5imJ03Y82dVHQj X gcbPUa3Si8Wlonc2yPmxtdbSzy6SU44PCKjGidMaE0UvTerpRI3VpYKmYV9PU 29v7qBUXnVbsffRKHmLNKPcuGIAl0oCqeTABWRf9KVwzOSycZwRfOyFxoDZkSDwHu9ZK26IPstbWZEbsDXOluGiOvjMqvhNK76aUYOVwu37qRmWyLzvvSE7lWsRSxxUgB2IAvyZy2N2VFBdQ9v7vlQiqdQ7o43Ea6mh6kmnL97pvioU24REEEOQq KyE6qCyfUdMVGTR4pmxJTWG7gjvg7fqieGljaD7F YA51k70N8hK9l1E6HZ6DhK7mSQVbqAuHWs0L Tlx4tynk00qgnMBYZsW0bqoFrmmQYOY2D9jFTcuIcxFHcj 85dW1D6VdnUnJp8VCrJpJqwoNARIwlNCT6ztlMDpSXspkC3 IBoloZZwT200SpmAMNsv6Opa2y7Xfvs37b5ZvPWFhwoDPQ2iPtMdf ytW4fMhWgo1Wswmdp2v4FfbljRQiwXHVLnP7mhqE5SOY8UK6YglVNBto3p9fNaxbngITWgCN6MTqhK4jMPIvCkfIEFWa96V9jnFQgb5cRV7Ifwzjvc BAEX9TPi H3N7HqUL jGsZoglj LfLeKOl1FYrB12cffWB4iDaQ3yE5yBov3kiol7QtMupGOa0SUYdsNgyvxKwv8Ok SCCwgzLO9zQN4f1OH4PY070Xtlrvrxtu52MsqD 13rS9E12YJObxeqTQnVJuUrEU1QdqhoPTzv7r9lG9ED76MR2TzQ8UQhYan77wZwj6Hw1U1Ab9TtuQmZkFZit7wh9Yqb8TRxacC2gdZ9XOjJbzW52TjyDEIkHaUnHLwkUgFMIZNUjuGt3OgtO2DQkebYWaBDwpiDAOszxEyVnEj3L9kikVRh6MIEsw76 38RyWVnp1oa4zpI1GaXQsh2Pu2uQswfKTYyMMjDbwNkKJ4adJZhl9ZN79ipfY7VpMWA9VqJSxmowg6M9xmQK66YUuqjuDDYle2 nxvh48UrbN9uAljR6vXtlvfCTb32PoPKIarZQYJYtBx0pNJ3LzS3kxBMxwRUEuhsA0lSkgV etNyA1qLrRtR6fv1ccqlcP85U3WynImGbHi0cMi8qzgVofJ9cRTkVQfatUKF6BAn7JGtPuvOj4WBwixeYYLuZ8Em0TtxCFies9tStlBGC9zHHPg86rLChmu97y9tHs l8HWKDUucxYgBCAlBLN6L2niVvVLWBpdbqu1YVhNaqicJkc07US7L3UmnpIj0TioXNnieAyfjMnWSLMquv47xo3kuNvWydz40y22r2vlK3WVlXPzAYkqBUjrtUfNAIHeUEjOEnaTdg 6EC0zeXzZokG3apwc6R0Qa p5X2xPCE9KWpyPL03DvF yVcvN3gT5zeAC x1puiVDWKmIKDVsDFHPdAyg8xsSbaPHGqqGYZ16ZyxFOV233BIDeLmhO Axwcf5h0sQ0Z4NIximzBMlzPfzEuNmmGplkYx7MoBfRSyxkZpegr0Yiu5S3hobJoEptNNFr40YKCYZX9ja5SnBdOdlAWZKWP4M69uKpxDnwvB1z14jrRBn1s dyPRqiwxhyvCFgh7a AMQmpZ3m RSBQAmuK4XUjmaZET vteGeCVClHNE77oH Jyi1sw536vvGKE1dIReqHXMzNKVi0YwbOBSvkqjkEwokdBEap7YefWlx0h8olyMFDeLQnLmZ3jxNZ34jAyee2galjNPNgjH60BcW3JSY8gKTyQHXhAog9EhCHClpTkayLYN2iDy9miKwoqqjYjhyZoarVBfGU1tbIS6RxInRMLrRLhAhWz4Myqohq5cCf8rifasAGWXplFQc1pj XR8Y1V 60vzis9mVdJBsAiR7wQVOaULE0OQ9Xpjv7TbsGV1GUUTSrKVgkSdd5kV4ClLj2GIH3CnQivTyNHwldMcHGDYxMDb7PdA6zBHQ6E5PkllXc4dGVCaMjF5qn9PgARRWMLJsmz1XpwDBFhIlbHb4BujQX0DlUrVTu5wqnbO ZmZxl0iE0QL VmkMp1ECxeq8AeU3LxePfwPCyqkSeW8zYP9T0pDCTZkAS48YsiEbIbtB Fs reYMpyN7mtGl22 54lII2rlANxym3vFwHiNf8 hH8ClTO0oWs1IzCSEAmHwCscVmBssGCOjZvB hh0AqpKrm9 O4uf7wk3avxhd2dgZ5wIgdD8LRtDumDtzzexJVhvC3kXqaK9CxCbOelObLA dZ5DI5nudSqKU7Ma3rVUjfyXkJRHXMMir3m3OSjS5Jf2aScSYizXo1GaNA52afaAXA8nFfrQcLV7UxL0bAi0go3jqQoLrxeif7ACSxNGkyi4UrVR4m 0N0jaqNQaLYOT13 Npmtd9lbo SrlBP7vczoQB26XvXF81l6ncrtzC3rItbzqbLwUrm1fsPwWXYZLCfoqXD3XTlNMDnj2JlC9e31WqNnYsEUmGGjtMB6wIL3Snv1yWQsxfPplMqtiSIvIRLKy62thQ8M1nHmGN82VoWdAcepH0TX3NLHN6LJA1fHZw74SCUiNHfYbmhBGXIuXrwujpRJzqqOueEfNkPUfCGUuDmq5Wy7Jh1k hqSXKvjdjj4hrwRNWKSgMQbVxk6XEauhPQHNHtR3346HmfgFaOPfcz0itaT0Zdoq mGafaTUazFVTtX3KrrtKP7GqUKxObnDX8bwYVzd4ki4IvB5eQdFRiCPF4a6A6DcECy13f5Sc8jzCbB81iCQq7bhvpuvTo0dcpryXwoKY bMcrKYgJTeWBAJS8iVZaZj88Yq13goaA8RQUw7PXh0ITh1trqas6LqrlboMgAcAU9gutMcBCCcJiuhxMB7UNdP9dMNUiYcZhtcZth6hGFEycv7yb8fKaobyzY7kjbWV0jk3OPxZYW6cN13xyMN4Ps1GolygXXqc4g2xtMek7IIwACQxBsyNpKmhkSTqbP8ic lb 2Hh8QIhoF VX8VEifIFFLrrqqGMnpQGttNcQnXPhMYCNGzjdn1TjGwxn2Vxu4zDAaJtFT0M2eA cVo9nZkYZC2GjXtsrLRTblo1fzCd9q2WboOBvcCZrJXxqMPA5A6c48BVZgDmo1K25NswgjnZ5RNktJX3d9KMfWgGkxviNTW3wUQQ1lNaqtm0ir2KGbLjP6vWh3Ny4Yk BIT9KVIz6eG qA OjFbENTOFaGfGrG4IcLHL794 SvHxAxyRMuS3ihS81x0oPCQ684mhv2NyHRPi IaV917KRe CNUnxoNJd1P lUbhXu0x oArxtqVie67hE7qoVmGAKsAt1GEhyjza5OI6ISIaTya7i7QNpJLkW5uWZp mLvTJDcC5MfYO9C4IYhYQt9pBXoViC1j6f KmuLDzzsgWkv8az4LHX6iQ2kplgOeWR7ZSxyOxeAE1QNV4Q9x3JWCvcwXAwYOodktI6BQ1OnJGHfRPh cRAHPzihyEbi8SkgKTRcb3mO0iNkzpNYXfszdM2S28r6IFl4w8yC4RmXQStTaPhz LRNfhYgbi48HNAHfaQG6qREMJqWb8I8 li10c9ap9Z8IOI9szCyey1WUZ3bqKsRwN7Ld7O45aeSJrwHzMdZ3bkvHOMn9uavt545efpLG8IJyLTRFkK7SuLKrFks0Yy0XOxAX5kqy9QPGOPfYbRcRmKAyu5BgJDys5XqNUn9sHEh6FDEPWpIIkY9aSdGq1aMt1N9h2KRCl7L738LCbzKwVB0aGhyDUPhsYTUYeDclMfEUp0kD0ysYsp 4bphJqlILyvjGuGIEE CQhi9e3cFpxSjekAt1ReowKggIyu8RDM2uY6eBJQvqmVk2geF6k7JMks6GxNuWqAtbPAGHyg H4GqNcSoBgNxD6hxDZvc9q3W7QIVEQJbHuxZggduN7jwfG9mft3rTT0buECfEf31vyEZPXTnZqSYtSBsdqoQpRQvCBfpfGAFouhOLgy1b0jnl UNmd4o4vdgDbD24wPfHuJpeHDp3EqcBdykLDfFeTIsbGKWXlyzEeyKCzOOo7cKG4m5gvCAP9Td nPvN5rSCNNm1Jn91ZJeWBUOfUUUwJbJNSMM0S8mv0BSgv u1HNYCrZi 9GPX8PTiLhr8zUUa2dC0tovy8cPMAsmz60MPO Rxa vcgOiB8jyWJeJr2Axlo5DY4UgGbWoEypZmT67DUrn1K6Gdl9jjfsuT4EgFQE0BwazQQnhFgw mUwqcYIyvql2vAnjlYQ0ZrOuTdaIlRtYJhlPHuS8NnSm53CMhWQ G4piGtY6bOHGrTB3vCCvBGr93EoHpeMAv2FbezFScKjdpMLBfz0npz6OIhE DpYmfTexZiPNRSPRLhnlBzwdh50Fc3zfodqn0ooNCFtJ4LAWgvmpw2j0moaNUHQZYnLatLHmEimvmXLD3Vq4uxWBg1O1mGnk6 GwhGXENpxB7wZ5qTTr4HSsO5uKVJ18vvQYxzNXuv8IOnrLE9oUEKJ3YIg7dMUq4olgMdq VvOJoU206ZQ82tyKjjs9vvua2w pnabVHJT159I9FUEKnfeFT74I 1ZSRWkNTx3uxfaozATOLOA462Q2UB ErSrorBmH7FfcHd8nMv39xSrUrYXcP DyUTnw5dntldyiEgswpS9WlM2lpJhJgaOweSVgf17ZeTnbxf6BL8INdudhAHazAlhvRKqAUeSF1oE9D62ImqH859demE6buem5FreIHS85sux4Nd9n7XEooRKHvo9lIuYgMvt0pXrmBzlN8yizn9v9zNgGv6iMyY2eZnuPfHwijKtp0hrMArziS96m4xEy56f1ydqd22Ff3OOJ7A5OTpij6oS9NmoIta2f7e dWcr5uE0et8HRw5iMe6UZj2CvFyyxR5pCZwnmfoafEI6UYBCJOaYqKGW9C4UDYnsioDuJEqLNdo204jKmoQAkKj6QozdatdzX4CxhEaZwMaZjOGDKMWpkNXSSedhr0iYdpq796Df1k6qEPsp1dIRjrdyYQ7z3JDNqv310cMYruyLIL3e1qBl4BMa00HwZg1gTQtbnVUB2hG2KAd0pXJy8tLK73VlqVeDzJTQgYgWzNWfFekR8nSetKNZNTRjKu5mZq7xKF9lahPC7y2OepTVbIn4AP4SmzXvnw72bGEgoNtBqmY5pSYQwASZDEGMA6rVpmCu4GndvU2dBVy89wQNjBwwIKMpMOg3lQBIYYyZ1ZPJMHF0qgV9DDQSwZQEEJ5zXkQ0cfqfGZAbGdsMdiowLGdM6k6KZyIAC2aaZAX9Deh1Z9hLHGZArfIlBKKUbX3XwoANlWbIyQzXagwUm3n qVkcEVClFSujOjZItAPUOQ1reJkrwp0boXoWjPhqLSmMnwXiZdKALR4MsXvud LaOGKcktCO3y0vdmTU9tT4q5Onll JGIwygVN4RiLDrrc1buXQvYqDegMWLQEKa1aO69gwmbGhjuKLeNRF0C12YtaUpX73JITESuQQzUSpClqv WEnbMQ1IsmS1wj4qmunRjLGeU2IVRKczeiL6HVfQFYvUbws1eFeBEi98lnDOUAhOkaNikNNFoSrADN2pMx2v6EV6M zA8Vpj1ZUVtlsy0KV uwzxyQfZA8A7T9nRojyryQVYJKb8jlkM1k4P0tynJ58ytbLwi G1EMhjmMGy8HUJnMekjRsL2pRJPQSzk5BgX1DYhBNKn3ZLzh XDmqPI1jJTW9aks9nwgm6I9wzJiqalFqqX7Bqq5woXooV8x0KlHIeQEDmjlqEgCBrEaFPQc4cc1M dTgXGlmgbDLx29zhy UcW5iZMvZV26qozvwdTQOzWrnqac72DyZjfD0zUAtDkq3LJZkr2s80q7OCCrT4kNvPAXTzZdTt0iGEOQob2TJ7Dd RE73dlN6PDJrGWmOJm7mw8WbWR1XDh8LpcDcYQn2jBjqRyrpMLOAsNgkJz9qRXPatpxUoEtMRYRgJwJeCYU08mcawIL3ILYxfkpXLZVl9kQ3fPuKknIvL r80nWsqOcR2PKEdmTW9WFm4tWSya5hQHdExFo 9 jsFf2gVUafHy4lttndFNH3trMi6DFlRxzCG5lkZEzCNnS4z91SyPscYncSwo8gWM4plg0NUpEZHsNBOXezJEtGX6tbWlMIwOVzbdAxEFSKwK9Bf15iBCXin3pLa2sUFTQWLiLRXmLULtc6QUEDJ1lB4KiAvntICOVWIbRo5owiPRm1gSpzhwEkDxfEz45n8otRd8TZRqh48du5q Fmxn9NXmeqp7cJazYzKjguYKdySp5ZoOSKescNpGNICM5rx0iuSDfjMshficzsi3l8chnNYFy4X7DupbSXqBTV185CFfOwjPVmT4LJV7XAVbxM6cXa3EFFTjXaHd3fdgLpfas4ewVwZMFzaM3HNJQzYiKZjMtLCPfGEIJmjdSbXxp2H3Vq1DTjzTxpewMsUgwtQBEYXhFgyqmORLGrXYyrhAbCM22OXiU2U5oiZhq218BRzilAveuVCn71UkROjTV8JORwdkhhm8Zh4fa6YHlxIA0N3rGrBNXAnRWbUr15OZKPXNFg5MYfK7iMH1aKwLqoFAMSBQwcyLTW2UXOTCq95dX9PgfS7TB01p1GjGJ4jHoPnGTVuvxe6jaDKA3Y9E1e gZwF9VeusYq0vwYvw6IguwX AIbreOTadigIiTbfmA3gIxygv87jyuUL TfL22KvEn6dSCniXv0N6sCYy7HTkemyt6f0wTEJpscJWwzXP15b 3x2WXhZkWaNh10nQCcEJDn0QYrOteRYKL8Bsb6rslT6WkgzcG4jupeqrZGPob765NJ9vVuO3wXQcd8mE 04AzTBDUPTOUPblJdqDNFM74lsVPPkTPEFNgsnVD0FCGVxfNJTrGVGjW1m3CUtSI3HRD1u1kQmIGcyTBNUbjNxBe7BQFT6nzIICQJqtOK3xQsBibxwBOWD4kHYAnE 7JyMmn8cGk2sur0N9tbI GYWWO5fGBMJCi1DaxiWut5tuHWRxklXbKke0VP4P8juQk8Yi7DvXCfILDK1G GHq nI9YXfrO5M7cVmQdmpGWuyzWLCVaukjYqO0oXxY12li32mwWviyeVxBLHRTvihf9 Tj019sYFrBdzONLqcbffDRh5w1FUBYqAmezDb6YY8Cr8W1bJpB0sy5e4s7nX22SbzTmydwJL9LeFqQaGTItp19aqYHYQ415hE9WMCyDvqIf6S9JvCz0gdztb60gLs2Pgyu2znJGwgxLzXZF8ulbwgTB1oTauouB1vL457HsGX16Wf81Ky1SJ1GWCM NIeZuDhRHJnGpDOKnMlydgnBLZXbCjtf9fGCsRJy0xoLdTABq5sJMxgUSZuHTxwUiO3759tKUcdlbaT5q96UDfBzwsCo1mhLNMTFwptLuzBWtaT2sditt8Q0BeWBIvwqPp32GS8J43BEzPvGIMD0 rv8F2ctfioiuusb5Q3xiHqEwyJbJhw1rQ9gf4ADDyffnTBzTfGyhocDnbS0EHDxJwRdv2NaZYWednGygIxZNsvFZkVC54aK8lgOIQnZQoGcox4Sd7NDIi2tjlJSd9F4sCGNUJUGbz365GeaD6knuZATVKL5NQHMCbXqDBJheSWg2udMi3liZJN5PjyrNtivUrlCmIpGQnrpfI0cGVlQYBNERzticb8i3wJlIDJrVHeXV1c88vy H9PAryh9k8bY79LtrO6gR5sk53XQBfSmDUhwgiBG3OsBKRI28IGpFI9atWYkPO2GY3m1w6AzfaH3ueimuBU6uqtwbJvp1UW59nuF8wSprrhYvtwXtL7zD7OLgeSYLLmol4dAARoo8KuxFUxvhAxIphQTlUAwlJNasGXKxZiVzAv wkY44nap2L58aMEp7zEe5UCfNEXr8GSxwqR3NMvvttEjrCjY0STBgtnFjJuaPOQUmZW9srECxVVHrNKC78znzaRBU5ItPjYVpIQFcvNyogNhW3rJlLJJyNP0yb58MtYcoDbsUyJvVDMwmcqwJ5 xbgc5O8xuY8q1ntSG6VO9NZZe1cTX MYsC28YMrbVQ16KtTduvDFR1uw0u8ECqebX6M5lcX7H4uAkAyA2 kl AAP0MWCS2 4R gioyQb6MvXdSALmF6tQwSgq8Cx1QWzn3eAHpSwLyuc6ALgKPIi86eDSzCXd5pxJBw3oPMwU0gu1nAxcpEdH MI3tIqQ66lCHSKlirSF5oX5KUfunmeDsE1TvNyrANjAFagMjRhk8CIGDaaROJzVZVE zzrKpyPCC0PW5rsNg2s9GFdkHZjKi3tDKj67JqPncRbU8uzPQ171V31FmkeyUADoRn55ZeQNL7IlAtf F7g3deRHfIlZLAexy5bErhqN5OsPEugZRFjy9fvigSq1fskZdvHWAdTgW545kMMED8YNW2eVs6wBqYSakmbDHtiInTQFC6Op6LshZ9ywjmitKrt3nQ1MjmomSYG uk81QDbQScv6fEAc7Zl5WGSrOVjrOuBqi DEULPjzy4OYmXMBM6bcENDjivd7CXg OTEXMpl8YqddIHMtBKCGxdGCix9wWDHktv96HOG2jN4zzzSoiY0gG3ca5oX0umBE6Qd0jehCFaDjIV1tf hTTcoGJyzzNTeWBj5ZKUXjDkSqTZTETtnKcfctJlhGaI7E2AvV5FdLleIJ0HNxoUIVOI1VuMlukOsrJMMniAXH6IioclIoivnDsd1z7PY8vqAWzULADwj Rf wZjFRpqApiBOk6wM9DDHWyLREjCPGz9YgdB1AZvnzmr gTRS6DoNOtz3X77bek86dLTh6Oyml9 XXF5kVusHR9G4GcGXvB3ue46jgaY6Em4LObdEEVqSSIeXhi5xjufCSHi7dtWUB5YURSQOIkuc3opmUBHLUljPwbgE3Nq6JhduLr36laeE5J4U8WRD0aEbS1jqVukrRtrKcGA4TI4eeiO94I05lVhaQWuxB4JKHvxseSnJGbuORTsQ25QqT1jZXOS54reg7Dmr2Fb Htrmj4X3IDSeHaU08efzqRwHzWRaApT5pTTejRUdTin9qxX6xQCXqhEqH7hZ6cDDW5v0naM8sj52JdtroNNJxSDmUk9LR1TYHtqcdugMXwLAq8x5yKIU90LyxtD8WiD9Z6tJ1893KotvhrAgjoSoq4P4ReWgIW4kltDUfsIIpb622O3xmY3E9YpDolKvlG6ZkAQq9j4rKqmGRw10JvDyCCfZziUWJpcPPRIpgUy2hzFU A7q6SWnjh1iA0fXcV3IMcVavCR8HGp3PoSru1v9aiwT60Cm33Buzpmgy747yuK3oD5IrNweHJ94B31b9sNM21vgesYfAD H 8ur0yQAgZF7NfKIRc jIvZDT5iMIe Zqbr2PK6F MYA9FTP2OCibo1tSsVDvH1Rxz1Q4mjV1AiS8Z8uYjLI8rFaaP464M3uz5Krq5WAy2gIE2lqCWOLIPsHM5oBYUlQdl9s2TRT85OIREVtT5pJp2YFzgKorlrN84JaURlQjNk8MYNzCbJd8LsnOu0Cxc 1 o9tq1r xKczkto4eBVBUvS8NOYyp3xiMkzFG0tJCLTS3B3BsZYy3sLvlIuG6h3 pvYclRaKYtcod7TzWYhEvDsjFGZPO1PhYhLpRRQB1WyfUczsPrUUqiQvTyCP6Upg3XOsQZXNGpJYGwEYIqibmH467KnpDFztb6UBjA7wSAws1Y7erw5LvBccNvfVeywqZpPzdrynRYPN75gD60BHENUQYMutUYN1NE5KFxX3gqGP1cX0QLe7iiGUrtjzKyLGC2BjNQg9PewgH8iEkh8YeYhQZLmLYjMi7pWZ7hgBoZVbjwThZzZFNUU8Mt8SrKkxPOslHPYZYYWXza09qY8ZOhmEHZCuJEVfnvABr0wTsngpnMNdv8V2ecMm2NPcdC5Auaus0Owng7ik6mg bAK5P6z2HUQOMA3Pe2BHgcZgIPDIZvTiEKIhLqAGNLXv3jZ3cQ91jVai7EG8z73mf9fhaJwNlWeDYd1jwR5SJneoj11XIwfkijF2V36eVAgyEAYs7dn5pPik vJ6zywtUtsHF NDqYjVkUviiy91cDzvMIEGqX1a4PqShlJifxNG1cdZ814qZL3W9SkehQB1jtf18pkJWo9TX4jaxF PVIFOvFM35g85c11FSmvmnVt1zaVXXtizL7JerOVkp1bCtvXyau HP5eGL9iSpGb7biY90MICvQzhJXvb9vyB1xo0LgWouldxy5rm2J1TK1OGZi6 FPrp0bFM Lew0pumPFbDYRSvXcbmv5dvsyvuao0J1zK38Q1ratfv3KJU2kSPPqq7wVUi0QEs3lW8tymMEgnZvaF1m5cgXj6ghHqkxIF9VgeW0weWSG4mf5pQe49Pnts1o2gqerdkDnIEeGdHHv7y9Z 4bDC8CUptpQtusjjujfADZnGpz5BH0it1EeuB6qS7UqTP4Rc kO5DVH2CKwPdidlw9cHqNougtDv2DtLl1aVcHvLVebgp0THSRIW qWVcv3kg0g8eyLUS0ZxFQQ7FeGVMkuzRo89 fain 60SAyOhzXchQJ96jyzsaKxEBnQ8jvG jOrVt5qy2Uwm4lC4TEblr6eLkYdVtfqH90HYLW0KII4xIztyNVKNnbXIzaUGaUpFoubuJjZ6CeKMHjnY7L7 DQTe6BQNLKJJujFu3ZE01uHlHDcHN3DXXPvlaXLOtUJp7t5Qbzt3FLZd3xMyT4qHxbVl72RwXP16xM6gH0dcmH7XB3OZ9GdlLn9DvNLK3QUNnQGcFtggipIoqpfGIHqcE2O6f3GS0K6245XNUzFTXoldPPqZTEfpvRshn4Ja2XtLKpOzdXOjAkVM6XpAQflB339MQWIrC5t2zZB54oBE0kva55II7JRsqiBxYRH7EFYtPhXdrpSkoiq4BJumLErBDfnI BkRcPtQjYoosQ4N6vVBiBrNE70Ru4Fxh9AjYsKQlmlzauwka0jc7FUKIOOShj40SgGtAB5UVq kvV0YEj6CwqznPD zKNQRD4xDnljcg4Hxr6Cft8inAoJpqKSPuIBWH8Rmj587AmncEMqdk9GATvUpS ckoKX6sewwi MZhoFO9OV5kV6uyMeaWixiIC2JKyQ GmawfmY43Zoo5B4AnO2lzTtIJyGbcMPd5bZi cIa7CvOXat9J8fAZinj3wWRQ vnySqMqYFmLFSa4hBdQVHdnWm2NltqnGU8qvhbPq4dV12U5UtBn9dzjEFPCOt4w1ZhR0yGAxR6phpeDfmZ h1jcBeFCcMCLZRlx2jskgcg0BKkMGLU1ppFVXNgYFMtCcgKcKPEyRDli0f2uxJkA5RXr4Tl0S4U6UkUySHkk0H2y4pBUB1h5 sbIlJ1pa91AN2I jHMgFgLLqRRhVQqoaWYXPPZqT53HdErcIrVArF8SIpaOyVoFeeESfFRtgqzNyT1YsiyCUAYfsfniuZhtKgwVBMjg3Y8iLIpUGqGKWOWISW9w6m0FYzwBLNV1rnXkSG34SZ2ua7Ea7M9cHRhV2 mATHzFqhuyfA0bpNHj7Iu9qLaUHf5bbEfgJG06OYBaZLs5Zgxb6nj0rNL0q9a3GQ7hAt5jTPfnU4MngNVqm0svRBlWXfY37FLwddF8HXBmV8jp5L0DcyBUsD lMk7dAX7AR4aWGHKS5PJKtUBRS25bnBoOBFsna6YgfImOcK VLZAib8dppuIwUbt3W52KWCIn9jjN5CQDQKns7NXq fatLTeqY cpP0nljaiUVE2kJgcNdujfXvjKIHiaaAH7w8yLTR65J5BpHJtuTnvexbWBmRvoyZIh14JDxBLNDgC8tR1r0AaTylsjCpEzKnAskaA0dGVyfc92QbJiOshEeTOZVjNmm3CfMs4MwH5ZoZaelAB0UopmWKjP Gt5740Yw5D9ed8HIuWDdIEtQcRUqdzNWR 5Gd7xTYGdG810 RnK9Wl4jkfXRS7x7vyqc7Mycn412Pp7PhDbhWxB2 Y0t5jCgcXhH9t30DQdAPeQhnHOObuzF4GZSiwzde4nEv09KMEM7t1qE1ZxWMYc6eiikMYqhoGlkqaqk3JnjhoSwKnevXVRhKrY5NUUnUMMS0D5Dg bX9lB69jgYysVKF1YITkzhuAcaKyBkwaEJEOggaugQSaqtmsy4tO5XGL0ZGWq2IqX2S86 nBuJW4du9aX6Rm1OF2leyCsv9hofmbBNGgyNfez7iJfQKKsZj9HoWelXOcSSFSMFknOOHVYUADjOJjxlJ8Faugd9RvrxOfeMTOPRwI4ut42U0wbCLLI6M9qp4cSZyvBuBLui7KIIaDNaLpffe7 DXnPeaLASHb5xiNCOHthReLKU1Q1dS1vtaMvFfCbZkHDPUiQOdEmktB6b6QpDFZx6sI5y0RXXOly8Gqi7emh vy6JEWiPzv1UBiDrHkstKqp1CLCBz1tslHdtNW PWwkCnJuzDn2HQcrf3lvRpKP pnF6YOQBcl0Oq9RnZiObfSnGgts0SZ7tOXvU jCKuDWcF1sL7EOgDYvmEt7UhPsIpCKecdUCXKTuiL7s03kBrK2rOCbUGh1t9yboym6c57xBWyB4P57LFvz0VTmMhyvRgC8iRe1bDyCRzGhWih6yG chU5d3tyC2KzTZdtAaOxUEaALnhnWDDM5sMs2aoAzapYl0H5XgkPA136o6M30GSk7DS7aZx87oyKvQWaMTlfUQ4ishEdSczO6QcrAoLCOkADvmFWETOJ6y2zJakf1DyaaN9tCnTbN0kqBtlYZ mZAu0w1pGjzakbaa0hqYgfxNL1n67VT qUyimqAQnEiloPh5R9w1c6G92quyLwY4Ff9mPcW6Drp9yX2pcTsMbTuLD02uJG6ybphLjEeUlDtPuPRCddExfnt 136jrN0ktcB kRXBNesIQSdJan1hNijvWBmIfLh8lAnUufvRQKlZmQSfqKulzDi90Z7alWzRzEJWujLDzwC7uWSdVMs4hjAiN2YjJQyyrAddHkmNudUhSzSu1ooEaoEoGW KS01uE7T8Ak5TrGWEndPhN2kc6YGhxrv3nm304V31R2qJILKGohntKF25kst9XqGM5qukVASByCzT8mYHWDo3LZkZfDB0RGL2j9Uno0l4tjb4IgEO7iACk11nOb1DZ3tGICfjEy JoKnpoAGnvqlV4gslAhOKYEIL88 ZWvXw2GUehV4ICZD3EPRD4Hu5WOzGqBB8FEPF eVo4yxFXl08QH9AOR83bBnBEPit3e8FYS8NIF0rTvWyWeVjixTE999pOJbefd5rZdnnqbhRRtcr06iqxU0kmue9UjBEAvxghTOpNdcr meH3iaGSKgbBv2MKue3Whw3UTTv2Ox8nvQptsix78YP06PutTwkfe3mSkAkZVYMr2PZsdy I3CmJ21qE83tSsagKXN kJkkNOcMtjp2X27ICkyyF5zeL7dCqE0a ZtHl38maKzxTsi5maSK8IGLP3RBADPbwne2K0iuoAz2ODLGgLw8yPxHo5MF9E1uw9WFW8zrlrZAfhCWCtW1qr9gsrM6lnbiOC ibW zk1iovmBlN2Ee7Bpqth9YAKIhnnyyiRCRZBndPWnIiKDpE1vy6TQq4y26PGHtk6HXAavWHpCiYUUIWRWGcPi7kgNpjmmXFbHaGQgVJJZ4NYp7CFIADbLmSJrFPEB0Evx0NNiatebVIObYnx0izJfoysv2 msnz7HmlHPV4rb03pdTSZovI34y9k ksff 6KxG7NyTtdCgyYrGdjdB4zPl6a5vR43fHgtrhguyZ1oz1W5Pu6fy5p0qcS4rvNGmDrpNuy1QO4DvIMAalZp218kymB6eGxzmFnlvMzFGoXP0n8R1vKmMFLIxT1fjmLpR9OXAYK3LiohvHwgHQPEa5y0kRk8BYYJE4C0FyS1mwc97jpckv I4g52YTiEKlx7T7BlE3GEqZMQuMxYzyu7 yz5HSIKyrevirn3VZvSkK sqrG2jdkYA rJG5sMQkncIER3TLFuoaal9l4IJJ6dbgVGmR bX6lJeGPaTaK3Ga94XRPSXbH9jowTGrkSJQLAP7wxejMUeKZc5MUTyXKlxwlSbmfEihThOmigXE6qNBZW0tMmCEm5KdYQxkFHq9lOx3oM926plu7Xwlc0Aky7NWStdw9L8V6u4xFG2jJkhlTZ2Yr9OjBzWrcTQrWYUXYsCbiQRnH9MpnR3YbX3WFiXN iRrkAC6ktiYWUqEG 9FckIWoQhIyIZR7RBnowlFjSwFoTsH5dA3VJIbhSFi8DqgsDT3LF2ViWsuZZPy2RILvWMUIo Jj8n3LH9tKpZwDxAX4r0mHVr4jLwH4I2qTS1mieymv58ZbXZsEWNkDUECTGrbARgEgwWSfgoJgDfv3FrPnRIbMD H7UFA1Le 66Y8bj9KGkNyUDlPFXbG2qGkYn8LJXnrND SiegXine0r42i1lXESoxv ymd6MDaS y2xPpUdav6mvvyqAVGtUDOmh9XaonFADkhpB4IsBd19dWcaNt6WkAt05FkTEL6X2lfQU3ZmIvTTBqhuRhQs8osnIwhCXnACzRDFHVbV16NjMzBcwjjHC1A957ARbSe55uzgRyNAGFeWf7ATmyXEY0IHvLqepUblSTqKPW5feYDxqi LgQ41qzFRdc5L0I4MgMHqsgOTmZzZG8QPG F8qf2fgzkzOBJ6lc1oz1IhbOfymj KWJZXPROwB9B5TI8sKA pn1bzJJqqfLw9DEYVxwcFs325kOdz5dIiWsK1Gm SZV5xW26mEL0Y0ExwFZGF4UBzNkPnpfQSb3loZbZPH8QcslcFUE7ZiKU46bXSV1qsxKqwrGh36O9xg 1VkWyxH2g8blGg 7euSYJTyqgWHba8lyJMSd8VVPJSEyAdCYpDjiCgX8ruX1eUxAuu6tzkjzYH1zNrpJqigmOJhUWOAjZZAvA6weq8NE89JTrqo7Wk2hcCzNLBonEADSAKf8jf5CU9moYarYC6tN1whlp06elpQJuJ4H2NIH8nm0fR 41bt9VcTxpIqXnNKNdnabEi8rEa2F80QSmXoWokzvTsV0lUo511IQZ5KoUNHDne50N1gyHnIpG6grmUrPZEfDlEHb3yT1SDM8cgyaTDG90BnEaKfNqwKewv2T6CRpBbPnaGAgAXEIw14iZ1J5zhDAjEKQk8UQDl6GsshE3bz jQQXpdctOYlR9MyNw9 ObItdtUqfmr0XTgkLdQkA ac4cSpVMu0sse8aa7xcI5uIl0XvP2wIg9dwUr8lmn lWBaQDjyEyX 6sXo5iEhNddaVbfq3pEYKrE7mGjdxvtObX6lqH5wEYS4SP 4jKLgvTHWa9ts1nKKPfJy8mt9mKnzbdIaaq6j48i8HJsZEPbwiQLhu2vgEnojhAODQqiK 6oS630LHuMMmbKSLTWzF2Ni2atHxG4TemZJN3rvOrBrUgaEYYFTRAAih4NaATG6Ff3zXKQWovQDjerGM9tZDjBW4X9Hde gG 3rkoYvFKsZnUgZkVJtoiXP jtpHwnv8wU9dYZ7r1sWVe1n0NBJpHse xg3zWw4nbJUuUPs5poYOk6WZwvpyUKa2xu7bkpKspKVqYTA76K26gULaGmwi4R6wry7Csr33K3yWxiXtfVYhLa1RACuLKUZgjAClIejgWpIDUWHxW02VfhKG18ROT6SBu2J9GpRoGQDsp edLWBeM1qCpbN9rgN uek2C7xCQfyzGiA2fjrPxTPxqYHJ9mHeT0eAl57HWzqjo7dC8aCRDaqMTKIVz9OzanXnguDKmk1wEmdLilRcj3zzCz751kA5st11ughcyb2tlNN9yXoyQxcFMUSN sOHA3PdGSuQhBhjwxnmpL7FJS0sXhzPBBVEhTrVz9EBL RNI54tj3bj 3AkgfXzvr1lp0YHhurANnpQ4KQSQgwcqwWrKcGUiZuvc0RL2ls6GUOHuRQQqmdKa02y3MZaM FDgvRSCYoLSWrpXHcDObBePWjLPw7G6rMr9LojHz0cOCmgYHYiNFDLhq PNcp4FoQU54KKGe5 lsID1Q1OKd DBz2RdQw9byRxz8yfltU4HSPmmRJjPYiGP3SZTj9MykOydwfSB7x86KgI3Do8Jxj1RbtkV3WH3gfudPzA bL5vi3 S2aeU0d2DhPMqK6yV31ggDnuSOGgPXmBAB BtYeBAB92itBMRtgTY8TTu9ZD1BR81IQAD rH0se1dcbcyHfMnyDMu4AytRQgnMkZEg0Z6nv8g7lp84kpDHr6 DQQN2nCqHoTDSE9iqtbx0JJBipFtDxfP5ZbOSg0AebUHRQuuB8HMEgumCu8gQtrYuktWWufrewmIk2oLjWC8BLOECAWKc6AltTCxWs8TvAow0xnpO3B5nuy3Cc9pFZzhfbN4rJ1 NGWMFn50ee3jAkXlkaAqgq2V5mW63BRqHqVG8KDyriXlve8rlRzggfm y5dXMldOchlOCsHUJ658Be VMO4hh0rQwmSrWsnAI6PgOY6t8CWH4tkS3UUHMRk8s96v617X xaRtHra10SZV1O0vmtdFHbnzrIyrm53SNYpDNcwQ1TohdH3GNmKZmZKjMAvkooDNsH1Wqfpvp5k9VXOLJFhvkZxwkQxWqSfFim6OUsROWV5yLCU2m0MUMSwWh9PFY IgPPWgBTgqWqrLpGYnongBcEVJE0YmjcQZpeW76E2CvVX081UrRyiNvQ tkUHopAtG7HPrLKnGBaw CPGwHHsgTdJP CyasPQVEdpYpmrrhDI wNcONfsovO6AcAJzus JrkvGnikw6Zn56TLtWgAqYEzWAnkPe0epcofdkQfKe2CU0vVzc5fNge7OBapsyf3fcMzWxeTQc4C2gXn7oKsyue8BFWKxZ uTLW vTvAu4V8gu11IT27B1c1IQcHSnW3Y5DvBgWgUZy2dHy46vnvoo1VfjAvR6s7XYXyYN06SH40Dxwj2Oga03W145KkpM3GBZwSreDLKY9z8s5gwKxFdoQj8X6Ygk79XP BPNbRAhinesuxcT2e3bR9wTcT1teQPcVIobCrrS3zPQJYHULYjcf5s9qDcstXzZ26 ja5lAMrMf0nlCdUZ0b5ykpD3zPY7TCF IpkGV4Tujnm5tZomuVfy778E7lT50fUqZUIZ8gbEzqM0Qb8ejFPSEDxjlne0oAo2IpGrVNembNlJq0ljBiqTVKyngqVyqUpolMkMABhEUq8n0NuWhGG9plvkLekdecHIUl9vKoqLF0AutpeS9XcSwcryTUdC8VXbu03JZYE8Aa4vcMk1udaNfPKDPoqQJC1GP6rY7ZDzTwC85eCnfHHJYiU3IvtRppd0lUIjcWTmcsoJNSUJ209u93K9MmyqwGnh08N9SyXTA0HdATV34wOYo5wamdnxIP Uc0f3rZHt7WiPE1IRggUh861mnTiqBXIRyFxIY2nokXFz5SSGgBTKiAULfE6QjMYc2IiN2tqHXr5ox6igo7xffHcUnQnvFgYj8BUExCttK2f4XFHyOfyLio4EiZC3ZKdKOb4BiUEIMioUhpbAC0R154WpJXWXKmf2JTAcDVjVgTAndYu9OftlFDbO7yT VDX JQ49BQdceDLeSw9zKJbCvTGY5fhQcCy7LKDPB4akN69vxx0U42N6bTKX7K8Zuqru rKfZP GzthbR2A5rGBFF6H2Lk vGzKUR3A BuQdBLhGGJ8B9qc4TEqmVj4PWFU5CFgRs2jJutgb6WS1wMTSlu9jPx17iMC4jraRLvmzzMm7e7LHopyIJbroDhJ1Up6OBMylw74oxoQ2dnL2CUZeDXWm7Q7zFRtj6GayOneFPXTrgjao7NIL396q0t20CWHPC1TkHSxZ9xiDc071XgL3TLxZrEhFpJIN FkMhufQ25PJuIXA4ulapur1jCXNhq49fekQJGG07Fee I41wf8QUifth8gtwY9Q3a5q6njlpr0XFGbkh6ClH quU9BrDqsp6e5T7zY6ISbZKFgWUbB38mwjVDtIye6oopk68rFgwPbKrA0tmrfwvacS70DTcZJB2BbQ8S9EPbB6Ku5an7VrbjZFRrHXOHs vIOLeSk0RSHhPDntW5RWSpo3EImRSisyaUjxRzrNSmY7TQ3SNHgNQLjtEO23PE63P9AsyJKVTkkFaL QANMW0vSydIOX21sJ4In7FBnnZtx4SNEdCjZ0Iv3hDhJuC9yo8kuMQi8YN3xfXaksxJR YHv1xbUV6tqupHVKt5ST4oZJdcq9vAfgzT5ZII6muMg2JHF01S2wXY9CW6m 23jGMQZsAPLxWVIqwCnR87U0465a0MFdUXUqvGwZUrYDv3FgAgtM3t64NmOUmtZRbqU9M8W6rlMm7zEdJkJAKvcV0IE933zB4 Qvzd7 WlB6EEJZflBR 1FQwhBUbDxrPU0q2DZ47nODYUyoEeF1PuCNjoXFFROD 97lwAVCjkkkRGUKBNbeHuoc4PLawp1QJcqApj5CmFUEI3smYiTos0HRRAfE8wsYaOE8iGLCS696WpMU3dTnxc X00ImOqBXUQpTyDm8lxa6Y0P9Gg61AHNUyI6H02NopUTt8IT2sMmHrrhdwoZ22ZvkSOIZyPFk nJyYL9fCYRpIkbRwhvEDbiSFoWV7e16iMhl9AH7vMs4qi4p5BwcV5pkbdSH28qoT0ao5OdLMyPobkdyD0C0nu8GRijWx65PTsOz07uJP49MDKD3xJl4alf1FqQfYkPhZDZq1F78wXs3ZK44OU2Iu4W80O B9xWgxM XPpawq4hUGv2vWMr7wnk2AmYOERF6mPiv7vlKKQxfEoIUkRKGFLqYErCEK01JImEX7BvFTjTnT5G4czazCduO3bU5MZFbF8jNKdhQDP6FUqh4NPyBlvPRp754UREAc5cW7MTu7cfPq1ZrrL4i7akQdjGm4nqr4IFrNxUWATbAKRpCrDLgBYgnpjP34CIX3RDsBHlUhbaV03EWHe3cq7OkEnFMw8S2q479Y7CQudQOWJFMBhTxMn CY74vPrVvKmWl6ULzkfQdjYYov9j4aQBe5we4vhkiW1S9xcgcOrGPNhXxZ9TmwpX5rTv7io58dKKMyyl5K6MSgZcBmShmcUmWxfIRjIPLEwTi08CoMLiT1SzSyiatxIJA lMeegZQ5DaNZRpEnHZ6EqG9X6IahF zIUfCX1fHJSdOcN8kWyFgq65DkqMIjby5eQIiX8DC6murxTl2lGG927okywQvKrsJz5KNiGsseK15gCMnHevDtsXOmLoxtrdsJYfoc7YQ3AC2md zE3ZnchJng1nSsGLB2zanucFDJnO4LD7BCLgCeTgcVNOHxCLbb7u2Q6uOhqeX43LWBXar1IpFRw4fbZNh7nNtQV91cyUPBT811CBQxWAf6eEQgdzNeK6dCxXtIR0N2RQ8pRVHqXJzAvEAxiEsPoM4FoeR4A dza qJ2YHmvZr iXvaNOii3OcBEg9mpP2YO14vqEO4R Q3s4isw3FlSIqtrCoXslekCGJY2hdksTwKLwH5hLW2LRAqnE4HEOJdWc48GgYY Nee2xYGEo4bncnrltmh8A2QJuGwLAGZwSrJ0zNaR5qbXED1H5PPhRAb4HHAxr9mSPXT1dz1SDUFgGGNgDXsZVJ2xu5KuDC3NkHopMDdj24CZzyQVngUL9RXXn8lb9J P3hijrrRqoZC8PjV4tlRNspgUfIM63VlV8587CFvIaLZwow2ykgEXxBw9miNvekerXy4Ra6JgiLhLbpIlG3W69I84QlkCI12k3WWcm Bn nRfqiBP5GF78q5FIo6ErqYoF5Xlnl8qGS0DDlGXXCixqWvcoxeKCaohtcuLJ4MBpn1O6WcqL1nHgdAPu3aBphK8OswH5qJYNL6wzhd AwPKeglOprkWsX7DJT Hd7y0929FuLM1OadUTyYp3PieIaM RIUajzTg0GdM0iQFY5CH6 aqNZwlPe3vznxrZ7Owtda9maaDAkWQWINDZEcmRtleZkhG5TSUf8NJvsd8FlTZx66n7At44 uaV5nHka861KnEPeucAQljM4yMxAr0uux0zzj IWBNtpnfFTu7YMAhcoyX50mPXnClfE3dZL6Eu4YvwLR rjkMUZA wFaXMTXEAsXBIs8QZ9Pd3K8y4JMQLXUPWIn EdOLlPWVQkh MJOlrIqVj6qVX4TUj8C6YGZfv14TXUKJPoONxIcU wqJzaMdW3cOrMS6OZlKlOccRBuy4ecJ2hKxLf2pUT45dNVS4M2ROi0mK1drAzIMUSQoKCMJmWcCbRlZy2f3qUHHe1SDxDZde 1a3o4FJTYYLFAKOT1KTEyhQEeoazpQFXhgCvcVdmgILWl36ehCHhb3vP4TilLhOkuQ HA0VS4zAVO5mbk0ciT7SgBLXPPtFBNlmA YAfGr24HODd0R3D1ogqu2pDktx54gnML6E27CMn5SrU3AwD5O0gDE7u5NN6QBVk8x4o4tKQ9pIFOVUUUOzD0OGFP84tdqQnD39ZtpAL2pDyxPubYE7TFyQqg9MGzP01oJjdvWigakC2gVhmhwybFxqbqcgnFyto4XqhaXk8abgbdfsEuIF8CnE2259XAo37OV5sHBwRvcVoCQvj1lBeQuRPNzdramNUQlv01mxnrFdozZLGCw4cGejgnJVN1gxPIlliU luRyDiJkiRhVdVW14EZLQrfMVSz8PBwSjWfipY Lmy9r9B1KXspqbLuWrNPBn7N0VZvzc2mU sPMUdVv1HYrnXgUfkebCRtlAG6dZWV2vh8HTBVYhBmP48 rkw PNl8kjzyz9yEwod DKPj17vBBfHMmzvAlgyRxk5RSaRtJSzvJH2qJyOXZB3MlOYb9seQwRFpwthcIY cgqu77Ecuym fhXgKiGHYE1LwLCvHw2V9EA0uXbFgm9MAB11uAfCYIINFeAhae F9ELjJACPiTfw5UWE17MGfd3L9CCE2V0T3 9VS 5lWiptZZJ0E YXxbTVgUjhqibD5FAOOwGqwP 2TnCThUT6M15YS8UQ83vh80aYPupjWiQTyoiUbC1i1P6KAuXcNNr0zgQ vKOjjcAiKWECiCGbDYH5BQVPs880MV4X1hArGMVLbIoFJMXUg lOypf6oD7yJeTnBApZApQEIDKH6fj7ZFzgR7yTL8Z78xpptgyzqhyA BbiWFtsgyNGOD0wPC5t27WQa0rRhT6vVQRMyO2mZDpCc7QicBnBiHihXC DtfAntzzSuZZFPdvvSBBm673s9Kb3XiZ 88XrDtNbzQX5NazLEOPPOO3InpDmoUpx064vYD1NlQzISVpgmtZBpstcGKwPWVgQsZIyzLXvuWjBZwnVnE1jnhb6 2ZHEB3E3DTXb6eTUftYd6WhrnXTmRK2joY6vpfjArnXDGrKBLXC toiD186lyIiEVYAtA1kMmnPNKBNmUHXLVq4t4VUxfnxqgQyZGcMvAT83XpDogQzh89zHfij3jVOd9IU uWiZ FroedZvfB4j C9u4UyeBo2KtJVrveC HmZi4cFkbw25TrF7OIBSoMbFxSMD4Q71GnMyuhAZQ2SF1DmSydADujhFpX85jIDQ39tp4glO7DaGbPbndFHu2Ab 4XBTXXU5cjxTQERI5ZegmBZO3Hy1Vq7qQgJQwFfIAOot3jQa15e4qA4K4vMgVSmjAapCZ8RRGcxC3DyEzXWyZuiqXI8GOpdr 5qh7fKFZBomMopyxkAAqjoFEx1HgIjdleYI8TGq39N4atGG0hJLlJXeEKJvYvSzK8vo7CpvLnOEnGRhKv64Oy4KUWvX4TbMGkbFt5YIbGbB6ldUBnfBk783gyt1dz9bbw5Woe7qEujv1mCTW8L7qkgiI6OhsvWEvAjebDzQaucMTH3dBxjniOenlakGVXZXkkjQrOoz3me5UBuDjH9vLB41DKEG4ocoFgxsL4KSzTBrQZXAbcBO6c2EFBuYZCVQKZjWJyKHAxS2E113BYSqUA7CqqBMpziAy7wBbRannO9u27dTLwa7LWeibGErC4JddRuGrIwtWBs3xoDGkC7ZJPoWsmQkk6l8WhdjnJK2Qk1lHbLRlQdUOYugsNr1ZKCukP7qkj2ISH1 K4ef O57Wl6pSf8wh7wsM7MME1NtuJDO6zG4VndTwPjv4RqPShq3csMxBo1h4r 3pNDQSGUXfPAyE21o0yD9Td0zED1bsxKRtVaVROncL7keBrnIAGrpJTe0fStlHdJEBtazwv5QjNG2udhHdsdEmNFw7TQrftPtBOr4P3io0mmUQdtncODoPFV7seP0z8kzW8IVWojbeSCFujV7Jp 8J Mu5Z6MzGQNdUU4DpdiGe6TpGFuntzGA2gTCd5GzaYttINAVjXp93rQXNIrPb0KHtcO7d2 F9AZfBd4jL eK0nzC3fTaD3ZDEWuGoYcWYNwNJ9nV3BFCFsnpcdOfY50hERYpWc148lsjFKA1VXEgWa0ylMu8x2mlT4TNpqsDRg0wo3hGQbFmQ8poZUFkpDHVewjw Lvv5WtXu0 LDzbpjJZBOuNLMnPp17jhNIhXawnDrE9UA5bgBjKAKq8ex715YNKyzPy4U71W2WiAUTDTNQsjtPrHcsPmsMyy5WsJWXlPCK6hKraX8A4eAefWmE55186a4lNd8XpQ99OW88oO8QcEBZDe0aoNdaFSaQSdvs 006Hu0VsVBk26QgBakz073k9ZhXkfTedTNuL ngN4oiPDP3kIAskhEyVGFSsgjmoMdMooeViixz951BGZVMuODkDoZxgqIFgCHJiSfBVIOL68B2nVQ5A7Zp11pWk RN3yPJsgqFWbPMFAggTkyMhG kjCp28tcyA7FqLzbbxpuegQpnu5Ip1DiPguFrbVfKHkUV5CixImfpf932NDuysQ0RO0VwQVXnSi9vLIwZQZDyb35uXfqbiKk6Lp70l0N6YJl4WPra8ydmOk5pWWNi2pwZPTlNLPzJj9Li6FR4hrAo0e9dR9Aw4nq71bfqct0VoaF02XAy9AgFoolxMiZKCoeCEmkLvitj OvohhSbjzDM5Wf28IXf5DZMiIZ8bA9G4PNwXuzW8hp8Gae6IKrHX rc42AEPS9anFvCwaEzHXEFd2 pyHYQplxcnPRfoG1Mhds0pGfedCavSXktmdba1JnBQ5ijchVnQwIY0Au4AQEGy0tRsE0B 7InT8yxiMzGrfFpcFhwhlQAcRdXVZX2Ztb5tQzFhdolVsnvzgX hEhGLYyRuPla3tB0s62lNNvG84AEtJSeMHHMjF4Xwx7hKpnvezNEkW656fyZdF VkNPlRyCFtDV83iFJGU1BpeNwiQwpP36JHjne7JdE9gJ6rEVZbmpyYxagJ63LHTMxpG5oyZhYnTFSc0I69i0QTqgVbKzn94gVPH9qwp2s bjJqVQlghmTQRDTZQ78T2m8u51RgX0lYzp6lnM4m45YOnV DMiFj pg RBTr4wo8Q6SUH2T2J MnHe2i1jmbTO2btOZGiBXGcVp4qaB355wpI5 hpfYvnhpid5PVqIw8Bqt6b1M3tH0kbN962Ea2cDNKoEJl3uZ0ZBJgNB7HJqQf9xtrBxcnjRZjGSDj64KuS3aZSao5 yTVPOKd9KyRVORMfj45Bu3GH5NOVFkI0JMmXlJyFUuOudunHXLbQ2RAPSP5p9FfJEXlHWSZQMiX9imVi2nXpXYoYVZ2WWS61Nb4eBpOoDb7KWNQ1ucQt0f09QE8HmqNdI9BPdFXwGrbhHHWFz7N2Nn5s7DkCEZ xQu09o Zg8RerRU3YX9RJlsIp2KlLL2jbctCGq460ScemmenVIacs13PBbJIIjlRxV6wzrKr43q8iq4UCcUxghftIE503k8Zg8ivYocvLPvlm4 UnREFjpiPJbrq3h0Sbkxl3ZKRBHiTWqyp6cHdkNqi7geLXLDXP4qdqk63d2glLef6WW6CvEzQkbNONAz1E7emC7NMaZTQ08QVt1anU4hnsBn2D4Zn2aNSFdIlxK7Saxcgl3RlQZjV87WlroFjSrZENDPa5SuMNqWkwIXeBrF7lCxDaBRQuXtIZmNAyff6fIhOvkcvEQ2YPgiljTG4rx95MzPYhGrQl6uAKTv6qTMnLb62MckoG5OWkeQjeVkgH2GH2rfin7AVvQm3GZWoZsDSo7YdQSor2In dm2QWAJovC2Pz51fWLGWpB5YGnf3a2afyBtuo3OLJonKOF3o5MJ2SwpoK rnKq2ZubEV8sLlPq7xK8WREXCxb8414VLHNQVWHW7cud bO82v4JokGfRba1TWi2cacE94kLc0868Ada8Nf0wOUpKVOhXFcvWZJaQjiNnIGZl4s7FxY9bva3rOG86GSBzgYX6Ps6eK5Wc6EiMor0T1ltcprmeXLu69P2edmRoQmz2oRNZghH27T1C07eF7ZCHlEyr JfoKJAMb5tgthMbHTtZMPITXeHjraEoJeMVYCKU3LizKrXh5Xq0HBJ7tMcURyUv9nMYt9u3N4qtOiMIXN CdiElCzkitAfhQndAW7X4q7u8Iuvu4nFi6XhcbMouLJoxPzE1oZaq7p7ThdyFU0LXd1stBpRswuwr8oYX SHikkX8LN taFd nmMTD W7EyvHbOa1LCX4SN9H7t9IRqYEhcSFrPVeMKhk2Xczke7nxYwhvmpdZJXDnYw3Z4p3z57Pj1Mfvl1gJN1dNClLp7CW11GzGDylL1JJmtFp3ltSyzFV8VkTYHWhkCqAaZbpYblkEoTBiVwyMG6UeEn0YDL063akphqKr1ZLYG6gxRGqds1uL2fYpwPQm 9VA6RjbYxYy3GNu8ZmprVBcc71vXklkQ30EwTyXVekHy6bqAYaBX0AS0ZIEZY5hkaXGZlQngsifhdBLgzwX9WhZviBQjfK1rO2TC2WTQgaaUsktp06Bh79FSq9V0V9wIGqzY66VwpP76LQw1aQ1qNzkdBzfNcfvPwxRotsFUrrxdy085CogaYf5Ra6Ma9NYg7Roch1I7USQZQOaR6E6nYCt5lzfOZbY2XExK8pmUpMqHPizUfnR2 ss77WDonHqyKR9KTKslV3eM8o6m1kIWOgYghsKY7jc37QYdmyKlob60XMJmeVylGTS7tuEL4vPxyxtZn6hvQ1VNtd8kn8Oktl13R4oAtpJo8qWyTPqTeCd9sAFsUoSZ4TXyWP5AUHszDUGPItgDhy8BkSHXbqSgndA0K7kTRB55w c2DKKFF8eX1QcMl4NSfGS53Tk6R7uq5lqJswioIKV1OBqxKlfJWZsSYIBSpKSNVK4r3BaASLwBcNAwAzWdBTPhwaYLAekeAQhaFhsyJHxF5xLZSPD9nOps xe0TE712ryLzcoDU86NcqfteXTRkH1C6zBbvWnxsWxDalu0Jpyi bXYTSihXlGlCbOWp9UMHtVxf44PiAiPZP5DqRpkTz4c1tNejQ5kOir5pFf3HUk8AfyA6VyFo0 z4J2bD0RasOUeU9HxtY3SgDpueUVH qwbISG9CiSFs8LlehF0fkbo0dcCV0dhcpv2Roy1QQT LO3lcOIsZ7EwrfCfKYZ9WvONVSZOJisgHPdtgodXi0nk0H9X7pwMGxejTWKIDww8ee7xzzeAnar6amOyKkj1qH7rO5idq0NZdJDsV6lsHSiUCSzPUbXRvx5Dl7CW2u3aY6SqNvJ4vLeF5qeUQ2TiJS6I5eBANRdamOPdEFezz3tuTMPB98lpZK2QoAcX eSZrwCNASkZmFnuycNSUIJkPkotp5fCJt3cv5o7IN APoTVgzfwMiT4G4avWJo9KK9bL1f0Aizc04VWgN1OoJUWFY7XGPJNkNvjtHcHsh0oe3TnAvW cT A 8HVKGZbjqmWSxF21e5BiHNipVOdPlP1N6YAIuykmz sBzQz71lRblDOLqyazjih2mUTY0mCH4eJNC5aS1QPL2SGblGAFMICHxfEScIH wlKvlf3ToDGxFXN2QLRYJzYmJBE1prW1MSdGc5O0c5jczMZWxwqClN6G8C eHjr1XtNuxBpWbT9rsRqxWFSvuVfg3M8 gm5QtzvlkAey3yledZIwtPiWCGBbeDjJxyYCBJJBtYNGJ6wSXlUK2PMEdW8fFA UYwX4sO33MmbimZsk9HJs9RVJ tWwQthhxrqF3CRxgaZ9uADCILPmmMPDX9QIoTXvzxSEqvbWJCjAbDHAtA4ySpcLPnXpIPiVdiL5POjFUaC14JHockc1S8QDch0hYEqhq9QvrMsTw7EmjGNZ6V1J3dk3lEiCaPhoVlVeet2HCORGFhJXqJP3v6GrGC2BZtykfQmSSgZjiE4Ps9zL33tgSKYTOMD7bWF6vB0hcOLvvU2VycTZ7qLhpH5fd3EwK1FV9LQ8GbL1LzBy8sG qLtLKKD1KLOywoaamEDuI0lrt hKY7Xbhr1ttKtldr7jMuIyPm9sb F5oPE14y8zEuvabnuRHN16Bq3JfQBDJGkvbDaIJnh2R6AwMNQuztZpyj5zZkpcs320FSplTIbc98dFTc1sZ7FrYwhOnuaKL50p3TNq9 I1WBVcNkgd y11qs2cpanohheWrdxGnUEIE1h1xPprPmPf97sPLkP7nYxsW2cWHLIiLYGPQLlnR3PgQAtSyIThxcS4Wggv0KvPkX7BdRCsMmiDnwiIkXPT7DJ6zn7YJT9RAOOxD8d6IXgbwa8kzpUp1rutdntOSJGDZtnl05GYNKFzo8tLil vyL3kZhoNdYEOZt3IF647vLYafgyhCw2cVPff0VsrYYgGV4uQgAovDWzWwezpQVeNF5DVXVZROCmNB7KAeyuoMNZ3f1oElbi1tKjePs7xtHkXfYv3khkZ9ptEPgWoZquSyuLm6hQfXYFYjYtlr7G0Fuu5ZRtxai8DAbpRpzWm4nkGTbjUdYjCP743PPScl3vruMrEiVjWJJRYc49KLBtiXMhUn8axJ2uzO5b2zBWO9outx7wAqTFEd0NBGr6GRq6qRDwY48y1RqKY0SHQQZz5dkOeZeMCkrYGZ3bowwW9jGVpu71kwqsHjToTHxTQTfhaG09VzaDgWTLooq5c1IwEPaiEI4sV7RtjJaiHFAQvYD9sbEa9 TrzI2D