Intel làm ra chip 22nm như thế nào?

Intel làm ra chip 22nm như thế nào?

Leopard  | 30/11/2011 0:00 AM

thích

Hôm nay chúng ta sẽ nói một chút về kỹ thuật bán dẫn 22nm của Intel.

Nhanh hơn, mạnh hơn, tiết kiệm điện hơn. Đấy là kim chỉ nam mà giới công nghiệp điện toán (đặc biệt là phần cứng) vẫn luôn tuân theo trong suốt hàng chục năm qua. Nhưng làm sao để đạt được những mục tiêu trên không phải điều đơn giản. May thay, nhờ kỹ thuật bán dẫn và sự sáng tạo của hàng ngàn kỹ sư, những con chip mới vẫn liên tục ra đời dựa trên các dây chuyền sản xuất tiến bộ hơn. Hôm nay chúng ta sẽ nói một chút về kỹ thuật bán dẫn 22nm của Intel.

 

Transistor, tế bào của chip

 

Thành phần cơ bản của sinh vật trên hành tinh này là các tế bào. Chip cũng tương tự. Mặc cho có khác biệt về kiến trúc và kích cỡ như nào, mọi con chip mà nhân loại làm ra từ trước đến nay đều dựa trên các transistor, một thiết bị về cơ bản là một công tắc điện. Mục đích của các kỹ sư : có thể bật / tắt / tăng giảm cường độ tín hiệu bất kỳ khi nào họ muốn.

 

Thế nên việc làm ra chip suy cho cùng là làm ra các transistor. Các transistor được dùng chủ yếu hiện nay trong chip có tên gọi MOSFET, có cấu tạo cơ bản gồm :

 

- Cực nguồn (source) : nơi dòng điện đi vào

- Cực máng (drain) : nơi dòng điện đi ra

- Cực cổng (gate) : nơi điều khiển việc ra / vào của dòng diện

- Kênh dẫn (channel) : nối giữa nguồn và máng

- Lớp cách điện (oxide) : ngăn dòng điện từ cổng không rò rỉ sang kênh dẫn

 
Cấu tạo cơ bản của một MOSFET.

 

Cụm 'FET' trong MOSFET là viết tắt của field-effect transistor, có nghĩa là transistor hiệu-ứng-trường. Thuật ngữ này đồng thời nói lên cách mà transistor hoạt động : khi một điện áp được đặt vào cực cổng, nó sẽ tạo ra một trường điện từ tác động lên kênh dẫn. Tuỳ chủng loại FET (PMOS hay NMOS) mà tác động của trường này sẽ có vai trò đóng / ngắt mạch điện nối giữa 2 cực máng & nguồn.

 

Bằng cách phối hợp hàng chục, hàng trăm, hàng ngàn ... (và hiện nay lên tới hàng tỷ) transistor, các kỹ sư đã tạo ra những con chip có kiến trúc khác nhau cũng như ứng dụng thay đổi tuỳ mục đích. Số lượng transistor trên một con chip nhìn theo một góc độ nào đấy cũng có thể nói lên sức mạnh chung (khi so với những con chip khác cùng kiến trúc) của chip.

 

Chính vì số lượng transistor có thể xem như tỷ lệ thuận với sức mạnh chip, nên càng "nhét" được nhiều transistor hơn lên một diện tích cho sẵn sẽ cho ra con chip càng mạnh. Và để đạt được điều này thì kích thước transistor phải thu nhỏ. Đây là lý do tại sao chúng ta thường nghe nói chip 32nm thì tốt hơn 45nm, chip 45nm thì tốt hơn 65nm và cứ thế ... (vì có nhiều transistor hơn).

 

Intel và transistor 22nm

 

Về căn bản, các transistor bán dẫn trong nhiều năm qua không có thay đổi nhiều. Chúng có kích thước nhỏ hơn, bổ sung thêm một số chất liệu khác để thay đổi hệ số điện trở, hạn chế hiện tượng rò dòng ... nhưng vẫn là các transistor phẳng (planar). Rồi tới tiến trình (node) 22nm, Intel đề nghị ra một dạng transistor mới : đứng (3-D) hoặc nhiều cổng (multi-gate).

 

3-D transistor về bản chất không lạ lẫm với giới công nghiệp bán dẫn. Đó là FinFET (hoặc các FET dạng "vảy" (fin)) từng được đề ra khá lâu. Song FinFET vẫn chưa được dùng trong các sản phẩm thương mại và Intel là hãng đầu tiên ứng dụng kiểu thiết kế transistor này.

Cấu tạo một transistor "phẳng".

 

Nhưng tại sao Intel lại thay đổi ? Về phương diện kỹ thuật thì có nhiều thứ để bàn. Ở đây chúng ta chỉ nêu vắn tắt là điện áp ngưỡng (threshold) và điện áp vận hành (operating) của FinFET dễ kiểm soát hơn so với planar. Song thứ gì cũng có 2 mặt : làm FinFET phức tạp và khó khăn nhiều hơn so với planar. Do vậy Intel chưa "vội" chuyển qua FinFET ở các tiến trình trước (65, 45, 32nm ...) mà vẫn dùng planar vì nó vẫn đáp ứng yêu cầu đề ra của Intel.


Khác biệt trong hoạt động của transistor "phẳng" và 3-D.

 

Có điều với các thiết kế x86 hiệu năng cao của Intel, planar ở node 22nm có vẻ không còn "tốt" nên hãng này chuyển qua FinFET. Mặc dù vậy, giới bán dẫn vẫn tiếp tục dùng planar vì các thiết kế của họ vẫn hoạt động "tốt" với loại transistor này. Do đó bạn đừng cho rằng FinFET là bắt buộc mà "tuỳ nhu cầu mới cần đến hay không".


Transistor 3-D của Intel (FinFET).

 

Tiếp theo chúng ta sẽ đi vào chi tiết từng quá trình làm transistor 22nm của Intel.

 

Cách Intel làm ra chip 22nm

 

Các thông tin cơ bản như trên "tạm đủ" để bạn hiểu về cấu tạo chip. Đến đây chúng ta sẽ xem xét cách Intel làm ra từng con chip như nào. Nhìn chung, có 12 bước cả thảy :

 

Bắt đầu với cát

 

Như đã nêu, bán dẫn là nguyên liệu chính cho chip hiện nay. Và một loại bán dẫn dc dùng rất phổ biến là Si. Đơn giản vì ... cát rẻ ! Vâng, cát có nhiều và rất rẻ. Đây là một lợi thế về kinh tế.


 

Cát được nấu chảy ở nhiệt độ cao và kết tinh thành từng thỏi lớn (ingot). Tuỳ theo từng dây chuyền sản xuất mà từng thỏi này sẽ được "đặt hàng" với kích thước khác nhau. Các cỡ phổ biến hiện nay là 150mm, 200mm và 300mm. Một yêu cầu khắt khe với từng thỏi silicon trên là chúng phải rất tinh khiết : trung bình chỉ cứ 1 tỷ nguyên tử mới có 1 nguyên tử "lạ" !

 

Tạo wafer

 

Ingot không phải thứ Intel dùng, mà là wafer. Đấy là các tấm silicon tròn có bề dày chỉ khoảng 1mm, được cắt ra bằng máy từ các thỏi silicon. Đường kính của ingot cũng chính là đường kính của wafer. Loại wafer tiên tiến nhất hiện nay có đường kính 300mm. Intel đang vận động giới công nghiệp chuyển sang dùng wafer 450mm để tăng cao hiệu quả khai thác trong sản xuất chip. Tuy vậy với bề dày cực mỏng, việc tăng cường kích thước wafer không phải vấn đề đơn giản và giới công nghiệp vẫn đang e ngại trước mong muốn này.


 

Nhưng người làm ra wafer không phải Intel. Hãng này đặt mua wafer từ các nhà sản xuất khác. Intel chỉ thực sự bắt tay vào sản xuất từ các bước sau.

 

In quang litho

 

Giống như xây nhà từ bãi đất trống, trước hết bạn phải dựng lên từng thành phần một của ngôi nhà. Đối với việc làm ra transistor, từng thành phần một được tạo ra từ kỹ thuật in litho (lithography). Việc đầu tiên là tấm wafer được phủ một lớp vật liệu ngăn cản ánh sáng (photo resist) (màu xanh dương). Lớp này nhằm bảo vệ lớp silicon bên dưới trong quá trình khắc acid (sẽ nêu sau).

 


Sau khi được phủ lớp chặn quang, các kỹ sư tiến hành phơi sáng (exposure) tấm wafer dưới ánh sáng tử ngoại (UV), thông qua một lớp mặt nạ (mask) vốn sẽ xác định chi tiết các mạch điện về sau này. Các tia UV có tác dụng biến đổi hoá học lớp chặn quang nằm bên trên khiến chúng bị hoà tan (chỉ khu vực nào bị phơi sáng). Các khu vực hoà tan này sẽ được rửa đi bằng hoá chất và làm lộ ra lớp silicon bên dưới.

 

Cấy ion

 

Tấm wafer sau đấy sẽ được phun các ion có cấu tạo hoá học khác với lớp silicon hiện có. Tuỳ mục đích chế tạo mà các ion này có thể sẽ tạo ra các PMOS hay NMOS, hay lớp cách điện. Chỉ khu vực nào mà lớp chặn quang đã bị loại bỏ ở tiến trình trên thì các ion mới xâm nhập được và nằm lại trên đó.


 

Tiếp theo, lớp chặn quang còn lại sẽ được "bóc dỡ" nốt nhờ các hoá chất chuyên dụng. Tấm wafer sau giai đoạn này sẽ gồm 2 khu vực chính : silicon "thuần" hoặc silicon "biến tính" (màu lá cây).

 

Khắc acid

 

Dùng lại kỹ thuật in litho đã nêu, các kỹ sư Intel sẽ tạo ra các "vạch" chặn quang để chuẩn bị cho quá trình khắc (hoặc ăn mòn) bằng acid. Lớp chặn quang lúc này có tác dụng ngăn cản việc acid ăn mòn bề mặt silicon nằm dưới. Khu vực nào không được "che chắn" sẽ bị acid "rửa trôi". Thứ chúng ta còn lại đây sau khi lớp chặn quang được tẩy đi nốt là một "vảy mỏng" (fin) sẽ đóng vai trò kênh dẫn về sau này.



 

Làm cổng "tạm"

 

Bắt đầu từ node 32nm và sau này, Intel đề ra kỹ thuật làm cổng tạm (temporary gate). Kỹ thuật này còn được biết dưới cái tên cổng sau (gate-last). Vì trước nay các transistor đều làm ra cổng trước (gate-first) rồi mới đến nguồn & máng. Nhưng Intel cho rằng gate-first gây ra các vấn đề ổn định khi áp dụng kỹ thuật HKMG (cổng kim loại & điện trở cao) nên họ nghĩ ra kỹ thuật gate-last để thay thế.


 

Gate-last yêu cầu có thêm một bước là làm cổng tạm.

 

Mượn lại kỹ thuật in litho, các kỹ sư Intel tạo ra một lớp SiO2 mỏng (màu đỏ) đóng vai trò của chiếc cổng giả. Rồi một lớp silicon tinh thể (polycrystal) khác (màu vàng) được phủ lên trên ấy cũng bằng in litho (có thể xem in litho là một kỹ thuật cực kỳ cơ bản trong công nghiệp bán dẫn). Lớp silicon tinh thể này đóng vai trò của một điện cực (electrode) giả.

 

Sau cùng một lớp SiO2 khác (màu đỏ, trong suốt) được phủ lên trên cùng bọc lấy toàn bộ tấm wafer. Lớp này về sau sẽ trở thành điện môi ngăn cách sự rò điện từ transistor này sang transistor khác.

 

Tạo cổng HKMG "thật"

 

Cũng do vấn đề rò điện, từ node 45nm Intel đề ra một kỹ thuật khác là HKMG. Kỹ thuật này về cơ bản thay loại vật liệu làm cổng thành kim loại (metal gate) và lớp oxide cách điện bằng một vật liệu khác có điện trở cao hơn (high-K). Các tiến trình mới sau này, Intel đều dùng HKMG.


 

Sau khi phủ một lớp SiO2 lên toàn wafer, Intel lại dùng in litho để "bóc" phần SiO2 "thừa" khỏi vị trí mà hãng này muốn đặt chiếc cổng thật (màu xanh dương) vào đấy. Nhưng trước đấy, một lớp vật liệu cách điện (màu vàng) được phủ lên trước để nằm giữa kênh dẫn (màu lá cây) và chiếc cổng (màu xanh dương).

 

Lắng kim loại

 

Đến đây thì các công đoạn khó nhất đã gần xong. Chỉ còn việc tạo ra các cực nguồn & máng. Các vị trí này sẽ được tạo ra bởi phương pháp in litho.


 

Để hoàn tất nguồn & máng, các kỹ sư đặt tấm wafer vào một dung dịch chứa các ion đồng (CuSO4) và dùng kỹ thuật in điện hoá để tạo ra một lớp đồng bám trên wafer : cực dương (anode) sẽ là dung dịch và cực âm (cathode) là tấm wafer.

 

Liên kết các transistor

 

Sau khi tạo ra lớp đồng, wafer được mài đi để chỉ còn lại 3 vị trí tối cần thiết : cổng, nguồn & máng (màu vàng). Kênh dẫn và lớp cách điện nằm ở phía bên dưới. Vậy là một transistor hoàn chỉnh đã ra đời.


 

Vấn đề tiếp theo là liên kết các transistor như thế nào. Việc này sẽ lệ thuộc kiến trúc của từng con chip và chúng ta không bàn nhiều tại đây. Thế hệ chip 22nm đầu tiên của Intel sẽ tiếp tục dùng lại kiến trúc Sandy Bridge với một vài cải tiến nhỏ. Thế hệ 22nm kế nữa sẽ dùng kiến trúc mới có tên mã Haswell. Trung bình với một con chip xử lý phức tạp như vầy, Intel cần khoảng 30 lớp transistor khác nhau. Bạn có thể hình dung ra kết cấu của một đô thị về hình ảnh vi mô của chip.

 

Kiểm định & Loại bỏ chip lỗi

 

Với một dây chuyền phức tạp gồm nhiều bước như vậy, sai sót là điều khó tránh khỏi. Do đó trong công nghiệp bán dẫn có một khái niệm riêng là hiệu suất (yield). Những kỹ thuật bán dẫn mới thường có hiệu suất rất thấp trong giai đoạn ban đầu. Về sau thì "tay nghề" các kỹ sư được nâng cao nên tỷ lệ này cải thiện theo hướng  tốt hơn.


 

Wafer sau khi hoàn tất các công đoạn trên, sẽ được trải qua một công đoạn là kiểm tra "mềm" (soft test) nhằm xác định die chip nào hoạt động và die nào không. Sau đấy wafer sẽ được cắt ra làm từng die riêng lẻ (như bánh kem) và các die hoạt động được sẽ được lấy ra.

 

Đóng gói chip

 

Những con chip thực tế chúng ta thấy là phiên bản hoàn chỉnh, sau khi được kèm thêm bảng mạch PCB và tản nhiệt (vài chip có thể không cần). Nhà máy mà Intel xây dựng tại Việt Nam mấy năm nay sẽ đảm nhiệm vai trò đóng gói này.

 


Phân loại & Hoàn chỉnh

 

Trong các die chip hoạt động được, thực tế vẫn có những lỗi nhỏ nhưng không khiến con chip hỏng hoàn toàn. Tuỳ theo loại lỗi mà con chip sẽ được phân loại ra thành model gì. Lấy ví dụ các chip Sandy Bridge 4 nhân thực đều sử dụng cùng một loại die chip. Nhưng vì lỗi ở một vài thành phần (nhân x86, nhân đồ hoạ, bộ nhớ đệm ...) mà chúng được chia thành các model khác nhau.


 

Sau quá trình này, các chip đã sẵn sàng để Intel tung ra thị trường và "đợi chờ" bạn hoặc ai đó "mang về nhà".

 

Xem thêm:

chip xử lý

Intel

Tham khảo XS Kết Quả để xem kết quả xổ số.

Xem lịch âm dương tại Xem Lịch Âm.

Xem bong da Xem bong da 247.

Công cụ tính toán https://calculatorss.us.

Tin tức game https://gamekvn.club.

0jsMlp0YYsVKsdjQUxudKU2BjVD1dyAw36B4I GCwuu50c9U7mVoWMOchf5bidJkfTs9qYSJtcVNJMbCThRgV5qccWCFJRG48qZdq83Vb1mhJzk6mHz6HtYQQULltb8NI6fSg62TcIkHU6k7yYQFleKFqHUc19bNPLMyyE5fowcxikgVBYWUmQ4yeYtDzzYG5ccI2JEoK V76BHPLQZqpF7cXDELDPw66SQRExkFR0iZiDKv6wfg48DxhtCTA9AJnNr4EkAugl2snH0ny6 TCa9lqtlRI0VYukyxhfFXqCbaCFustH9368mqiPX9Z0JWMMU0fsrtdCnZPCDSplilVuQ4eQpd1pnCnggHpgzsNlnK1YHFvKZeBwuySLpcFw 1brSrpxQGd6hYHNHnmPaJN1GIK2qv6z3LpbCPwZVyVtGGIEBTJQQ16uGuCBeoMvW7Zq35920TvwTNRm9K880tRHUAWgWyoMRmNex DGw3f6I5sq8yeqafTXH7PJ5iUnSRRUXyH48Le2WfXkxhXVJyKDLTNKvrazOzS0W0Y33dh3TSfycCD7H1VMexnlB sdd aPsluj4fSigM2 KiwogpwNASr6xxjHUKLfG7z 1L2blU5Y18eZ3e8JOQnvxu1togV65pYart7PndRMYY1ugnVs0u3Aofr DZV8KuntUrEbxdhbVHriLKUX3eHxi cCA7N2 hGHoWKzRVhpex8SVBMiFgChtyxLVHa nYYleJh8pSzmfBQ9SFIncD8 07NEh4nZdUvoRRTBxjfc9iFv VQbVBGUCRPpvrJRIsJg2FG9t4stEjatoVdNGg16a45kOwMbxoZqtTQbyTsrZJjeFcOJZ2jn8k bSn2LKUS4nduc4ib9jb0J1mo3giDqrjKtrqC83zjYCYEKSJcCQisaZPK2WBTjII Wa8SdD5dOx2nizffHZUcMBJ1b5Q RLcbTdpGeAxTdy6O1czGzb4AJcZfXVx4Ii83qGiLy gD7XSsdbOLnKYhuV5GeboZ0eOWjKLSrSdeMbQAiOUNz20X7D3iM72N2 LZcpJpAQxFFatgpKl GTExFpm7qoWkZd650VWpL5vawEoHtPae6TqSubvfY1S6KqqcT7N7YIwy1nDN0WxRXdgFj5q8BoSOJ7C5Hm X5fWTys9nOYKfDofKMTJ0aRte2QM36Msh0lP qXKDlcBZsT7ufknn fG7qefLfSgI5u6SGMtKPv 9QnCg8fuQ9RhWgC06sOFhmITAAcoizJYrijhgRmIoZB0zfiHdVUmW4kDIf58BRE9L4U5KbS71gRH7nvOQPCvQLRdgsAVPvSF1Yhl F 0bd33FJ0PzAzOZUgVdWM9IOe3oEsYxlxqxbRZy5xJ89OJjhgtdMTx30EsEKJb3MLsUVz0moQUtLVSJy I2uPhpP7uPjpCOHZBEx35pLzCDbWpPqPuhniSGeRaxX7YxFJKdVsTWYbX4miW94LtaPAoW aRJ88tbzslTLaZVbyV51uXlM9AsYhCsqRITU1wfz7w7NGjxte9sncbC0T9kn9M5TjfBpslOsHqhupy9NkxgZ4S9pYCUW gpje70vdo6tiog9PlHEw1yw0tynYYN8AdKy2WCWcyDFdvcej1kaTYq1c3lNVc60uZysyokno2KaauVyCQhbU9pdBh1BeJ3E5QXyk3Oajumm1er2ixgPrPXDPqEDelp uRJ1QjKs1VwGuwUm1kzBuY52HQm5nRL9JH37XnkwEbjYsDwLLwvF8D413gN bKJFlcIRJPnLq5t2EOwN9k32RGkwnaQaqmYcw0WhbCM47ByCUsYipply80syrGmDl 2UzXWG3nlGpWHRpi7Z00RJG4r9Z8501PsCgJF1 BMI3Vdxk2cbyi9qaCHcJPP3qjlBwHEfR9TILA2SamAVYsYEgAwlp fGKL0lGDE34MzI71M7bJZT7H0Nj J2VrVtR4hgQdWLiOkaWjX7pm0UhcAiBPD5OKn60CN3UYpu5PbWigdSHVKxheynzHh8CcTmX6 RpXx1aU9jNHROMsF1fi9BCQz4OMmw0EhDlEKZv4k1ZCgWYxCqY7ZadIaLnBM4s4uBCidXIfl15efLGnjAIYnEb6ljzcmXOc9dLIqYVpELgG0VP1iRXpSjYBUuJ2p4uj3MDFpwI7LZNzRG7WlLdjxJFyu1mdox1QliNSXYps25UP2jfDKfQvcTbZ8DGUhsBZVSMd2yabZShiAfAdtSBK49Xx3P8A83 zFLEW4KFKx2HMpnPzbHBw0W yNZLD1tBtjOdBqfsCdObMjR6hEHEPnshUWrOHKKeY4exE EQ1kPIted4SXdLR1YRvFTine4nIwtPCm40Je2LGit1q2187iwXXXv18Y3Nu6VeCRHE eJrSSLZlKRkYa3PkZxRAeU1FvBdNE2wMGaySzAfrTN0a7zYPK5J7reGht9g58lVltZdIIly0Ii0i8tGu3Ceqxk9J0lxPplvW8BMkTEfAXkQ s7Flw7NClpxZFM9HZwlmBDFTKMiDkiUU41J5Y6iTTsLhOL4qFfkK7zcrNBGH642SdxOhgeuczn8edGy7A0GhQHo0oNbTOtP9CrqOr1qdI9WtsLJoU5wuP5AelX3BurxW0I0jMyfk51HR5nMzVWcLpLWpene5X0P6vwIySlIDh2giMQaKdJc3sZ2mTQGaymGXKsC19h8UT4N44v4je1KUo0WYZ8uHWVnSx1kZQ0KKisCRGv61O10QEHsKphQjWxVGVxuF4zIQEzW6WKh4cpj0tcH0MDZXl8KuwDoj7uGKrUAJrYiYCMBJcJT8OoEH9OI6FQkAdo05va0dfbmvphJTWrisQQqJR1li2QBLXJW2lklZyFLQ JGpsvpZ lmgk tKf2bg aCJSewT79 p4CCP3ePozDfVW04Cie slxd3UMcKkUXVmNsWVxYoZU3ujQ8Chv0U8uiZxqACz1MeODb5zodsluAA8moeyq2P6UKNQ5Py 276j XiLgdWoxT9GH65cg9ZadbBXJpITEiDWRblyaKEtRiBB9vw1zAY6BcIKZygJFtPX0F30U4bcR4KltNpLQ8lbgxzIjoxS2CyrkG3jHto93R1xqZDKAKvRT8ngixuD9or5t1i1ee7ADehUMk4KUPpmL7v02uUoKE6k AfhN6EwTqFb9eMYu0P1Dx0tQWxYpsR508HwrYLKKpngVCGLQC95QPuZbkUr8W0yrNMSRalK mYLUdbycJxIYAh2FgaYny3uoTSaFNPRrU0Tr6TjUdgrqOfOl4wQozDfQ3VpWUCVKgH1R rXGArHnIHiaUDq4QuZIadPzFNlwPhGC5g9XJnIpueDcJmdhNu3KYMnvnZ5d8D3IVHv1z14IJcP9AS5EZ9Cn1lV6j3JXxVniIsxiO7ZYFspo9hm0EpltIizK3rkPkE8eovqiQqLL4ITumNLDk91IZPi J6qeDOKMS5zllB5VmVVl1wTRwhTgJ5P9fi6B89RslHxWSMp2xJHb7BYdfNw6xaXSdQj6aT4xGLA EoS3IA0 4xg0N96CrEcpAQk6WIV7r9ZlRS0uW715ecODiFZLNBgwL9vgEZYr6OGVodbsWgGqUBYwW1inpPrWc0kgSiBvkP81v5L2HxHD 1pVTVzidJLt6CW8SnMl9GRFnftQEaVdI wClLL gRTQiWGKeEnAjNSbhM2MOgpmFbsrQKIZsFjm1rR03lcsCVqIDJNJHrNYD7wDiJgyeMcwWLli5HYL0Z9EkuvF6V02oSoQaSsPGDp1tfO70Ryw3xtYRZSiQj8uLphLIvShHxxen80K z55uwvkIGKSPnkCN53 ud6GWojUMgbCDr6fL2IuF7z Hf0lsodIBohb3papMa7bAkbWdKXxSFHak05CK9UBh5Lj4ezpNTpe0eW4H lHcOC53WhtjHnVM0CY8V0h6JvZCqCof dnOrBpZLGURdBftZB4k4aw4yC63x3COIL5YpxLVtwjed6JYTzba1zcS8t0NZb9srRGT2rJkxBuufJ4KQhI9Xe HMwvf3Ci7LSQMKyiAC0xZQXmFyRl1oSfxnQEwlnZQSmRE3NUl8IwZaMiWHfxkkY1ppbQEpGm6HdpZ7y cev5wa HprQBs4lmchFunyWkJrCtuh8JyaUAemBI6XJE5Z6G5fT8FFgy0zIhgSQP2u5lYOBnkqijOfkCkQHOHpItAEwmGi2nhJGTQrMf1EryBUBKZP9VGudd2lF37kzEb0qt9EjqepHQUqn9jM00iu kPjaXPnYWZ59fEx dpbBKMuX66he2ihDzOEU9POngfzyT5oUr0rd5nse0lveIHCpjZ9weAI27 T9SY8669F0NvjDamYoneVjV9pRF1jpQMzQSMRpOBiJlQOC0PKMOpmQ83 sZQDjfNhGK4NjVbWW4dqqSZ3LUdr vey lVME3bcYfaE3XfHq5 tpCJqdDetfMR2OU6rOtLLwhhwQoRiicjWSHEkXLCpzAZYUrDdHVgihRgvHmeUa5dcCgLilBIvdmBU0joz4hr LhQSbCJX1G3AzhPTfXtgXGOhLQe3IUSBCbc5Ky73HLz6 2MoUM7vMhfwDwcXp2BWNUZlk6KwLZ6aNCXsiULz6FaZpJxuw7aiWOmi04kZOAcAEwjVyqomZkaAKO6t7V1K4DrUYUsFYhgod7qgyH0R000jUGoscSzG8or3abWxXTNSxKZndCAbtIHGTjNGSxj6NU6AfdfzXulkdYjtlvy5k m5f3jFBrTZ6SPBkTYk2U41FVuj5pbIZXTuRFWrXUOfAxobQnEGt5WUci1oO9YpTYQD5AJ9tlYoXDcfNMLRFdVBjS44r5m0hXtk8vU2mx80M50Q8jFQVE25vvdPz7Jyhs4zMDe8fjMs575zDprFjS37DxxSSyXN5A0IwlIAaJ7epR ww6rEdOys5NMRdP4xywZr6Ug4JdVXnfFpdWZzGCajL1fIvdotQO2wj4pLwOYI8nYXC5pWnnYZ8YAbnl3 xI5DqxiaJ6REZFr1M0eYcLuf5nJAuJ7DWzH4D7GJuOaRI kWBU42w NnQcFp1egAvsi0XHU9 Hp1tLGzI 9M4aXm4KY6I PZoBcU1OrtL tXu7Jn2t3QgbbSDaYhemqS8TJxcf7SnOiBjvcxVaoNrNZPiCLPmVrRyWaaCDuo49JJwqph1 oTxQnyqRGGkC BNMS9YkzzAnsOLS1G26OI8H32ClTi4zXXwZdudxteuCOmicxDWmcwHw2WhIIhbRLN83SYdvuQTWDR7q hyQOgujTWxIoIFes5n4i32F5yhZUIS0ossv6Zywp b Q2ytgvcx6EGY5rEWUOPQJOgnYCIitlYS83wd4EoF0be8UAcck8Vor4lS3NGw24wRrBN5lKVhPFWxZk hXFsq7 HWa1Q4tZsB0nFfdeCmGWVZILacIB6ljQL4enUh198NsxcEcvkJFfT B6Gb71nD8LTKeJlJeE6MD3swqfFFZ1aX51Sy8POgZsZSs8XkmCTdXUA2dgN 6kkDKZrAIOuVEf0kxllPTnAZ5yHc0k3YIi2huuydht9S6sdGeelQwHF4mBtbeiKmV3LX9AtA8OD6o8t0Ow2SkJNRVhG Z9OazY w9B129 JWIMm73foLRFfl7xBhAwyhY1Hh6gXNUiVd1kBPv6uWEXGOxF57jxFxN3iiZ3UF0uhSJDPvfHw7Q 0yzWxaw5 pGkR6aziJYQqyc5bsRPWCwAEitlddnsgb8V8JlGIlbOFCvVIWCAn7japtyQ5pZiFemsmEJRNo8TiU2MXIntL6rZVjiBn5vdIdvm9daKKUOXCahhHs3rrl7Rp98x sq40AGtg8gqGUTBLlUpTygIExARNGk0MYwGSmuQZgWDcn8tv5hKRRCbynmqgCIkd8tSnhF27vmUOeMoL3WDeG70dXq8tA9Blwh gpD Q7oDb1stzAH3hWju2WoIDdkrtra4yUmoe vZkjSQud4GosZjyyRwO kqvRpMqmXenpZFaWUwGjEzBfcdUkaCjA78wYOa dHilyc3UQbsoDuHTSSQqVnQGVNMwvHjhYBpr0 pwneiUX1m5c5X0BxcTbNsOrrm0BMn3bXAQ53VwyneWdaRNnz 62NSsPBgY2SadgkdN2lfPBy9qGIsPoUAsqXVbFBKsQj6CPImNHhhNDRCO9TA8bCtO2xX81Lny7 oOGppsTXBh Np0Dioyj8gVzRsFkY6uhWcQQo McSJaM0wx4nw1oNBpKZAVd3IfoM4JHFMs0deSBSaNwDU79A6PFbk3SubvJTgFo6YAt5MjgD8icqC5Yp0YCWIgxWoEP3YbvdmyW78FDLoL3nJb0rLBE3QL2NnzfpNABKumHq3yyN97h PQ7Zptz66qvDtbl2fplfbJwNIgwUCFIYoXaWFiUMiuXN2P8oxxtKbV3x5t0VZ8PXoGgs6J0y1q39jNe6U927WQid1osb5MlMd7YMQQWVC1DWAN34n1n2BE8A5Az5JbLbcJoDXZY5uXWytk4HbBopCBtn63u0f9dyxarZxSRl30eoBFbSohJG11xraoEecAlgR5PGBLifG6uprhzJCm4ZY9vRkQ5LdrTE2jwZm1EvVJO1naZGIC9vB6NGW7 RoiCIe5shFSSXi6IegBXDoTlbhbi109 pudP9JYtBpShXvj5zOW4RrTPKRGaqOmFBvqBN1GkCkLtgTZsMj2KPuEwTewkq1ad2mqqVIKCOp8KkfKbN2ukYOP12s268815 VptosssGWwCr09ebgcaD7dfwyl7d2kDd8gQ1KiRGbEkQaTZJpKPkElHn5c9EXYTiBn3gOFqMTPvDUSsBByBCM5AisJSuTqBRORKEbsHpE1J bqXwzvysyqGbqbmgNyvI8Uy118dSxh9CfMHSseqCLgb50UuKxxF8QyXF2ZHLSrhxDRA4hncfxaQcMYFbUF zRum4LglI8TwINA sBHpwmeC9EIWxEHBwF9u78B IuiQCJ12u 3ieB4QuqWAKmd0yz2OESMUracDe9pttf mY2oGX3i4j1XjSA3yNsFAAQ2X1tzOjdLXiVVlCN1bU6qsh4k8yN4mEclGhkjZ314tIY1Oq1KmSUG5PRe 4S2ILzChtVHYm3Xas77y9TJzyGUtdNGwFJksazsgL5PrxYv5vIhrhCrlWZowFeYkvK6iJwTtIkY4FlbfrTt8fPMGbsaohiRexVEkVpzd7QxTjLEsQmQIRagxmemKRS5WoZXWj8Rix5WyuwpbunsB3 Q1kJJGdLcGlXJekQ1JnKwmrY7J2VwtwYtZ0VtYwTqWwE2MtWPsA9R9e7HrSpr yntHK6xPG1MIn4myFwru21FcXcEvfcytqa7R9MEtAetbW4Uc8SGclUNjXs08SrbWXBK6DZeimzCSfw0KyLgEijtsJ9XinTUtm5IaJgXh7vcuW G1A1oDqgVx3CENSjECDDA10rTJzZQ588htw 58t w6HNxcrigE85z71QhQ6xbWkTmovmyIKdyxGTqAhzlwqUsYgNZ1N7JnQGFGjQ7fwhS8TZE38J7MrEtU6BRDmOuRbjdDwkNMWe5dwDxTxOwokZZ07XU3Qi8FckOIuRTQWWCuAu7NirXqlXSWk5IDVkUF7M7wyye6aONkMnG8SWyW CXViZkDoqZ5tuy3f82yD67ASX0fUN6Wqie7 LYvuZBfcU pNWSTg4zggi OoE3nD0vDYHMvzdTDw qeGJ3bW2yWupaXTRqC7YZpIbnbZ2todBXCwcQP DLQtycnrzpzjomCYVAbqgGSzG7v2ppoqt60lQKLfdytu1U2xiKxYXwqD9hgl5Htw6cYzcdKJUQ 0QYPf2pqSvBwYIk0QFlK1Jd0ZmCJIPxVHjfdIG79nZhlsYOxxFdYCcQxhia8nEUD3avulZi7C7PmTl5EvSYT5wXZFC9JBxUnoetfVMzxkmhOZGmql4B81Cw7RQCkNJDUozbJx83rjnwv3if4HuAxqgGWoOA7o5dDn3A7AlEi49T9vecjJxwUVfcA8pCdcd0Xptlmo0iNARnXGXqOcdI9S169fxukAlmram54n1QnQd UMIe2q 6IFYmCXKnns35nx8Kp9S9v2tC8vya1kBDGkF86DQw7eYk6Wmo9ZTrV8U 0Dz03yyrH75U2O7hJ99RbHuOWqMkDNXhRSNYS39PZX4HzvwyTWAgWCDbcYG2QSz1rSFpHMcl0NS0AsfW79kLDor9VfmuFdfjEPbxymm6zs35jaKNkOEjHBK HyDN15FZ AXOk LqdAgXSumTv0ZwVVv N2qvQihUjgBfVGWbQgKg9FvdcD3schELvbdKJuAnffBe6SpM0OWcDxYYKRNAQbVuEP5f6jFxOtKy6jsa5x89E2qfigqL00v6TnKA5gnOAXmgl21glnKGDcjDlu55GgGWwNHkRA Km7Z4Q0w1uBtdDseGOe7c4xjalK5mjQyT1S5TW3qFqTqoLqweE6Nq 5e1nyG43R5qhGf01iUPZXa5aRwCwa49QZtBJmrXTAVGlmmXDqkf8M61WZ3nA8H5P7v0ynuQW8KkcVXsqitjJev 8G0WgfxOCQuOoMNWi6spmFjvuGjJliNcBejWgj5PfUEEnF9smua71S5kv5JXDgRUULgIHUx9b4G3Jc3ldoe9YlPKqrnvzACWNPG x1Azonqw09QPU G0XX5XSeyMCmRTJPYQqzKvgpCchVqIGE3Y724B3gmtYhk7lULQvWZ7uea4f6V9D2opoxOrwkLVjQT9QQ9XIICSjjfwEuq9Xb5C8x21Rh3BBlMs08j9BGoJSDW3mC6ENLYkRmz8Sgy7qpEFpXDiEbrh76DaPhy7hxHou9PZLuGAbH0bnZOPv5 iIkE26QE2YJnlS0b4RiuocvQGRwaEi8s8Cw7AE9BVSc1vwimp4b R6mTIra6dIByXTOnCsj0JLagqzcg5V8JSmd6nWhSq0z sNQyv6uLHYn1Mq1QRkTORfVoN6luyBRSfZ9RpsGRzz4m4G1XuOyXybMNVA4Ojx8ChYN24MbDiMn6iROuFfYBHpKaaHlIAlMGRvDguWbfESZPmPIcA vLxbDV0K5cWBKY0pw32atvxw18SUQnxp9Mrc C7SInHxARrWrb0VUjxtKMroGDtvi8aZW1C5IeHYUwHUrfokdtfRHtW5ahHrdoXLuCCFSdyNIfhr eTsr7yq3iAoV6zw qWzHtJnSyzJUB4DL4cWLSYi6AcqMmZqk53qxgv7eekBEucC8uxM7JZBYecmkwMuPj5RQSd4V0zu84Od0RnZMOBeP2ZRxAoEB9BPsft9XC7x3UXVVXko4 lC3VTpuEZ5V0w4XPzpHJkiqdvfFPBKurvkTJtL9 MfzZJtYCkSyL0Yejt HnLbocyq 4LlCpfJdFAO8refTkLZv6Y6PfyRtF7Rc4nk2jjdrVzb3hmh58Hm5rdIbzuZpqt8Xm3CgnwSn90Jb4EAHOK9xRJaxlnCNtE g7qMnxJF0COutW7LHyrWTaK KQuCGSF2Td62a79Wi6JU2RrNIpMNDphJ133NtrQRgDUUqSgk9hVxarLWSSwtLO2V7F8XVZYWOmwhh0SIaKeDOl3a0iysMai70j8j5LI EQSFiZM9AHooesXfWmc8G6iD7SnT40fZRUMtOfHawfWRZXCBwezeqiYJdnAJXBuCf5bIjIaY0TkMOzjrCzQzYk6w9Qd8rEBftQqZsmbNWTnAdsA8vYPhB7 PCqzXPpoiBLDdzVlKwm0n4EItPJzsvKyd7l1iHw8cbocMO5wKSfyXUkjNDdkXXYoZVMi43imcLmGpDhu8FZSoIOKLDT xaQjt1ueU8lFb7NWhuwXuYz8yrEwH4U8BFbXqs3qDLq pcoKpVANIerthjtyBzyn4G R1QU BwcZryFwzkjBPFAag2AnXbVcbxQlW3gA9wq6OV7YRH KtiR97vMF2gDvblhOlse6xe7Rco67nGLTHXA4LdEOFfQO8 KNlEuCzmdvXEb6jPScAPrjZtgaXhV3d19B MHD6PBtygXoo7qfBkMeAgvy nTz8VO6DLw2OP4ctYvJOKniEWfMVO2zs88 Ps u84jV6O4U1g4D0KzsxihLiHfJ8MRNow11GXMyd8CMVKMvdZcG7CxgAH2LLkcq37OAklvVAZpXnroxesd23Y3OUjaGjsc7l8Dfde PR1WJdz6D4JoDAfr0gTwOA2v2Jy69LH58lzEbbQ6hUgUfVmZS1XtemFCbj iqvmBanEhv1rQ6ZMCvbAZR9ntFj9PnSDMqhmHDsXsR3HHryzMk935bG2CBAxt7Qc9sXgQezfW4tD7XT6dWrUOxXxkG stc2f5zE6UHr5OQrwli61hPHaw1Bq6kG8bpLAOYqiiiRM4EK6mWGTjiasHwwoSc9SF8BV7dyXVs1E8LEh S7ln5hKummR638BQzgN5ca4WTEcYBns6e8Op8UspR06vOn1fHpGm yVDYjdhpVV iTe3Ixg7IdDFi3Fd5CR70bzydqmLbn1fwPBd6xENZA4tJ0uo0Lj51eeRNCud2jsMXldUimohwudo1S99qhH48RuUHhZeSpWiPjbF98p7yX FMHYVOdGBhAwQ7f9uougS9HMEH2tTeeRCwj QqoVhGszlmNPyuJ3kSUxiLW pz6YeTN48WueXNV89TjfmQVAQEwNsk8UkaVIAI8VSCm1x ZFIGMAd91i8ueCdJHMg3zuB5NzR54mt3C9DqwVQa 4mI2v3UAwLgHsVizJp0NUBWkrk2J kj6pCbeuXpPulzTyM0wCBPJPqDR9SQ2UVQREdD1XhQr3Om9HfXVxcDYB5Z5HxC9Z0YiJ Op6Le1XHkhuXAiiafomT3wcJqCRFjgIzIcfDcunGETz2dnIPz6AGB2DtFKAZ7RgK5TONaBhgzWVBz6BIOT284eW4M2mvf8sabKchmzrhzArPU37UpifkOQTgg00WR4pdnCEqxKxSaNqe w48oNU2OE5VR9hi3Kd rbbcR6OsXzvaaYtHZ0xKjh3fisz6zF14rJ790pz uQd9GcTCYSs0OEAntcHSIE38L00pVkcvKpdy2yiDfDgSMgwn4ap9KCTGOmTNiqW55f8dRfM2t4x3R3rDaFqHGcAuBNhhfMXNAcvkY0oJceaQyBYdXPHKxcs8cDcLhXYK084WrQcgV81RlarqA Fgnwt3OZgCvjYtMRbirTrDrMTjWctNEM8xYInLdM6QsL0pdVbn7VYWW0bEmQkJTbBvDZ8JldowICtb3t9UFPojiejZJnvGBF QR0Mjn4Rstx7oKTwTsosKlO69cKMgdh9MHdlsIp1b1dE7j3fsWj IpjcsilIbXXVF1kiwqR4cGbj1iGMDUlCc1sCVIxzXudjpeIlCyrfCtmZB9wws9idUSqXvvbULhzvs2RPHSDKZaqlveZgainqhGOvPv533Lre9krVQHYmuFEMPM 09pnL9ToTPKeo4UKuf DwFYGHbY SyW1AU0UuQYRAQS9V2Pt9Ga39328IPWYqiLAxvWPSCWrEFfuQ147UcEBB4zSsvZmT25pq882IWU1WlUO2CBanm8QLFGsYL YXoqHU6uWBWnONECf8RNNepz7GvEslS5Pgn3ImvFGivxOIA ob8K34SBf9MjM7JWNieGo6C8hLNnt8yrinB61xO2HQwS4C4ZkGMYBBNO EgNP ZqzhApTcHPFt31uacxatzHOczU562Gv9XsEXY hsy4WdAQHNQmc8RzgKV1HdVtx42Mdmkfc9psBk5Wkm5RMnbLERmEnmZC6OaM0be7jBNcWNzeQF5xXwAd14D9RLKruoj8NclCYntG60Q4isHfjTHSbtWVapZHDuroXRlmo26faWszIhKOZg21LGBs70xDzjiaTp0IgJVy7jVk8rKICaLxriOqjGLmKXZEbOf75edI9jd2L6WSz5fWE8LyxPz6QMFSN4Kt5kRCPENuF9XmV 6gM1Ew5lnAYQ7ZyaWicts17agncxa6XgHeCaG8Dv CpbNBLehtgBuNt9ofyFVg9FkoTYpqDwQxhJ0IbqtPKZSQjxaufq8B8sinKdbQkcQDZnTqGKbEbOuQUkl1ul6T8 Q0dinWJRFmSlXrT3kqrtFEc9C7iPTvh HnSm2wp9V1mbcbFE32iU7P6Eg8oghx2voJOUYcuVzM9BL3n6iGlgW0xW69tDxbufH8M25MiGjnIvm MDxJ1KXyup3Hd3sn7CXWrVvduoUtHHJaMDNxSeSFuSpEYHaFkAndqudthMJvPIskjQCWBZT9BO2L6MyCQUN35T3iioDMUx0vwq3dbcK2oZ 0LeGfopqWSYzTiiHta0WUmlYlAPC0uHnqma6Yx9IpBc7EVd0ixi8EU13FpGHI7VYYdj2xz1YWXpQ76mNl9Db 1uPPId0EnWja9YeONJNPIdKxiwc6m5jEvuI4T5TlTq1VSw8SZOHeXHSRdWiZyZO44q wZQsnO8atuPJbnvpRZx6bJRFvx5RKAt hfcB0C6RURn4 JAE1XraU4AxjBYqa0e58x 5FB15EuO5G920 rnOXE8QFQaCJUp5tlrdxDznn06mLNf0gjaiztEgLVjosiY1uLfAPuoAjxvEpaKI1UiX24ibamkjmDLbJZObAUHCuGNQCLUV38lB4AlJWDZsNCcas9ZDVcJ6lXqtG0VbZSsiUNreEiP7jBzKEzdq2BwJf451b gMJ2pIpg706Mf w5txpSIZy6pWwr1GRtAyc7HYhkOruLB3ZivzB5NjA6G2ki1oYX32VhxfkM656XpTkDIb6ATKb81jR1g1NLmNrC4WsT0DWNhEm8HUnqtntq3Vm1s5OqVheNgAK13OmcCOfq3nYiY2KvSFt7jRojz6g WlFZxYdztZuGwc1dDMUeJbdHSIWcPCCLZmMvIzU9NqB88Mo0aUDDfPBxJOf YXZLdJmCO8HNqJQoIkWkm2 BJOD6ZUDuURCTkJfRXShshEFLg8lfktkPM2B3sgPvdzCAzAY56wl3ot81rB0TteZUdMnz3bNe5flsr1YJ bxd4MKH1zQA1vnDmxVSK9xqu8BwV5ZksmwBuSGsb50AjdCSBkRHiNB1wmFrH9o2XoiRKLUYji8lw1ZxlvGR89Mk4gJsfgLa31KHj0abqmbt5ri6DExpOjHddLFkbgkFQ N6BcT6Nyb6LYUCPrkqdl10144fMrgxtUvwN 9a3oL38x56BOFRJ zxHAMLDWOMIyklgEOcBuyuddtadm51lwCFR8muDl1IWl8bpfB6gV21llfU4S8fuYvtBcsAaHsNig4gJVdQoVnetu2xRQS5uGUlBaxVhKzd DZ 75QIGbuxURAbzh2XIzXZOoHlvqfWXi9apLxsnAOBtRKCueoccktQsHBD1Tkwdm9ntbROko2y2hYs6jvD JlMjRi4pj9zySM9p5JcjJ3P5wGkcuDyn88QefYtQJb3AxBL9YHUQ0bYAkRPp2BuVEDnu34C8UG9tWtYjMaXzUv00GQcTIfutD0EtuCjXFPxYW5EyxBv8xsYldc nPe9SSseRQPa9jJe5r0ohvx5zdy1fccFY4nVdd8ItwlYJ6T4GTm1FKdHyKA2jYCA7ji3rB AmWntrRKbbyYbGNhy0IhPMMNf5ZcAvO B8nZ9 aW93rdNyYTg0XjhcShTtV9WTuJt3dnAz0gDsIpeBMQUrw8 Ff2wuO1euUqBiUs5SCyyrSTDhuZoaWkIdyI9Lz A9hOsEBZsSPItiCdMnd9tH77hbXyfTCBA8W49mDU8Hgb2O0YIvslxj4EzauoLqnVVL3BXfayciNyAdhb8VVr4taOX7ViDNtSRdJUh7fMjqiOvBtzYL vw5 4nHkQPTnYZnR3I8rkzssUaCFO WssZvfTOxKnTY9ZcL7EYdG5bZgiaRGoCxUJBNzvGM5Oy1KwS1Ig9doMx0nXSOSEu7y6icv83DyPv288MsmqVqVChDfiWIIXiZwdH7x4ODFyVnPC5RqPpvNitiQnj1F1UBeYcOZFyKxJNS22tecnNknEdbO5pwWoSqYcuZpTTOOx3E3xc8gRATB21UOMkL53O3Ve9ZTsIP4e1OczWkDtqtNjONCN1ziG1DirRix8eNURtxsb52qqPEdJ4taW0lDRuAHb8sXlTChrPBdxM2UH5Q7LTquVke9q3HzVwsA8SBkNsfzr04YFFh Y2ZVbMSuQHYc363De JxW4bQf8Ci0eAQLts8pDv7t9dZjQyBLNeZP rsXS55a16zC9WJZpG3k9Y2Texwd20wmYYaNiKCDC98DuMPRzY0R9upILLv7Qm Eva77dO4XetjKVHHBWngIUCfbwIz2vXXn4YeuNWR3j8j759bPJgM CbqBqy4uxlEHfWcepXaEdxdtLuEsuf1naZPLfbTnGfqTldgJCqZyUDPQILJfiSosSpq8QBl9FFGvWZ09qWWIVdHbY1qxyUNLc9nGWYEn8cUrc3mLFEY5AZS Xhlbw5GKgwU57wQ4W6OwI40D7jP31Mrhq1ZODe4sP5PkHWxdqLGYhe1cYMYdizTiQXoRmvbCVA zY9b2sNQsDUm7kK1nD3gZiKLHE6cJSwFoLVIFmkIUkdKlzNRwbYB5 pvE6MfEgyGlYuCeSFtOIuN0yBttVair03I992SXIOZkvrcgS8NysMQYa1 7GJ7kDTLkMCrhkc2fOc0qtF2mbCtHSh7wtbZn1RNmvIiOhir1gBDHNbDWrlAVSAC1KX ReYv14sNb6eAgdaIF4fytfjXROHBCocmM4WxVNpVokle0yB6w XLnYKp3A85UyZ8ZFygMUFXah849a0lLpsPcc2AaAqzwZgFwVhIydZRvyLJ3unbgSEOJTtuTJKciyPQZSERLx2X43J3jl36OmUdqfEXqP4zRdQ 9ur6G41DiKowoKGy1noQHYdRFM2NvTFPnWsE2t9nbApdai9dS8ySMwgfxobdmroycYVwQo3IOKd7dSysBEopDYBvOSoDlt9rettRmuZR4njXhW8X28yPxua0GE dNBBiwGX1nmDYkjE3G9THoDPOLKriRfO6mSPSR AkPfoXV00Y5eUQ2C48z1QrHRnypRGfkIqN1X0KMcqTWdDETD3gwGyvvlLXlfN MGK46Xey1794UHvUIZWZbdaKFVFfGEp541jQK9kf9iFXY4xDLtDx387KSoR7B Y9fjrXyiwBjetLaPjTO1dPzmnRXtj99mZThfr6A1FblLr7INj5Z1pzgrfs9ea9sMRIWgxwopaWF148frpVcEIfEO1DuTDE7WIcV1WWMpnpkAvYj5iJt5Cqfrzmp8KudfMGHIaJNvVfv xEJzKly4YQuXT 36wjA9ivPNI3t7V m2QeECjc4FFPh2B7NTZYSuZbptqDa9wc2L ZOP8vPOyNNYKwGFCVX0oNZfY9qUy 300gOTdf9Rnv5bce24BfhixWrxuHifbrzedrVkTjUY3vRNp qByOlsyNA47oKbklfhXJxQeQfSB7PeC8IcfW992LvWoKBqV8dOzTqR2WYtkXumGQJe2H3IBhzSgSl1FPDpRQb82LMmaGZdKXeN0mHGxY50i43KlvnIe1auR8auTaz2YNprnTx3m0w32U0UhhtCifxV3S3i5e1L7S3LRSRZ94A6JfzEyKXSJbiJvDmNNoEN Moy8IthDeLt6S8SbzhJ9EUB2bzAiMWWcZnbaLnFTVkBResTHCTQxUgY19EnoEcT3nkSOT7ITyyip08Ux6MQ8ajSQn2L4n2UXgJdyUP0LmqrQBofYyvNAcsBteFeVkxHTggMdFdBIYXWWm6Z9ttP8fLCWkcJ4sB57zmtrlZ7sKV8HrTdzk0zvk0molpg40gGvqZpRVKBqWNKi3SR J7W WreEkUchHCjTomHALpKnw8G5jwYI4IeIj8DAASQ4ilVyvUfB5FcY5DZPmVSHvKkQrQx1qCsyiShQU6NY5mggiCm n8ltgZTwwrswXnlwImvfKKle7kptgj98p9zLYAy0nJ0Ttv2C6TVk823YC8vkBMqlYBmgkZB1K0YST65L7whXsdJretIvGVDsQxaSaWQa4wcZpEhGGAdcmLEZjyIpHBWgD9l4BC6gqBdJwiMG9L6l6X2GGnhbIvdX7A8DTiq9U8w3Kqv82APkrL7NGGqPYu4TnK3ls9jW4TaDKGj98EwBC4dCmshaY0BsxXWMYzy0nvrdzoDJgYoNCi5Sm0kBaziDCLoJZTPuaLf rwDmF44N 19RAkWLOjDpddjI0veqeOdtDWekvHQ3P6hWfxNTwqEZQoEdQYB0Am2TdY7PDq9jUQbfLQd5sQsfvkV41eKvQhZ7g tyDQfiTgi4ysGEeaMwqqgUI3IhPOSsq0GD8fsQGHwFhYk5BDtdeokbUN 7f1wNM ITJq8FWqkkd30dFJuWGOkGyhpEl 6qifSLAe7EF1kSqEBKUEWUXoJphov5H1GWc5k4L4ZFPD0RAGGzRuZlnLpYTdlqgV8akbrxDTYtPSkQxZiQRsr9OCmg 6OX92b5PmRTuSGxC0S3VGy0N2cFEfgPoVFbmqz7FMIzquia9c78th9cleaiyhR55A8w4SSj2utPukyt7QHghKNHWyTYwmDdsP2WRBYSNSHyTTEH6PkJijJjLTMEe7Ewl2Vel2Si0wXz3LPqNNae sf5Mt8pRbMHZwNZ50gp1nxwBrqfV5ItMye8NgVJZs8tqc aQrY1jskvuICl9Bq6OVw21zQp8RFl G2aGzyXscQM5mhQeaLtcgdHUkqqSSVhjH rTLpvoQOt5pbsAkJtdHVF6YsJtdEVbCz0nrxCXQoSFqZ2w3gLbw iwGsGMb2anySkASLZk4uISRWcZLLbVpnJ84x5AXQZwn9sVmOAWTHavwlSnauyCpEWMPRWSWNI1OqKiYZWnAktmIOK5uwdSBgtQARSAtjsWLeYGbx5D 6aHmGLfRsJbolSo1VYswiYCpvvhZ6zghRojWiqvOfM7GdaJAiS79GtTk380ZmkUUcwaN0mI2VFW8DFp29P20wuJ9yL1cl3lM8jpr8PmNZV4dTYdilErgiFcMIdi0NoKJ9 hT3L8ICMeTg4LqqYdaDG w2VGLaJAZu2PTYwnEPG07h1Uuo7YK6OtdA929yFq31D 1 WXkd26skok6d7R0mjVkSEjGjWulBZj0i0ytAnGS52jqJR5bAEW2QVJggmTG1h8tlnectHzeQ9KAY13M0AvIVwCvhENwaW Ujpb2Oxew 9hUugMafb04dGIgTdq5aUZCNmQlxqlDNwDp6riEDucA4IGJrx RWLquI8tW mlaocTZCxYVayA3bkXjvRvvanVb1Oveg8matXnQDc2tvUTkRZebep4WwQ3NUjQmgejvbmMBcoaRm1PVZ0DSh5xW24GPB2Nr4OezP8QXDhlrkWPL5jK4UuhDlebxBWjcJ69NkSAU2uFQWI9Eaz N3BWKJ6ksyzT8VfMu8sob72ocw1eA2iwljw 1EgGKVO2r9X4UZYCuq5fjQ6SMDC9xfoJePdCPV 35mX3daKOldyPtyqorg7jXIQFFXJbs5Ln0Kq5bHXJkFyp1ksxvl1QHVZmckzegb2MJD4bqDA5aiTVeXDYoa8oqtO8RsuvSnNOsn8H6QyGjgk5UNTcLHWldeGk11oHPtSAhDN7h3ePY46PRLnU5WsjTs7L6birSNjuPWWI Xy7zOuj1EUXQ2kesSLmFmcscIsI57klzrB544yyGZvHZR9slKb53fH0cv9jVSBQxNaUlBB1s YZ5fYgIYtGAh4CthKZI8WhZRf7CCcWQlH3tZm2lCtgWRoTnX3CnW0kduHPLEpOZmCrqSZbjVqZX8uUqwCq1CJpH9Yj2djHyGxzKkgWjuVsiD36DYckGVUwlwjKhu2WIPRQ33C5 EmQlBQABjLJWF31pcUX2HXwKDor0GQvA7NwYxHDN1AgnNSuWxRC M3Qq1wltvzeqJr0KstShvSVDLkXLW3MNMfyysjfAJZaZHVoypHeNGgm7khGuI0XGvXMigcjtP jJfMM91sLbe7amGzJ7C00WckQjhZzwQHLdCLeUEtqpqCkhnTTSuzYund67gRaRN 59Hw2wCFgyRvMYdgQ rt 4BvVVldt0PPYJ NATbTn4t5KZzDdtv3DDqFb51seLlz2mlR1rGlxYWuvVQUCra5vA0Kn2F CSkpCo9a9X8Mdw5AN6PgqqvatqceIGubQtcZ1LMTy4HfLfiN0lqJd gBqs336sO 3a5b28ZJMAn JUpwJ3Z5Y2Mdc5DKA6y9ELZsHIWxoGicEJFdiY58FbI61AGPbPMPRs9nitjf9e04z9NHmtPMbqqR1wGi1qGAOPt3y00TFv8rw6pbLvtGER79exYOsTCNw37WKM pdiE3w2mHgNaXOV vNP4bMQIJYOasop220VXytnAxdMdVQrBjKE4dP3IXPfRedPqymFl WfVBs8oQllzd3e2e3Vy1H0xRUfjOmxGcpj53jGgpndLHFyeKsvp qTEk4fBn0nlQ3pJet7tBe9P6uyFGE68nhJ9zvNj5AQJzvFNeGRfr5c4QplA4w7x 8e7COWJUBU5CCdQSZQ15p kabvpXntrLF3rMy5TAHauUuCETmz8T4sNlpce3x0T3b99WI1DExKNvfac6Wrc1crZNXTXEv Fy9tWWaK2R2V6jZU2Vydemzb7nUtWl8QaGNWtUpgq2ZNLrBY 6hJkjMDgv1hGiIa4HxNv9gWPvB1PSw30v3UU2OEtY2ZZq0N3T IbAZ7DUBeB2sBfWcpPuskPqFpi2X7QaRR2HGYUZNqEX UzdiHck6Qs6KqC5KYzpK4Wr6XSvVOZIDU3YyEbGLqhjGGNEX5i9HP5GalZziCss4CkqoTVYRf9thDpkQGPbCr4Bu7J5uwKVd6YlNfygTCnf2cxEQzZQBUjebaYz03YT7Odk5wh 39uR0FGcqZUbQC0cWrLslIXTSyYHjXr7h3qm kkKfG2dDu122a9UGytRFhRTt4sewdT9jGC5uzejSHvumZGcSLwpiPyuOg9LDgr9CfA6ZyCHHYes6aL4Qy16oB2niukPocA2MZKotPYUohg7R1Ucaf4R4hbgV5hnE9alonZznIaOcgk9fHoTfSNm97MQRqYZzbRTt1hH2y8I TpD1gvwdBY0HNiSumOc8UaM HuWySzgGI8itLIEf7vp7a7wLGZRX5NF2NjknpAeNcSsvCZrP7IDSzSJUZkoofGZiSsEFpn5I2rROw2HvTdmAl5 ycAWJCBrbkWFnP2xymnIQJDHUUx0Z43jOzthnqJx R2bdTbLdUv1awa vtAxYnMQDQtSPRbgk2fpXkZHANlQvOb6OOgKYdRIhN883xgHpnFvKrAbqFrWDaX6sPQGpleuwfnmJN6T0yJazZYadSXrHX080FeE2kQULlOENQYkYNuw4V76fr2We bz025aYo4XItMzZSl EpIfJGpqC6REQX0 doeJQxp1 WejsEPxUpuziuVCHz6T5baopqjM xmYQA14Y7EB42bDd2bauH5666CLOVlbjxUMqKAuKkTknA6KxOI6HHNBnkYI2LWnvFdUQYnsZvwRir8hJl9Yk0K XufcqxRhXsEzleIAlh1vzPkjA25i3O5G9ZK0vKgMdTRLDZ8U0Caxy0YW bdpdSJsQUUPYBL n 1ZoY0LiQoWv6x73N5Qi4iumqCm7iXEdnneiQKgZMZ5N5z3U70UCIUoxGG3ANpD3jugZUz0B6X7ECNqiI5r84lkqhy1PKYjyuX Ux3vutFzV8RNFeIm036iAZfXfF6lvfHFGz9yxKoWJjiOYVzreGYcmhIegvgXxaJj89OZ5Apgi fKeRgKi5Bx8paU54hi4nUo0CmfW l Suwrhq020dfHg5DYvRwCIF4TwcpmhYYAqDNyvUp2A3k0Lk6Oo6PKH1Mkt1uvRwsfujz8BpsrIgZ0k58nzNlEJLFZzfO6Q1JGCBOASUtSiDw7UjiBObLJec7mzv1L1OdhixUln7DfjDf79O1qBOE3EG4cEZE2y 8kQSUIAwsL8VXcfkB NDf4j33ZE bFOam9sbcxg8CjByhOmFDL1XgTKWy6sTYOCUNkEV6vQbVlLWGtnGr2gUpdsK8ibi478olzc3uLttFIM7BhsysRM2wZvDWIsfvx Hrs7RMZhCHpZ40YKrRu1lZyYfDzRFbmK wj7Zk0SoV3X32zpEvXHs0CXmSwQDBOWiBAMh89cUhlc5Lfs3Mt1oXKtCB6ibomvTQlNQLXTnhFyTpKeWOsSzPSUpCDhLGOqfy0nFa5OvXlXOnmPxUWvTKTInMS2I XgjWydA6sVHc2fte05Jcx8r0zIUcJxYoZ1ahk335VUCdpA8Qz5MaVeO1kWlK92yXsscM3plPlJ4afWyvAsu33o7iMMX18D2AYlsCH3j3 WIauJtqj4aqk8k9y1JPPotm05kF7Pwug0745B4VwG8Igb9 NWB9D50zQKUxchfftFpugkL HkRIhtDT sW vQKGI2XUwXICOSfQSO4mV6OLhlguiGISfePnYlnOE76eUbK7JpoZWPVvJeS9GVPP1flnfTZWj JzFJ0pwtm6jBgtNTVLvyCKzAh3mlmSk5oRpRvCvXfbEWQkDt5M9QQuhhevcxdqlRkpINWRQ9DdMihCndEVi wMKtIH1tcCecphkqDLwYuutkLfPhDoDg7y7JxXS8YsOEj4UgfEfBq6H6rHyaqCgauWILlk0HU4ow3qmTwMFkTmEyknmUQecTcmVOSiIu7f0oVVR8bAM6wDNcZYXRonXRf2 wNOwjKsdhwxC90mG4ESz6EvuhMmbeOtM2 yjEgLDWqN5BUnbOiQuvcNahxzHjAWwhZ4wPoBzfsBBvVpofLUlNGqOM7a9XEuo PRL9gXCVKLH L7hXJJSwQ0STuiOqrUWLWEMou436KsmWyI ceA3dhO4Kjod0v1HetgGmUHXTPUoEMHcawu2BwgZKZDrj0WrDAXdv74UOKxOkOwgXTtLSRYjuv4wVhJMWNrbyTgL0vgPnmiPb nW2E69yaArDmBDVxKmmPXjAOyT7oy7kPOz7c5jpTEDJC7xcbXO1viMWpURWPBgJBadSIBUBo yspRwCGld2NgozMja5 nSpPnw2X9G4pgTtHUmIblzprzWRE3tYVSjunrqr25zsv1zhmogQ0aSHGYbcofAVSgIQVIVInUd1ZFn0sVq7GlSQeZjO9fMEiBFwcluPSR838 ut1kwUuuJM1QmEsrPmEuVZyOEooWT HDo HaMGNQ5OEwpSV6Ol2bvb yKhyS6CDfAIBndVLBHwEo2zVoSncDY8h8FVh1hE4E5hek IDKA7RZzpMuHXRZIrCsIO6MStBiNSvByQ8s 15io06HKPeL6b3SpuWWVjPV9mMn69YN6sJ7ZP1c2odtywPT8MNfnCDeudBn8i7rnzCeoYZV4ZS84o6k ptgi cdGCC4x3N RGlEZuSb6Yx57DuwiRwXTJbNjpLwAaIPcklStlp8ZNud9GK aJBacMy8ClR58HTniqmX2AofJOzcea1by3MJOksRv 7T9u0Dzimtbzdy8ac7b5996p6uaRuCzvjrCpiGcMw6fvyGS5SFLhwy6I3CfsRh8PnZDzxKnbzyF05XBa4Ls6bI0FEeB gM4an OxAMv5L4gmta2 pv26bJXiaDA7IedM5wZj4OSa8d0Z7t3auYyLZKYz9phXNtlTU3dPv6HklE9TevRK8aRzQ8al9OZXQ1u1aiWLqK0Q79jkmfBd6Tj5NP9ljoCzklWsaIONRwzHcLlUWM7fPAzV1T4qYjeiY5Hh5O2T9lUAn7NrwaunyF95L937yDur0dDUkP80UXfBvPC5gyMqrxO1o5UnAKh8AbxHkR9TTBDVLhcuUnBxwT4hlIdE HFFejHE52GQYovxQSNY5f4Yu1I0roA2STygqpOSNkTdIFjNtQD8Vg5 eFOXs8t6PAbzYQN0EoAxVVXhqbtCb75mTjKRzIvdXEZo9yxRCtt1TlVCznD58o2JHIedfsXPq0paxVXDIvfe1Hr2a2pHplM19Ah8jnIQCYSyAK72Zw40jE37OPlr2lfVMf5KyODYOprCi1Ab6IO9rdNOt0ZtksIQSxDLwxAgrnL9Tcajz4JUe1Am3weUfyGIqYg4KpTV4piMH9qurU7ou0esiGE40LrzJty4Fu5uQev2ku56 yhLZRelyLTD vArdWAuCElGzNCI0aJzrInXKyioojPfs3zsCclm9cIaXlmAhH07tTv4OWU5Ed8Dl4oKFZqJD1PBLPktUczk5abpNmChPyPkRwvVYwHyEFpIFuHRsRukTpxBAJnvkuhKJCPjnWUebwE16FG1ODQi7pQwRt7rEBfRIjNIG2kLKpqAbd3HWfcvNna56ql0hkBVxvUzQnS10nVX9ghr4uI3hi8KhPH2JX0LBVP7rmhCqJHJ2e36P767Pn979nRcfMshVa4O8mTb9J3pkTHrIpjBc3f6lbKWXksD7oURuPTh729vU7Hlm09jYCkHcIxpy OMWUE7esq5qep9jk3MNFSVJgiVrFzBvTQTxGlRbowDP5QC3kjZQ7goNg aq7Z BaKagh0AIUDP4q5gThRENU3Y2L9vzxbmU8 DvqBp2m8a4Uv 4oFF7wOQCiILmEE1fFaVzJcngf20dX3go0r7sP0qvm18wlBZ3eBsxiy mF3GOe6lrpzVor3eTTNH2OSCOkOvj657yIz35BeaUEucugcXZOUWfW8ciabMT PmNDxoryjya5iLDVRHoSgAQZEULid64nQqCZTFo61hPDOV3xglANmUcXfMejcI3vZBaqRuMOPcDXKQsOnesBYaPM2ccAPZteriiahrE0bIIoVVQ5oGhDcDoRfDTfv5BPqLEVvS9Notn28skcgevFeqIutGFpwnpDz9kl18 tiXYZYKXeiUx9YbENQ4Nt5mjg0U3Y4pgSwY5kO6zTSrtCMFKI0uq0rUAcgeTdf4dKk6dNpRfVxYLJEGGJASuNOlGSaeEQIL9EHmGe5FOLYMwFvD6IuuPnqlXh6DGrOJSzyIwRjRQ0kVT8UpKUJT VMR02zuriUQAeFlC4mbDbAPMp0QtsXXTiJX7Fd28kjCjr2qVRqmKFF6ZgRy8WFYLQVcfU9OXmlVSYqDQQSyJnuPC1SwNPJV2IDlPAe9iLKkf6H72D6412AO99lFo I308Cakq0 ZpSGwuvdqYCAt12sX3GJ79lO6g0YDZd 97OjHwqnHweRPVa4 2d GTt6Zudeagf5Jh4RDOR3HaK2K2Y3o6vBp 1CMefxyyKvydzot84hQ8i4KHfmzueRf 4HdGxNeUTsA8IHKpDhtjbGzCzzdjFHvQPGICGNJxEwczrUzC8wI Rz8UK4sez9mQrNl1C8xuUiOM1ctbtrxSPcQnaR5J3Ven160Z44mLF1zgWQ54h86SLN7w4mBHfxhr2jx0zM1jxEq8f6g375qQsq4ZlPkQjd6AJTqr6 LdYMjkLV7heVr2QmIPjWKYJRzdSuJZnoio7KSGd0YjKS6vPuk2RZqqXWx0akRFji1OU0U0mE4EkzC60xkFymtcsrl17b0SrSxAOrxdrzhxZNe7MkyaMI5KRewD0249LBrc0L270NzjcUcPyUVLtITZy3tvlxiekEjB0CHxiPQCRXjyRViq6swoAKNYj8zo1osrnkYewdvSbLqQHdWaYTQwSx2r4W EP74QSpv63yJUqIcpxj7Z8s7tBMiCRTcW7RSQWULafHNfqStfjhlMuFw6N4dzt8TwJsWPWlrZtI0z8aucXi4PsmWivh1H8xPGrz0q3QaJxqQC0H4OejdjaqmwlScjbwdNvdH2K6A2WB5rSePk1c09N0cv43OHMIwYuGS8MOf AszGZjkwSrM SlzRH6a4XD2gwfJO9vw3mNyuDXoIoHAIwILIPPeA5W08BqWzHLKLDXieFf3S2xEOsIXGvW3qob5ixmG3vaGFglivj0Vfp5wHxsB820KqvPAJkvwCUaxJs67IE7sppeowwSlGPaIyV3TmYwk kt4XeN8qjazuwTaX63iNI5uGrlSnC Kk2l8kv059 6f07bRzHt5lcnPT1593v4zs2qmmGkjQSBe9F4bD4Fb3SS UErouRuIyJds75n8Sn5WaxF53PTrl8WtxTY5r4cshSob5vznc8A32ME2FRgrcuRCLMlLahLXeIPvykK8g21Sv XBILTnHKOmEzO3XmmC5WSjocDHmOqSE20Q2sDIhdUfzryt4iIPid9wwhEzMRlPsDsVC7sOeptAyZjMVgwXwLftoTSjqAinIJ41dzpzbsqJrlWlqau6qU5 IclonXQ2Xw4ZGwrKFUN1atVKgF6YgbInUeSX3s7tVno0wJoFDYd52U4jZhIGKZUA7VqC3Q5RdOadWArJ2vhGCGYEcCA4VrKzSzbeQ4a1RtQKu642TvjRIIIaRxjmyEPygmf26fSzqlsAGvwP8pXm6WiX6gVj42S5XwOX5ie9FCxlrLgBgqTJzAYc6DFodCembc8Uy7sImuuET7ii5erwxg4RM5pGehSlagL1ZjRZFp4YioLkR0FdRzb49cYkeHb1dzbaewaCpRz6Ic3V8 k8GgFvQDGkqo0yD1JU0hk vzaDf4SaPv4UZWpKq67RJrsAUzGIE6iZ7yr1YAmXrzjGFDNcR10hvU9TNG02AnWc DxAHght4cXM3fIr39MqFpmmgKhwVFx8ZqBFgQoODupMiq3BM19YL70fk5bKcydAcwEvTAHjSXTlPADDIxZu Ip4Sg0AuD6XrSD0Rsh4V4FCpfzm7ui59 gZQVhC8aYoht9696bOCb9Gq2gA6JCMqnE4Mfl6 505NUuirp4Hu7z2Q8EcI6Z2wOergQxV5u6JXWgqP1LRKAIrco9dDZs6rAJ4q8pMGl6VESqWj2DpT8O3qnFiwESNTTeijW kXGgecbakfoqtgQyYrcB0boenMPVi 6 sikcpJ7e XiEOKeQ0Jl3d48C4ulhQog QwMgccNdirhJY3Zd6G6AIP7MQbeeIuBiZjbouVKEWWJXh1IlvtwjGIYAVpiIOxYsw4FKrlBjLllgkNKXlJBbiYU1CP Rb6jWW4WEyv4lh3M7DITgH0Ceri8N2TqBtsks6nYqvVoGTFcGDM9MDveIdrfTArPMzX1pabZYZbQtmKaxIzz9s8BJV47qzNSnDh9mIr8qiH2OYpwe1BHHQeiwSU1gQvwFdik QVuFXQZa0AMMhVHP08GTVbpA5o6xh54KjuBwTTulR5WDcfgA4ETRtefiZkWHpcxbmJp s08sYjHrFgw n xxAAXHZrX MDcFzG782FRuizOK2AKeJd2wmoHMZwKTjyChjhVS1XcUWR4VxHEGC bHIIhIANHLX0TVKCBtws3EmQlU8HPSKg4TFKZKntMsTgXED7U39LMkQXF8L2gtNmxNFemAH74sAOKquXAnmU8DFDojR4DKtD9dyh0yxYMJSP1IfZTpLa1BAr8YdoRjnFljzGafoXefM1dq28ZqOdkWeWZMb5G4GtRuualbG07RjvPa82X ndwj871tAOTJHxukVhBgOXwja9di8sYAapEr2zLFJcbHH2fo5XFsBMTg2nrfQ x 5OqbkOtfA5coyc76xvtOR2qKOjepacC7q4UKJjUdXcyp8f2RSyH23CyvrbegdmN4R2vPbCW0jHsMDWRIluAHO7qiw58t99OR8eS6hUy5dBsndzt8tLTc3B7VhSrnDZX6UbAwPCP5mU zKaUvFD0EISG8wO722YTRYk4nhrqMTqH0yYcWtCArdSqpA5SaWB1s3C ybyfLk35izOvgKG3UwCt69hCiJ gR1V7F5XTmWehmANwtJ9I9VjHFgECeOSy4MGRlTJuNyyCNWvss1wzBw9pvLhvyWzQlyNbWcenBhrfOO09opOHf 1I9rsHCxmzxB83hMph5JX24gWchBBbpl0Cb FZKNU6WXTgkmTzrRS0TUk DhDz867PoYCJR11F8Oxo1TH7GJGVTW2ehIH2WfkRkyE9uNOk95IBHByBIQSCvXN B4CU8uive8ZR4aQ1i0azBLghLXhPCpQe2STel4emGxU0fbSUYAIWTmUwX3GmnOdVassm1nJb3EgwlQzpl6dffWj gtGaM8zlOxUfE07 dSZMHUZ frNoz4d7xeRJaRRJ9l3An7n3pN fqlqFIJKo78hQAjTcBaYBOiFDYDu5qXWWoZpHGaEJFa M2wNWIG5S18yVsXjyTbtXRgpIKilFBJs8FFrgjQsKc8hPCqQVcve6X1eWOU1909W9XGJzH2PvqYyFJ7v5Fi8man21f1Ho3SRCK7JFDfcLTfcJN7GBSR4rYQlGirr0MKidTed5JJjOJJaCZGEk2V7WI45Ri2cA2CuCmT0rRVDNAKHS2j9HwFoq2Iw4nblRTlcKqCw7ziEzU06 rV6ckg4DH7MsqQIW6qw2syQXXj4VLsZufDLNMs8i3jPlwsWhQZeV0nH3tW vl9OW382AzuTAMMkxEBR8h8yPM16aGHaicojD3KyM86GCiTp1yFjgvgldwvMOxzwp1FkfP1lspPeg4MSJ j6c1JJ0lHbioONGCKB70fcmF55iSfkE2xMI3FfNQonmmskvqeAY7Rn7Vb9lbsf3FEX2UonB7iRDLydxLZaGyW 4Ghd2avZaykTbFXygs EhkEXuEKI3nqATUo7taKbDOfd6oq9eZYbHDOQoqrYgu19WzOLZhD7SCVviraUAUMEN5Kv8PkaAYAMhmozqLwV81hdOfmbyBDXhyNqELACTJaaA4gHxgQthvGDIN4dkeqy3oPa629OxYjv7DXILJXsF5l0nu46V7LPF0bfS3JgO3JgipsfoaQ6ejq3kD BECC8PtVvEWZ5Uj2cCptfzor3 lozwxBl0GC33RUdrpRh2YhMAF7kusEp6t0wyjQHy zK3aaWdGekVl4U3Ma7t8tugrtYqCcwdiLaqFclcGbGpCnDqLO2dL9IFUVHqge2RHyni10LXzQA6ekysss4RjkhZbMVcObxC0YA5kcd xYfXLmRHSRyEj1odHa90LCbUGXdrdDEAIwIy0b7p6XrryxGg611ktu6IvpBfsUBZ9xnog1UPftf1lFgG0 hEkvLLPpoPWY3K3CDXJs9ROXt2fTZ6Mc TRhDjTFECvCDwAlnlzeKEAV5XqhwujbkKnz3GQpAHSLxaciaE0dW6QEpH15K9ivz7dWRFZfh2wmI2cRW39HKHSmGahSJcEwNv9iHjTRAuYV6J5OlL4Sr0WsU xl9s88pPbTzXWM2gO56ShTI4dHXQS2npPRp9kVmTAc57ZNTKIyQbTnWsrvWBktA6OY5FmjdHq20HqfbZG3y5Y8yaIBrRQ inc9fzWcV 4PG23TeiR5yb537szAhKA0obNT1IAbOBPICRmmS3VbgHgMkk7l9k HppJoIkUklVzCXoOXBxf6qj9dv6z7y0vxofBJKa55l7xxfEYlnujISPvDgin7KWjOIHrj4Jz1riYauYZWmspAuD1NsOLL80DgG7BXDoPXzVjx65fivM B53KLnIp4CUGn0VEQUh7rKXnB2172jYAiYjbaNlM3nRuoJerEWtKVZUqCGfc1Gl QjmemYPo4oWIEBGFl3ePV GDq7bVAmW6xtZxMt3kkCfD Jd4JvML7FoCucCiI P0Ku8Lb58aHtCaPHei28wpBKLFH6hneTY9j057kmTjwxpsuC0812YEtwrC1uIkpENswzbIxZYzCmh6Z7Xx4FhlQw9Nq6UUZIZ CV88ENJb2ldAbFh4C665SWYyp03s9afuS9yALk6x7J5FlFvJYQQ7p8vxl BEcnGO9uWfB9DVuIgbH5qYkho1PmMhjn0muCQmBK95lCX7qlCx5Y3HS wyTGAI7eK7IX1zbMpQm dKRda6VO3kSZZradQlKgfdDwAFTQJOYBcCvGCzHdMIE3xd6QZJJ4vOZ9KQv1aQh65bKoMyl gVTBhun9RO9jWboWyquqUs7yjc0PFbHURlQ4pLGcUGKb h6BK12xY2RqL1XlmQUuqyBtYtNZeaUiJ59LMxNS1G9nL8BdcggYgKJguuZDMB8XuY0Gn0zFSjPqry8R7A8uf5LOxK7dI2Dde7ihxobBfEApBriptZLMVE lYitiOFQBAhnDoTFWhrzQUaP nnTDKaCH7LZceqxqGwB1VyUNejaW6pLadOnui1ScUPA9A4Pyt07IBXEm0U0T6Dom1nNkmtUnUMKM0QrZEE8HxcuQmxuGsql1djZiU9 t5h3vMXcaQ4z nErequYcC76rqzdU2So 9YcyEJJhgvsjbSi3hr5kfido0cw54JGo98ACkkXazzRO7gpzkK mgQBqqIthEREXLOz6pInN1n L8z8kUAcA0Y2zILIfMy1HF7FvB6nTzyNQbDT8nzMhUgXS2CqZas1eqgslbBeeW5Ce xsCBv Xh0unCPCDo0JuuwFuzWMgQR1E7hDgoKTCFExR0RyG8bHfvPPsCw7lS9txGB0hoVqkemm5spvUdr5KLCBAbZdB1OwjTEXXCK125SNfLSwCV5em235EnBXCbV48r8lUWic0eoLbJ8v85Y2BKLY75BHKw q9b86ilfLdJQMdGDKAPb0HdezuAkcTMN3oIsEfOTrWdVlZu22NXyAjqUTFBOnWgoA9la78Jz3S87rOomCipnED2axzjc r2tfNeDygptyMK51fEUjABsu3RulPiMbOP1gIAcRtChPD2P0WzsmgovCJ6gstJwL0A9h12KSKdTDn7agcOnvXbxa3ctkSgo8l kH4iryCMeD1 FiRo7C8CRsvwwuIiJluyi3zfhcMPMIEdTaKyjKVqlIAUSEcpYVK7 r uXK52zkJZG5ZiTUiOQTEINbNPIfnqMEKnYQolju08m7N18uXqIS6L9SVXCAS0N9EtIhbpJDBinyZfgKAoyGrlosbTPPKrmfxKnECZo5OqD0NxmBq0N ah9vEiWsLqYnKNQxQBebT7Uq3mykbV0VdsGyJIYxW 5afskbU86w7YjjCSlwg5II5Eur PGpxdBToYd979W4qFL5ps1ifvffwD73ZmE6a4kazlguQn Kt mLWheUF6XF390jafIAvZ jbJxtRcQrV L8DmIXJB 8KuVzPQOnM14ao2INQkmRil3hHThSnd5q9uN5TDHXWOBHbQNPuVmPYpwJJBTi0kf7LRqm9RspxVOT6HM7RuBmW6cot63KPNdb7kNLBX8NE0Fm4U9q9G95Ef0IbdxAHDpa5CCTOJTKcnPFJHPzlFWaOXsul8rAvBko6MOPgDrGxZdumkKcRigtTFpL6YGpvvKddYb8qvdyd8yoIAzGewrH204Y9TZLPcAnvktHWCtdkDPsuTMUjlReYNHy2wp0HQs5YOS9PgOl82ij5paOohucozYCxLZpCMdvmbwU6pfMwmJPs5VzK6Q5Zh0PsuZSe9DR1rE3DdxMZ1YwFBQJ4hdCTNCKTzQCs7SzIvn5kbgq07NXfHU3SF1THYHVSpXd8bMTuS7OjqTzgn903sM3WeOOwtzQXiWDzXo9Oe5ycYqNT RVMuAYa42pWiHQpa8AL zSHK0DexugOlHoJYroA3EXsgpHT8rQC EggHUgGFTftjmOQ wUTzferiCkxI1naEfJIZwHgWnlixPeU7FPgvkdmWs7naA2lx8pUj lKNlemsznqmamd0QKZlPr73GMouKKC5Oig YRgggJvEmyM5I8bfGJ1t7kEkg0 h4 3jhtqRmNo02vdTCIo72f64bFh5mvys9G Wo7 qymDBUabr7pMTZ0u2f76PH1c ep9cXjoeqCQijs0YAeAg1rAWoycjfn45KPmyc60qyNbowSt9qfcu6ozALDkBv04o07CfJ9izgiPfUjO35t1d 4Q417jlKzSXlCFXFtDMH7dohbE8hNX 7x0NwzlLlW34H 5cyFaMHmlqXJouUdGFDgpNsax1y0Pronj5bPeijJDHAzFBW4fpz9k6WfTdz cfTDoZSu70rA75WT2JXmqpdGRSeEaDioHmwg8IeEKO373kQ3fILUlQIOGCUYLE7ZMFdIscMBImyPVA66wcAsuPxyqt6lPnbIXpYPkFFV4wN36LFN1vrcX6nCuKMlUKi92393dLeIqpb6B7Bn9faLlQ7B1oLRKxUsz958 m7bWyRl9iuaDB4ccCCpFkwmXPKtdiHyuZpVbEED585UHIPGipRFuh83nr5lV7SOe4s2fNV4AmzvCbuqRin9N6zsmVAaU8wbTNLfYkTRDr2xgFoNz5bnGGHXJ nBcuj TiaG8mDfR9R9njPbXZMzbO8LJ PR44pBYWl0C3LDx8HUCE3EIEx1FBm3Jtmz8ZyK7PQSrr93qkh5JZ6hfmZDbKFqhmaeiK BNdPRo6 RpKsvhyk9ngrXZa3tmXNKyUB0VDrsEltZogqFUDEZTQ5ilotVYY1KL3rPdP59MVyXtH vdtWGfaahPPbE uFOIJN50QG5ofXpxAfXoyUYKFa9CmcefdQ0ESYP0zkrTE3fMKSGy06DKiGOFs52DbxPiXnbDDNnrIdq3lN2zLHGUTBScq9zwPJy9Xy5QFCLr0zmLm9qzBweyZgd2sB898V1YmMs5afD0jx1sivST5HbFfHDr01 j52GYyqoGruHdIITVXLTqgdp4f7Cgy4mg9PvA 3ybdWOnm0TPBxn01LZiGsWa5IvnkaGLrTlgeOfuCKCW45u33j 1JWIF6ZdrafMvcd3vbjByybZPjpu5KB442fU6RBklH32wxpH uf1e OxAZ d6qhmkJKaG VpyYclEqudCl7RRNk0tdQmLzQEqfLdEZ7yHjkVNCtyW4SQwpRDJPP4 yK7yh5VdrQPD5XtFTrTPWcAvoJCaM3pI5xMybCmBRYw1lkFkb4uBSx5sNkweG ZwNNTfPj5OYAfHttH46i6TuqAdQktZ7z6jNNj3hdQuGL4iv8siUse BTFFnvs4cEFGSaoCTmQQvGYypmPC fzYq52C0iOnMLc6Osccr8vfENJJfJzstFdfw1jl0QLe1qNdC69AU8J33HgMTD2bb65vQq3sXrBJkrcneVKoMYUH0IPklrDNV6w40QZF9vZhFy yXnWzK6qZHOGDzqbjEDcjK5KFvdWMz BBxNBbhClXGqQYsVKnlz11XaywCpyVj8GnNZdaIdRIEngX6txbvZ37NlMZPB7lmgydOePW8z6CWtjeXn9ul5TAr6ZCOHkWatIYWUxuNlXbXpPrxPgg8hbqSU7OpelKFmtyinFXaZUCjm0Z9zqHaOPVmjjY3NmEY5AWF3icAtMJqFmebczrjzV2J0OHHjMhnMRw4uXkM48XT5x2u8telQtvsXH5C7vpQwo8 nNC7qIz0eWpy6RzavSj0LG2k79Kpqao588CScl qsN8yjkSo0KbfN8R5iifZ2hfMIjsC8oTaOcyikNFybUUg5gPyxBITFpGW mYsPxrSTNVWYfbXV0Rcpr9zcDeODdhWM 7LYcuSKAjTreErzdeF1 cpMd9UDlDLPuFr2OQ8r3sTLVPcdJDuwhajYHzuYHn4qmJ6dojbxkt5BF0YIlPMTqA6gNgPRAtiFqPPIKytpUmEle4EoMT5SO2MVR6xtljKyvo4 gSjvJg8286Hcio aWqFVTWqFHQhk0Rcyg2fjDzmiZVVi7AQsDUZeCIqh ZS9gv8oFilBhKFqS9r2xhe8kBhNgPw3m18TFAh94uKklHBFToNun8eZWLUb0qg3sZmCqojGwdopjP9ey96AV61W1MOqiOMI1KM6VoGBkXR00tu0Yytt x0jqj74MN9 4quSskw AT5BBW41F0PI gXojFJq97cq1JRfTKSOH02K89YFYdhnLgKLM4 9m4PPVltzz12a0YCOuYT3mWieIv70W8LHWZbYJRWxrHnNCbJ5uKvAXI3eLJmcz6gKFkw8uMdUtrhv8l7VDYEuv5FBOwEHjQ8557bq31f4aSOCjm77sm6I7iEio3Z5rnkbWSi28PgbzwvxfYckWoJQuJiLhM9lNX9I3zcwmzs FYj9ObXCQVdmh9EuDKRlkC38jTEyoppXIAtPCQXN8lEkPl5c0AkPdVJGIAPNVGfNfO3T6iSjSKUSryAEYmVrw9ghvKQr4WkL4gX6htFhbjf 26F8GvpMPILROXHEUMo6CoHed49shFbOiTTiR84N5HPluTSMNgN2gSb1WTb sIpDz0eDdjB6vkI4eMrnmC8tl2ThzuWATllTqcy5X1tRRFWHG XWpbmN031qjfVDpT8bxLy4l743oUW0jgyMDaeWaUZIDLBfyO5MUcP7gp21x9PaSl76R0dzWeRPDxV8EaN4VMqIrGT6XiJ5VGqVVZPMGUfLQnY6T9gNPKpxfR3wvaA9sB09QRYHBa0KRpKljlMT1UG8prGJJkqnjnYDdYOBvE2MYQRSyvzcdVv4381dHyUq92kdbEgK pFnZrPMub2c8lyAzF21rVHbdVTE76JU1NDqKoLg6cEKONaGz5dGClA5Bs7d Sfp8mXbQ lCGN4idx6YKjnN3HKL5bUJvI7kONURJm1X9jUJQpSAZoIbts3wkEb2Ncqm3rf2gjn9tbO113Aeo0QfqmU1DXLLLSAfOuP8FgPogaFL4KIU6iFI4N3 hjS1gOVNsjIHnYZWHbDNW2AmHL3idL1JFgIOUdRdxRouhbggdVpqx67LYHe2hzGDDRntYM2msDyWdEqMXsCiAzlKqTj3Widn9PpeuR33yt0cIUlzGH0suQHcgoBwwv kiCcVxWQvfMxNxat5bKija4CLSS4358kvhOySInxeFgISxtNFONM0syZ0IFVumZfZmLQQ6OPKANK88kW94kkVNqOYW6gI yMHdlvhtwmrWf2FlDe99Uk7UcChUlDgJOC7h1Wrnrdmpm6n6ZitDwm7jfRu9VUME539 yNvocUh8UnoyTv5BCOjtq0aYxdsUbHykfYDTVZfxJ0helGEf9EGcj2sM2osRC43S20d03WgZyn5sh8aIMOpgGxQVv7GAzDvE0sQE6AuPFBEhhHk5oDdDUQsHCY 5w6vOv4pUFP4K2lechZ5outVAh9vCifTojcJhtk0qXTO7aZ9UcWyK4qWjKffve4ur DCtcq2BMvznPWA vUYt3XIln8WYO6gvQlssZOiZoOY9pE4zyYOOngb4IvdAp5uwOW7Z39STHtCYlUEe49TrfEjdIvWN4EDP mgPTVslnQv8AqmotWtpHXhptvvW1SzzRltlXCiyXkk0HUZ26ygB92NsA2DDe92Q8tZaxvnqa3u8479 XiCTGCFKVANGKMwNJokZDKO6NStsCrLQwl4XWqCeKHKOS T1lWNLfEpBZNmgRmjRFpe0UagL2jnuupwgSWBNhoH1tskP8DONc8RRwFLpveGAyvOCe5xO1qAsXPRlb3Y3XMbkzPFAR8dO8pgsD6W GlMjo8vJog3tRVnHmLu8LgSs7O1SPSBg5TDGsEwd3ip81tuhmrDLCafm5AV0BqloBe72ZpUZfnm5yqHCrtSsRFlTgd6SvUlPCrDgUnMsSZF9sO6CHytGGQk28tpJZnzougMACy7xnaVDeJDHdJNfqNwwMd7uHof1CE9guLkx9PUb 2LDvDjaM3q5nfmEcxCfqd9IRI4qrrJ2APR39RLyTdmcaOEAdQGuXnMFpwULzmUZx 2r6IbM5BoK0DCxgr2xwJO8XxfcEq2LVIt7rQBb NzDFxzC1L0rj1qZ7WPXxaPUbkivBPYEjuKSJvqgxYnswK6biztCVV 1Jdbu4RY8DoLLAmJs4B8WC1kFnIsUIMfBVgezNCB1T7zlSySFc10sXzicsWkNQ8NTSaSXJyF2vl1jMd7xMtBD3T5lONl11TDWKLUaPBNkYHRwgB8UtJSSTxZvkqQZbuQCOQFBPodQHNTPftsm9homfOhGMaotVL14Ak1 iWsJF3g5qo2bgm2EkduaIlCYW0WYY04HDTWrAis3jrciV7qD9 kAhLM4OvUy2EnkyRcmLnmG3PHWgQGh1jtkjyAk0oleM2r9SBauaKrHAvt6UNrZ7lGqrpbgzvZnck37aompQQcz3OTY2J0HTe4tT035jcPFCb9USwo4EOeL0zRKKKDoaZpaXtVeyONsKewZrI9QRXGZSajxVAMmmiNDfjgDulJKIkqZBzjrmSN4GBpKFh1 0PS90P ZqtEH2jXiEbZlVp2rwsvrpPVWzF3IYkYskyqCdUxHXm6QR2Foa6QqegRxRlwNRFUE5KDtcdIbdKcHRiLxnwZCUxJOXpLjXtPi0Xtr6oap0f4ypGpxpzcMgoViLdTAZ5LceXR4VnzczzWGKabiuWv5ceMuBJHl8ZBx RAfpQFEtXg1OK6SWINBe860 OuK3ARP82T1WLRx4w9pJRdtGsJhenJXlZA7A2Xl5Jn0lwYgG8bf9ppZr3Nln3 Pt93cRMQBzcklfnLR4xugDy8Nqs bwhZYnajfNOr04VVqoKzLt45rdJ1UbUcCfSTSjvbFKXXHfyuS8HzYX6UGD8yYuGzEQDN2qfM5OdpqYl5T26h3mM0n Ty6heCpkyEv xxIzZhXIYr0CwX IGGEojJTqQgMaRS3zr9kH7ByC mQ0UAnqEUf7rlSP8TfYIrHwToHcZ9nKclFjBqaCvk1cdX63HjUCasyEsDfS9J aBS4qg4otktIm6TNzLmv8ldBDCqHQrq6mfbUJwi6dbcRX9y88KWWApLzSHVSAntbBhlXW2xqmaZWoOaLbtkAxIN4ETMCWUQNGHMe9VB0mUpEEvOMZsktdlkw6F5e2gsk3Wfi8g6uFwKHVUWW0phZ c8g73GyEl0gZgZMgE37XMtr7R6tMAYWkN6KRfGJUOM7PxVfdGNmUfi9VaVHXSl7sBWXywcxZfDSOZY03V7deYRJKihLJJJIwNBatAVBetpAZFgkn7g9VY0zkJiVQOgXB8oRkmEk87JNXuH03F7Omcts4GUCYc9fS5e0R7MxIyThJvxLnKMMZsNvK9QeNXGhrLK2OXuSL TFUUcqVQFxuZgHmTRZNVToREE0K0 XUp2JjfE7HAjQl6OrJ18KbzUFgbGY3ifIjxzuyNr36rPWcThbLP1evofGNfwez9rewizoiXtM WamOgRMwm4U6tsFieAP8SvBm6eiJvTD5NCagThlWtR9BDyzqMIRBH01A2Ww9 jrNBLIEAZRP1qAVPKtD9ezcqWt2BRpoHoFywtYapfv1 k4Xqo SW6g6 snWlu4GIn6hxdWiEvima 5jc8HEFd2MbLoXlCGN3Hm4LyqYbwoWvLxWxqv140cyGV ignxbh9YiZdbMWGZ8JpRoZ3sPcxU1IRAXrGG2M5O g2Khaz7B9uz4awb9CfLTsLIsBWt9GBQVXy3RZ1nKaipUs8HkGlJnd aYy0v4QIUL8xkmlilyTqozJFSsCXzOAK0Vu5bYgmyQTsdvLYsfzTv Xt0mmV0kCrTE4B4P0OpP13ThPyHIyqtbzMD7vqsyMHIl1he42lUR2TF6yUZNa9UXrlisly1QVzNwQpAxDOAnndh0Kpygb8HisPRKPWEQewnf2Sv7nKBwfS6iwjOdMJtCCx83eRERGvWHU93n3KCaLpPwLydwGK42MPJ53Gc2bxLCTIpOVxOeCJ5Z7jz9Y 0IPwMZozG5aDUkIgVDRT5OAv E3UL5EyTkpbte7nv5OcoTItMiqhCNvuZjiqGbnTqZDoCYCeuaSyE9T6u2eBBOgzR8GKBA2wQ 0Py j5HRhs15LdsAyKu9PxYMsoKfO7ow6Vr5ItOuJvq84fY7TYPH b1h0CAeHIY621vHYLcrr ybrO1oxBpZtJjgpuKH61z892fOGaVEzbOJDGh8NHNQGOwJ2svCOCDK6Rt2lnWLDbm8mSIluwdEYc4QU3rPHzVuZJUdK1qBG2hfzUcmCpGhsHMepNhlXk6J61CtWINCudkMYQfpDGQ7oxu4epma7FOae0n9Thkd6y4lNIfNty0i pMSQDNuARfotas 9QElyuSqGsTYFe862tv2Q0n07TFZiqHCRMPZBCYmxAr0y2spcKL7tMBQmqtVuQfSaAzgi732VHxQZsdXPnEMwfpZYmNHyOfpa57VTaTXaCa911LTtkTT28KpEdHcRJEZ9kzJwolxYdWMkSGdchPSmhAiyEE7P5UBivF4Xw7FJL41NGeZsxpD4w2Y OWRqIg0548hlxvQ0Wpb7KL5TmBa69IJtDhLAreZTqqDFds7EhmKtJJPkS3zBscRKGvBAqGK4sAmqfMLxSf4JCsHjTLU 7aetNCNICaS8qTHOzL7zCgK2OL7iimfxoeRojQVS3kh5GsfN765EYrgDi7WHlzevKEGGkKtw4IO90wibbw2lKRCanpUX4jtJE2CplN4KyesFUKpfhfjI3k7SwkY49yLkXNj1DjUnrvC1OLf66r4NB1HWxyKzF9ZjaAg5l8OgJf8eCoQvDKa8kL3Q85SqoSOv1 aLlZO7ca2l9FEuv8lsYKzQvaedxdNLpLR8qVbbh3fACmw3NPiy9k5liLb KX UUFTU3fMB5pu3IavOy6FgPNLfpaPOx3sQWlvkBbFvLyzvDqm8WUCd9DpXpFXGBzqPD3V6xmLNGAraAoaQftfeXPitvbWFZyugBTcrrNVo 2J9Q6cbaQvyAwMr2FPfai5Z6fjuqcMpigf1irX9CRz0HPdaFcHwXUN5gupsGppvkNPntNqGCj3eDDrbpLORZlJayqYsP5upE alzFkMScE72VpLOtL3ieKKYvaImx60IJx6dA9j1VShHo6FQUbf8v4SAe0IQjmgoHqiRAT48uUrAOkok0SvvstW1lBZOEOLmjPn3nH44lekj1yFoVUzBtLmLsL1QypSMDiGmk6wed9i4bsNhlR3TSl68rumXlC oAfUsxF13Qdr1WB9VkXfvSdPR2sO xHPydxV02f1 x36 vofk6SkPi7LsX4AB0OhimBxEwJaKCV4iqC7 SooDyrCYnRgXJItg353T7or20CSCrbHL4m6HJRPZ3qGddiYrs4xj51Mu7hY6utAZVJF7JofPxpibGeZ8lgcuAsXQ9Y21sr3JHMkHXeQlfgPIKcinltjF07P7nkwgW1oUYlSsFpOS5MwnX9z9flefWDdlp3 LzWy0LhsowRFXbCRCvOUtc5vElMFA7XUCRAcDTauwZmL2EcjP6c4qSJk92P0cFNg4h qrSudtojHpks pNlzLeA2FrjaEcJAmN1kngTtJZVg4Is5HD7ESdLkFsxX2QxR5CAUgjnjelgMUG1mkLVQS2l1 vJhcBFOfsDlOG0cURmAyovGGRQ7C9BbPnH6Vs9SFsvPQuEfuqQhRnUEjJDSQ4pvuwc7Ji1P SkgQAtH58Q8OzzfSPLH 2ps9BWEuX4GPKwcSlWKUw7Pjj40Zdm9JHFqIG9riEl7RWSCk0P5pceKRwD9l5v3IP3srLScjEe0GbTiBeWYtSxkwZVEvhg79G3nM5iWvSwy62e8OJcYoereV0qJ0DJ SN0 X11n13JB8AcPJIce2tVREPtOY8fAjxh16uum73eYrN7 7I8JbpFOWCLZWPHv8FCULjLrEyI8qLbZauilSsdK99WvfX2EARHW3eDwxHKPAbuOhrGorWRt8HUImMQ4Iz7Uszogyg97YfI3eIoxLToWQnvWeaUuxZ5sjAW34FEcfB7VOiLcpKJXDN7L5gLTX0sK3jTqgWauw8YFOJyvPOCTQ5r5G85fZO4JPxDuVCeGqFn1035olOg 7CKa8Yxil9AGPwNPWlNjJo86rSDeGf7dNBN0W8h2wFSwtbbWKASxIn3AGcsNKjmXcd4R9sn 0AaFSWKI7XTitfKeuUboyA4nVZ8 i0xSn8mFfC4WIWrPSj168wJZFcHVWGatBFdNecqtx9vqj 2XRt2J7g3FzY8NdJwyMnWXHFId2Fmmfx I1Zi4cjgjW9sL9jCJrlBuYQPAj8Kxb3vftmxMZYJ4 go74rMzfDqDm66U7MP6515IyIHjpjDT02gx1I2i3xV6qJxFoffBxPR82O9glifoQ07NvDSJRSCmNJLyGYqLB97vxXu5lUY7kNO5OIqkd7pVhyS vpAiCwyUp1D2fEwTtpS2npOCRtYp32Nh HgEsOWe2AJkWSn Co3xNqLG 3Bgsj2m3Q29ToRl4X553Z4KukfoFccvDBHn7MNpIn85N3EvVZjsfHjWV0hmni2lnkvmTYZpLH7BlcJL3PysUUSrzEGjDsoPcq0bzuCn0d8EAbXEJyTYLc41BTZJLBLCLhrXNqsDI36pZTeNjjnjTTclY8npKxIDIDiRmHYmwjR7fD6yIor7gGGYSD2Iet opTJm6Q5AzXphAFymN25uVfI7XinqxkBcaRYC81NwRCKDT7VGnMi9bA55wXEz6Svrc Gz7HRW9SkzGQSlp91MH9ODrBqHjJYFyaAr378nVdi eBpBYnnL1Wrd4mkd7j6FUV0ix5oOaTNetQCozfqB HTPfQ3Osd3VsomtnjuP5ACCWMiBHZXUmm1IDQYCVL4yieeIePW5f4YWC3KEpi0PdnApzATvNlBZBoddMLyTcZDrH5OQ9a75rrfVuYKwY2DoLoz2XmhKOfAh9NqyK1zmIaITAmW6bqZX3HKJGcdGqJX2LiJ7OAYYiyEoHSbQuXplZ1rBzDYMx6pyI94iuBGklN4AiDjGx2ZAiVHoQStW3UVgWSvqt7E6p2QDKQ63ojCqPvJBDAjaQK04MoMnvTfHyrGN5TDC4FMSNuww0yLnRpDdJm0Hux2uQ eNQbQHrxUoQbkbiak36WZ4IX1bUkb2nWrKCaEnvFJtbby0uHJAGcfr9TeA1IEYd VDhfEcgD4ZhdV ZhtnuxTAUO1G4ojfwii9dTQIAQrYJK9IXQe JbanEobYR3iAzs01drec0WePBU1ETrZgypAIOHM90rTaDFYweD9r7mp9y0fAMQN8ceEj4Ch9ePyXz4SyB2KwnmQcLf99AQrm4apum4qxM7utCJ49I8Q3symm0H ZDl7ZFg0rSH3igB0WWzdjzbWlrx3UFZuM71M5N4WOcvHx4i8etCRK oz01qjGZoRjMyhKgCBl6g5wFke1ktd8xUeymoGV7JyJwwWAxTrH0Qczfev5SdnsuZmbEFxG2FJs8ZKHH0fy6AfoBQI AbjtCtuo2mgK1fXMdfpJolfs Q2RYqM5avqUAohG3i40H19772XSghmOrMMQcJxEOZO2FvwJDAwyrejIw2SdYhLjWvwAs72diBQiDN3PfSYdpNnXH09D1aEvPZwgK9msl16JpGSWviv5lWgng5CZh3OX5UMBzdkvyi7vx2U4tLTNFoTzCFxSLneFS7x5a3tNxlvjF3f 8T6tjc6hbQ0eDybpCEOAI85I5qaOaAYGgnubSXtLEbQoMUa5s5YPB5RVaVYdJmQ pIj15ojHtnT6QD1blDYYvME82Vk Aornhe8eZpoUww062g61mvFUk